样品支座和样品支座组制造技术

本发明专利技术涉及样品支座和样品支座组。提供了一种能够通过利用分别不同的测定原理的多个测定装置来容易地测定同一样品的同一地方的样品支座和样品支座组。一种样品支座，所述样品支座是使样品（100）的表面露出来保持、分别安装于利用分别不同的测定原理的多个测定装置（200）、（300）的内部、能够分别测定样品的样品支座（10），所述样品支座的特征在于，具备：主体部（2），包围样品；对准标记（6a）~（6c），分别配置在主体部的表面的2个以上的不同的位置，能够由测定装置检测；以及样品保持部（4），配置在主体部的内侧，以能相对于对准标记的标记面将样品的表面的高度（H）设定为固定的方式保持样品。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及安装在扫描电子显微镜、扫描探针显微镜等测定装置的内部并且用于测定样品的样品支座和样品支座组。
技术介绍
各种测定装置（分析装置）基于分别不同的测定原理来进行样品的测定。例如，在利用了悬臂的探针显微镜中，除了表面形状测定以外，能够进行电流、粘弹性、摩擦、吸附等物性的映射。另一方面，在利用了电子线的扫描电子显微镜（SEM）中，能够进行形状测定和元素映射。此外，在利用了光或激光的光学显微镜、光干涉显微镜或激光显微镜中，能够进行表面形状测定。但是，为了通过利用分别不同的测定原理的多个测定装置测定同一样品的同一地方，需要在将各测定装置复合化为一个装置的装置内设置样品。根据这样的情况，开发了将SEM（扫描电子显微镜）和光学镜筒配置为V字型并且切换各测定装置来测定样品的同一地方的装置（专利文献1）。该装置通过摇动机构（倾斜机构）来改变样品面的方向，由此，能够使样品面分别相对于SEM和光学镜筒的轴垂直来进行测定。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2012-015033号公报。专利技术要解决的课题然而，在专利文献1记载的技术的情况下，难以在um级别下对准轴彼此。也就是说，在SEM本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种样品支座，使样品的表面露出来保持，分别安装于利用分别不同的测定原理的多个测定装置的内部，能够分别测定所述样品，所述样品支座的特征在于，具备：主体部，包围所述样品；对准标记，分别配置在所述主体部的表面的2个以上的不同的位置，能够由所述测定装置检测；以及样品保持部，配置在所述主体部的内侧，以能相对于所述对准标记的标记面将所述样品的所述表面的高度设定为固定的方式保持所述样品。

【技术特征摘要】
2015.09.01 JP 2015-1718671.一种样品支座，使样品的表面露出来保持，分别安装于利用分别不同的测定原理的多个测定装置的内部，能够分别测定所述样品，所述样品支座的特征在于，具备：主体部，包围所述样品；对准标记，分别配置在所述主体部的表面的2个以上的不同的位置，能够由所述测定装置检测；以及样品保持部，配置在所述主体部的内侧，以能相对于所述对准标记的标记面将所述样品的所述表面的高度设定为固定的方式保持所述样品。2.一种样品支座组，具有第一样品支座以及第二样品支座，所述第一样品支座使样品的表面露出来保持，安装于利用分别不同的测定原理的多个测定装置之中的第一测定装置的内部，能够测定所述样品，并且，所述第一样品支座具备：第一主体部，包围所述样品；对准标记，分别配置在所述第一主体部的表面的2个以上的不同的位置，能够由所述第一测定装置检测；以及第一样品保持部，配置在所述第一主体部的内侧，以能相对于所述对准标记的标记面将所述样品的所述表面的高度设定为固定的方式保持所述样品，所述第二样品支座保持保持了所述样品的所述第一样品支座，并且，所述第二样品支座具备：第二主体部，包围所述第一样品支座；以及支座保持...

【专利技术属性】
技术研发人员：安藤和德，
申请(专利权)人：日本株式会社日立高新技术科学，
类型：发明
国别省市：日本;JP