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本发明涉及用于确定样品的高度信息的方法，以及一种扫描显微镜。所述方法包括以下步骤：生成照明点；使用所述照明点照射所述样品；捕获所述样品上的所述照明点的反射图像；评估所述图像的横向分布；根据所述横向分布确定所述高度信息；其中，所述照明点具有三...
该专利属于卡尔蔡司显微镜有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司显微镜有限公司授权不得商用。

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