带电粒子显微镜中的复合扫描路径制造技术

本发明专利技术涉及带电粒子显微镜中的复合扫描路径。一种扫描类型带电粒子显微镜，包括：-样本保持器，用于保持样本；-源，用于产生带电粒子射束；-照射器，用于引导所述射束以便辐照所述样本；-检测器，用于检测响应于所述辐照而从所述样本发射出的辐射通量；-扫描装置，用于产生所述射束和样本的相对扫描运动以便使射束在所述样本上描绘出扫描路径；-可编程控制器，其可以被调用来在所述显微镜中执行至少一个自动化程序，其特征在于：-所述扫描装置包括：▪长行程扫描装置，用于实现相对大幅度和相对低频率的扫描运动；▪短行程扫描装置，用于实现相对小幅度和相对高频率的扫描运动；-所述控制器可以被调用来描绘出包括相对小幅度的移动的扫描路径，使用所述短行程扫描装置来执行所述相对小幅度的移动，所述相对小幅度的移动组合成得到的相对大幅度的迁移，借助于所述长行程扫描装置来实现所述相对大幅度的迁移。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及扫描类型带电粒子显微镜，其包括: -样本保持器，用于保持样本； -源，用于产生带电粒子射束； -照射器，用于引导所述射束以便辐照样本； -检测器，用于检测响应于所述辐照而从样本发射出的辐射通量；-扫描装置，用于产生射束和样本的相对扫描运动以便使射束在样本上描绘出扫描路径； -可编程控制器，其可以被调用来在显微镜中执行至少一个自动化程序。本专利技术还涉及使用这样的带电粒子显微镜的各种方法。
技术介绍
带电粒子显微术(尤其以电子显微术的形式)是对于微观物体成像而言众所周知的且越来越重要的技术。历史上，基本类型的电子显微镜已经经历演变成为一些众所周知的装置种类，诸如透射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)和扫描透射电子显微镜(STEM)，以及同样演变成为各种子种类，诸如所谓的“双射束”工具(例如FIB-SEM)，其另外地采用了 “加工(machining)”聚焦离子束(FIB)，允许支持性活动，诸如例如离子射束研磨或离子射束诱发沉积(IBID)。更具体地: -在SEM中，由扫描电子射束对样本的辐照促成从样本发射出“附属”辐射，该“附属”福射例如本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扫描类型带电粒子显微镜，包括：‑ 样本保持器，用于保持样本；‑ 源，用于产生带电粒子射束；‑ 照射器，用于引导所述射束以便辐照所述样本；‑ 检测器，用于检测响应于所述辐照而从所述样本发射出的辐射通量；‑ 扫描装置，用于产生所述射束和样本的相对扫描运动以便使射束在所述样本上描绘出扫描路径；‑ 可编程控制器，其可以被调用来在所述显微镜中执行至少一个自动化程序，其特征在于：‑ 所述扫描装置包括：　▪ 长行程扫描装置，用于实现相对大幅度和相对低频率的扫描运动；　▪ 短行程扫描装置，用于实现相对小幅度和相对高频率的扫描运动；‑ 所述控制器可以被调用来描绘出包括相对小幅度的移动的扫描路径，使用所述短行...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：P波托塞克，CS库吉曼，HJ德沃斯，HN斯林格兰德，
申请(专利权)人：FEI公司，
类型：发明
国别省市：美国;US