一种蓝宝石晶棒垂直度测量装置制造方法及图纸
Vertical measuring device for sapphire crystal rod
The utility model relates to a sapphire crystal rod verticality measuring device, which is characterized in that the vertical bracket 2, block 7 and block 8 is vertically fixed on the base 1; measuring micrometer 5 screws through the 10 level is fixed on the bracket 3, and parallel with the base 1 plane; horizontal bracket 3 through vertically fixed on the screw 4 the vertical bracket 2, and 8 gauge vertical; and for the standard block correction. The measuring device provided by the utility model has the advantages of convenient and fast measurement and high repeatability, and is not only suitable for measuring the verticality of the sapphire crystal rod, but also for measuring the verticality of other workpieces. At the same time, the micrometer measurement data can be directly used in multi line cutting stick adjustment, it is beneficial to improve the efficiency of multi wire cutting of sapphire crystal rod.
【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石晶棒垂直度测量装置
该专利涉及蓝宝石衬底片的加工领域，尤其涉及蓝宝石晶棒垂直度测量装置。
技术介绍
蓝宝石单晶材料具有硬度高、熔点高、透光性好、电绝缘性优异、化学性能稳定等特点，广泛用于半导体氮化镓(GaN)发光二极管(LED)的外延衬底材料。在氮化镓基发光二极管及其他光电子期间的制作过程中，需要在蓝宝石衬底上进行外延生长。必须要求蓝宝石衬底片的晶向与外延材料具备良好的吻合度，以便于外延层的顺利生长。从而要求蓝宝石衬底片的晶向在一个较小的容许偏差范围内。在蓝宝石晶棒切片的粘棒工艺过程中，需要借助晶向仪细调晶棒在多线切割机晶棒底座上的粘棒方位，以确保所切晶片的晶向满足工艺要求。因而，若待切晶棒的垂直度较差，难以采用晶向仪快速修正晶棒粘棒方位，目前行业内测量晶棒垂直度普遍用的是直角尺配合塞尺进行测量，只能根据塞尺近似得出垂直度误差，再用塞尺辅助修正粘棒方位，操作误差大，效率低。本专利技术提供一种结构简单、易于操作、并且精度高的垂直度测量装置来解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种蓝宝石晶棒的垂直度测量装置。其特征在于：竖直支架2、挡块7和量块8垂直固...
【技术保护点】
一种蓝宝石晶棒垂直度测量装置，其特征在于：竖直支架(2)、挡块(7)和量块(8)垂直固定于基座(1)上；测量千分表(5)通过螺丝(10)固定在水平支架(3)上，且与基座(1)的平面平行；水平支架(3)通过螺丝(4)垂直固定于竖直支架(2)上，且与量块(8)垂直。
【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石晶棒垂直度测量装置，其特征在于：竖直支架(2)、挡块(7)和量块(8)垂直固定于基座(1)上；测量千分表(5)通过螺丝(10)固定在水平支架(3)上，且与基座(1)的平面平行；水平支架(3)通过螺丝(4)垂直固定于竖直支架(2)上，且与量块(8)垂直。2.根据权利要求1所述的蓝宝石晶棒垂直度测量装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈蓓颖，李秦霖，刘浦锋，宋洪伟，陈猛，
申请(专利权)人：上海超硅半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31
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