下载一种蓝宝石晶棒垂直度测量装置的技术资料

文档序号:16170312

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本实用新型涉及一种蓝宝石晶棒垂直度测量装置,其特征在于:竖直支架2、挡块7和量块8垂直固定于基座1上;测量千分表5通过螺丝10固定在水平支架3上,且与基座1的平面平行;水平支架3通过螺丝4垂直固定于竖直支架2上,且与量块8垂直;以及用于校正...
该专利属于上海超硅半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海超硅半导体有限公司授权不得商用。

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