【技术实现步骤摘要】
力学性能良好的微机电系统结构电介质及其制备方法
本专利技术涉及一种微机电系统上使用的电介质及其制备方法,尤其是涉及一种应用与微机电系统的具有良好力学性能的液/固双相结构电介质及其制备方法。
技术介绍
随着智能化系统的发展,人们对于电子设备的需求急剧增加,微机电系统作为电子设备中的一种,具有体积小、质量轻、能耗小等优点,因此引起人们广泛关注。而要使得微机电系统得到广泛应用,能量的供给是关键问题之一。在同样的体积情况下,为了获得重量轻和高储能密度的微机电系统,必须采用以密度小、介电常数高的电介质材料作为电荷储存的薄膜,按照有机薄膜电容器的制备工艺生产大电容值的电力电容器。电介质是能量储存的关键问题,现有的电介质通常采用高介电常数的聚合物基电介质材料。而现有电介质力学性能较差,在实际应用中影响整体系统的统一性。
技术实现思路
本专利技术的目的在于,克服上述缺陷,提供一种具有良好力学性能的的液/固双相结构电介质,该电介质由环氧树脂体系和碳酸丙烯酯、碳酸乙烯酯体系混合均匀后固化成型为薄膜状材料,具有较高的抗拉性能和介电性能,可以方便快捷的与其他器件进行组装。本专利技术的技术方案 ...
【技术保护点】
一种微机电系统上使用的电介质制备方法,其特征在于:其原料配比(按重量计)为:双酚A型环氧树脂70份聚乙二醇二缩水甘油醚16份环氧体系固化剂50份双三氟甲基磺酰亚胺锂50份碳酸丙烯酯50‑100份聚碳酸乙烯酯30份所述的双酚A型环氧树脂为基于普通环氧树脂的改性产品,其结构式为:
【技术特征摘要】
1.一种微机电系统上使用的电介质制备方法,其特征在于:其原料配比(按重量计)为:双酚A型环氧树脂70份聚乙二醇二缩水甘油醚16份环氧体系固化剂50份双三氟甲基磺酰亚胺锂50份碳酸丙烯酯50-100份聚碳酸乙烯酯30份所述的双酚A型环氧树脂为基于普通环氧树脂的改性产品,其结构式为:所述的聚乙二醇二缩水甘油醚平均分子量为500,结构式为:所述的环氧体系固化剂为特制聚醚胺体系,结构式为:其中x=6.1。所述的双三氟甲基磺酰亚胺锂为普通锂盐的改性产品,其结构式为:所述的碳酸丙烯酯结构式为:所述的碳酸乙烯酯结构式为:2.如权利要求1所述的具有良好力学性能的液/固双相结构电介质,其特征在于:该环氧体系固化剂为D400聚醚胺。3.如权利要求1所述的具有良好力学性能的液/固双相结构电介质,其特征在于:环氧体系为聚乙二醇二缩水甘油醚与D400聚醚胺的混合物。4.如权利要求1所述的具有良好力学性能的液/固双相结构电介质,其特征在于:液体相体系为碳酸丙烯酯、聚碳酸乙烯酯和双三氟甲基磺酰亚胺锂的混合物。5.一种微机电系统上使用的电介质制备方法,其特征在于,工艺方法如下:1)环氧体系调配:烧杯中加入适量双酚A型环氧树脂、聚乙二醇...
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