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本发明公开一种微机电系统上使用的电介质及其制备方法，尤其是涉及一种应用与微机电系统的具有良好力学性能的液/固双相结构电介质及其制备方法，采用传统树脂固化工艺制备。本发明所得到的制品与现有产品相比，具有更为复杂的双相结构，两相几何尺寸均匀且贯...
该专利属于陈伟所有，仅供学习研究参考，未经过陈伟授权不得商用。

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