A method of recycling waste ITO target powder preparation of ITO target, the gasification recovery of ITO powder as raw material, tin oxide is not less than 0.5% of the raw material quality added and / or indium oxide powder as sintering activity enhancer, and the distribution of ITO powder; mixed powder with water, dispersing agent after grinding ball spray drying, and then placed in the mold to phased pressure, maintain a certain time after the boost mode is pressed into a preform, and then to gradually boost, to maintain a certain time after the boost mode made by cold isostatic pressing blank, blank made of insulation by defatting, burning in oxygen atmosphere made of ITO target. The new distribution of powder in ITO recycling powder can improve the sintering activity of mixed powder on the whole, the change characteristics of the forming and sintering process, moulding process segment gradually pressurize and make the body with high density, ITO target density can reach more than 99.5%.
【技术实现步骤摘要】
一种ITO废靶回收粉末制备ITO靶材的方法
本专利技术涉及ITO靶材的制备方法,具体的说是一种利用ITO废靶气化法回收粉末制备ITO靶材的方法。
技术介绍
ITO(Tin-dopedIndiumOxide)靶材属于铟锡复合氧化物陶瓷,是一种重要的光电功能材料,常作为磁控溅射靶材在玻璃、塑料等基板材料上制备透明导电膜,用于生产液晶显示器、触摸屏等平板显示设备。ITO靶材应用于平板显示领域时,其溅射镀膜的利用率一般仅为30~40%,其余的60~70%为废靶。ITO废靶的回收利用是ITO产业链中举足轻重的环节,能极大提高ITO靶材产品的市场竞争力。ITO废靶回收利用分为两个环节:一是将ITO废靶回收制成粉末;二是利用回收的粉末制备ITO靶材。传统方式是采用有溶液参与的湿法回收废靶,经过溶解、浸出等步骤,单独回收得到氧化铟(In2O3)和氧化锡(SnO2)粉,粉末粒度均匀、活性较高,比较容易制成高密度ITO靶材。本专利技术人已申请的专利技术专利“一种高效回收ITO废靶的方法”,申请号201510663551.0,采用电极放电产生电弧瞬间气化ITO废靶,经快速冷凝后得到回收粉末。该气化法回收法属于干法,工艺流程简单,回收效率高,得到的回收粉末为ITO粉。但是受冷凝条件影响,回收得到的ITO粉粒径大小不一,粒径均匀性和烧结活性较低,在制备靶材的成型和烧结过程中有其独特的性质。如使用该粉末按照常规方法来制备,烧结后得到的ITO靶材密度很难达到要求。由于上述气化法回收粉末的特点,现有技术中还没有针对该气化法回收的ITO粉末的制备ITO靶材的工艺方法。因此,需要针对上述专利 ...
【技术保护点】
一种ITO废靶回收粉末制备ITO靶材的方法,其特征在于:以气化回收ITO粉为原料,加入不小于原料质量0.5%的氧化锡和/或氧化铟粉末作为烧结活性增强剂,并使其分布于ITO粉中;将混合后的粉末加水、分散剂球磨后喷雾干燥,然后放入模具中以分阶段逐步加压,每次升压后保持一定时间的方式压制成初坯,然后再以分阶段逐步升压,每次升压后保持一定时间的方式经冷等静压制成坯体,制成的坯体经保温脱脂后,在氧气气氛下烧制成ITO靶材。
【技术特征摘要】
1.一种ITO废靶回收粉末制备ITO靶材的方法,其特征在于:以气化回收ITO粉为原料,加入不小于原料质量0.5%的氧化锡和/或氧化铟粉末作为烧结活性增强剂,并使其分布于ITO粉中;将混合后的粉末加水、分散剂球磨后喷雾干燥,然后放入模具中以分阶段逐步加压,每次升压后保持一定时间的方式压制成初坯,然后再以分阶段逐步升压,每次升压后保持一定时间的方式经冷等静压制成坯体,制成的坯体经保温脱脂后,在氧气气氛下烧制成ITO靶材。2.如权利要求1所述的一种ITO废靶回收粉末制备ITO靶材的方法,其特征在于:在气化回收ITO粉中加入的氧化锡或氧化铟粉末,首先满足混合粉末中SnO2质量百分比含量为10%,满足该条件后如添加量小于原料质量的0.5%,则继续以1:9的质量比同时添加氧化锡粉末和氧化铟粉末。3.如权利要求1或2所述的一种ITO废靶回收粉末制备ITO靶材的方法,其特征在于:所述氧化铟粉末的纯度≥99.99%,比表面积≥5m2/g;氧化锡粉末的纯度≥99.99%,比表面积≥10m2/g。4.如权利要求1所述的一种ITO废靶回收粉末制备ITO靶材的方法,其特征在于:喷雾干燥后的粉末放入模具中,以20—30MPa的压力保压20—30秒,然后升压至40—50MPa保压30—40秒,再升压至60—80MPa保压100—120秒,之后在120—150秒内卸至常压制成初坯。5.如权利要求1所述的一种ITO废靶回收粉末制备ITO靶材的方法,其特征在于:将初坯经冷等...
【专利技术属性】
技术研发人员:李龙腾,刘冠鹏,
申请(专利权)人:中国船舶重工集团公司第七二五研究所,
类型:发明
国别省市:河南,41
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