复合传感器制造技术

复合传感器具备：第1传感器(100)，输出与检测对象对应的第1传感器信号；第2传感器(200)，输出与不同的检测对象对应的第2传感器信号；电路基板(300)，与第1、第2传感器电连接；被搭载部件(10)，具有配置第1、第2传感器及电路基板的一面(33a)。第1、第2传感器分别具有用来输入具有规定的振幅及频率的输入信号的输入端子(161、244a)及用来输出第1、第2传感器信号的输出端子(162、163、241a～243a)。当设沿着第1、第2传感器的排列方向的方向、穿过第1、第2传感器的中心的直线为假想线(K)时，输入端子位于相对于假想线被分割的一方的相同区域侧，输出端子位于相对于假想线被分割的另一方的相同区域侧。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】复合传感器相关申请的相互参照本申请基于2015年1月16日提出的日本专利申请第2015－007030号，在此援引其记载的内容。
本专利技术涉及在共通的被搭载部件上搭载有检测对象不同的第1、第2传感器的复合传感器。
技术介绍
以往，作为这种复合传感器，例如在专利文献1中，提案了，在共通的被搭载部件的一面上搭载有输出与加速度对应的传感器信号的加速度传感器和输出与角速度对应的传感器信号的角速度传感器的结构。具体而言，在该复合传感器中，加速度传感器及角速度传感器都经由由导电性部件等构成的连接部件连接在被搭载部件的一面上。并且，使将角速度传感器与被搭载部件的一面连接的连接部件的高度比将加速度传感器与被搭载部件的一面连接的连接部件的高度高。另外，角速度传感器例如为利用压电体的压电效果的压电式，如果在使驱动振动片振动的状态下施加角速度，则输出与角速度对应的传感器信号(电荷)。由此，由于使将角速度传感器与被搭载部件连接的连接部件的高度比将加速度传感器与被搭载部件连接的连接部件的高度高，所以能够抑制角速度传感器的振动被传递给加速度传感器。因此，能够抑制角速度传感器的振动成为对于加速度传感器的噪声。先行技术文献专利文献专利文献1：特开2014－13207号公报
技术实现思路
在上述专利文献1的复合传感器中，虽然能够抑制角速度传感器的振动成为对于加速度传感器的噪声，但是关于加速度传感器及角速度传感器的配置关系没有考虑，存在由于电气性的噪声而检测精度下降的情况。例如，电容式的加速度传感器具有可动电极、以及与该可动电极对置的固定电极，可动电极及固定电极的一方的电极具有规定的振幅、频率。即，被施加输入信号(输送波)，基于在另一方的电极中产生的电荷(传感器信号)进行加速度的检测。此外，压电式的角速度传感器具有驱动振动片和检测振动片，在驱动振动片上被施加具有规定的振幅、频率的输入信号(输送波)，基于在检测振动片中产生的电荷(传感器信号)进行角速度的检测。在此情况下，在加速度传感器的另一方的电极中产生的电荷及在角速度传感器的检测振动片中产生的电荷容易受到来自外部的干扰，向加速度传感器及角速度传感器输入的输入信号容易成为噪声源。因此，如果加速度传感器的将输入信号输入的部分、和角速度传感器的将传感器信号输出的部分被接近地配置，或者如果加速度传感器的将传感器信号输出的部分、和角速度传感器的将输入信号输入的部分被接近地配置，则有通过输入信号而检测精度下降的情况。本公开鉴于上述问题，目的是提供一种能够抑制由于电气性的噪声而检测精度下降的复合传感器。本公开的一技术方案的复合传感器具有：第1传感器，输出与检测对象对应的第1传感器信号；第2传感器，输出第2传感器信号，该第2传感器信号对应于与第1传感器的检测对象不同的检测对象；电路基板，与第1、第2传感器电连接；被搭载部件，具有一面，在一面上配置有第1、第2传感器及电路基板。第1、第2传感器分别具有用来输入具有规定的振幅及频率的输入信号的输入端子、以及用来输出第1、第2传感器信号的输出端子。即，在从相对于一面的法线方向观察时，第1、第2传感器被排列配置，在设作为沿着第1、第2传感器的排列方向的方向、穿过第1、第2传感器的中心的直线为假想线(K)时，输入端子相对于假想线位于分割的一方的同一区域侧，输出端子相对于假想线位于分割的另一方的同一区域侧。根据上述结构，加速度传感器及角速度传感器的被输入具有规定的振幅及频率的输入信号的输入端子、和输出传感器信号的输出端子分别被配置在相同侧。换言之，被输入作为噪声源的输入信号的输入端子和输出容易受到噪声的影响的传感器信号的输出端子分别被配置在相同侧。即，被输入作为噪声源的输入信号的输入端子、和输出容易受到噪声的影响的传感器信号的输出端子被离开地配置。因此，能够抑制向输入端子输入的输入信号对于从输出端子输出的传感器信号产生影响，能够抑制检测精度下降。附图说明关于本公开的上述目的及其他目的、特征及优点，一边参照附图一边通过下述详细的记述会变得明确。图1是本公开的第1实施方式的复合传感器的平面图。图2是沿着图1所示的II－II线的剖视图。图3是沿着图1所示的III－III线的剖视图。图4是加速度传感器的传感器部的平面图。图5是沿着图4中的V－V线的剖视图。图6是角速度传感器的传感器部的平面图。图7是角速度传感器的支承部的平面图。图8是沿着图7中的VIII－VIII线的剖视图。图9是本公开的第2实施方式的复合传感器的平面图。图10是本公开的第3实施方式的复合传感器的平面图。图11是本公开的第4实施方式的复合传感器的平面图。具体实施方式以下，基于附图对本公开的实施方式进行说明。另外，在以下的各实施方式中，对相互相同或等同的部分赋予相同的标号而进行说明。(第1实施方式)参照附图对本公开的第1实施方式进行说明。在本实施方式中，如图1～图3所示，复合传感器构成为，在作为被搭载部件的封装10中搭载有加速度传感器100、角速度传感器200、以及对加速度传感器100及角速度传感器200进行规定的处理的电路基板300。另外，在本实施方式中，加速度传感器100相当于本公开的第1传感器，角速度传感器200相当于本公开的第2传感器。此外，在图1中，将后述的盖子60省略而表示。首先，对本实施方式的加速度传感器100的结构进行说明。本实施方式的加速度传感器100是所谓的电容式，输出本公开的第1传感器信号。在本实施方式中，加速度传感器100如图4及图5所示，在支承基板111上隔着绝缘膜112而层叠半导体层113、使用平面形状为矩形状的SOI(SilicononInsulator、绝缘衬底上的硅)基板114而构成。另外，支承基板111例如使用硅基板等，绝缘膜112使用SiO2或SiN等，半导体层113使用硅基板或多晶硅等。并且，在SOI基板214上，被实施周知的微电机加工而形成有传感部115。具体而言，在半导体层113上，通过形成槽部116而形成有具有梳齿形状的梁构造体的可动部120及第1、第2固定部130、140，由该梁构造体形成输出与加速度对应的传感器信号的传感部115。另外，设半导体层113中的隔着槽部116将可动部120及第1、第2固定部130、140包围的部分为周边部150。在绝缘膜112上，在与梁构造体的形成区域对应的部位上形成有开口部117。由此，半导体层113中的可动部120及第1、第2固定部130、140的规定区域成为从支承基板111断开的状态。可动部120以横穿开口部117的方式配置，为矩形状的心轴部(weightportion)121的长边方向的两端经由梁部122一体地连结在动片部123a、123b上的结构。动片部123a、123b在开口部117的开口边缘部经由绝缘膜112支承在支承基板111上。由此，心轴部121及梁部122成为面向开口部117的状态。梁部122为将平行的两根梁在其两端连结的矩形框状，具有在与两根梁的长边方向正交的方向上变位的弹簧功能。具体而言，梁部122当受到包含沿着心轴部121的长边方向的方向的成分在内的加速度时，使心轴部121向长边方向变位，并且对应于加速度的消失而复原为原来的状态。因而，经由这样的梁部122连结在支承基板111上的心轴部121在被施加本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种复合传感器，具有：第1传感器(100)，输出与检测对象对应的第1传感器信号；第2传感器(200)，输出与不同于上述第1传感器的检测对象的检测对象对应的第2传感器信号；电路基板(300)，与上述第1传感器、第2传感器电连接；以及被搭载部件(10)，具有一面(33a)，在上述一面上配置有上述第1传感器、第2传感器及上述电路基板；上述第1传感器、第2传感器分别具有输入端子(161、244a)以及输出端子(162、163、241a、242a、243a)，该输入端子用来输入具有规定的振幅及频率的输入信号，该输出端子用来输出上述第1传感器信号、第2传感器信号；在从相对于上述一面的法线方向观察时，上述第1传感器、第2传感器被并列地配置，在设沿着上述第1传感器、第2传感器的排列方向的方向、穿过上述第1传感器、第2传感器的中心的直线为假想线(K)时，上述输入端子位于相对于上述假想线被分割的一方的区域侧，上述输出端子位于相对于上述假想线被分割的另一方的区域侧。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.01.16 JP 2015-0070301.一种复合传感器，具有：第1传感器(100)，输出与检测对象对应的第1传感器信号；第2传感器(200)，输出与不同于上述第1传感器的检测对象的检测对象对应的第2传感器信号；电路基板(300)，与上述第1传感器、第2传感器电连接；以及被搭载部件(10)，具有一面(33a)，在上述一面上配置有上述第1传感器、第2传感器及上述电路基板；上述第1传感器、第2传感器分别具有输入端子(161、244a)以及输出端子(162、163、241a、242a、243a)，该输入端子用来输入具有规定的振幅及频率的输入信号，该输出端子用来输出上述第1传感器信号、第2传感器信号；在从相对于上述一面的法线方向观察时，上述第1传感器、第2传感器被并列地配置，在设沿着上述第1传感器、第2传感器的排列方向的方向、穿过上述第1传感器、第2传感器的中心的直线为假想线(K)时，上述输入端子位于相对于上述假想线被分割的一方的区域侧，上述输出端子位于相对于上述假想线被分割的另一方的区域侧。2.如权利要求1所述的复合传感器，上述被搭载部件具有连接端子(51)；在上述电路基板上，当从相对于上述一面的法线方向观察时，第1基准电位端子(302)位于与和上述第1传感器、第2传感器重复的部分不同的部分；上述第1基准电位端子经由金属线(83)与设在上述被搭载部件上的连接端子电连接，由此被固定为规定的电位。3.如权利要求2所述的复合传感器，当从相对于上述一面的法线方向观察时，上述第1基准电位端子被配置在上述第1传感器的输入端子与上述第2传感器的输入端子之间、上述第1传感器的输出端子与上述第2传感器的输出端子之间的至少某一方处；将上述第1基准电位端子与上述连接端子连接的金属线作为上述第1传感器与上述第2传感器之间的干扰抑制体发挥功能。4.如权利要求1～3中任一项所述的复合传感器，上述第1传感器、第2传...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉田直记，青山孝志，上原纯，
申请(专利权)人：株式会社电装，精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP