一种石英挠性加速度计制造技术

一种能够提高测量精度、密封性好、稳定性高的石英挠性加速度计，包括伺服电路和表头，所述表头包括上力矩器，检测质量组件、下力矩器、以及外壳，所述上力矩器包括补偿环、磁钢、磁极片和上轭铁，下力矩器包括补偿环、磁钢、磁极片和下轭铁，所述检测质量组件包括由镀金膜石英摆片和粘接在所述摆片上面的两个力矩器线圈组成。

【技术实现步骤摘要】
一种石英挠性加速度计
本专利技术涉及一种石英挠性加速度计，尤其涉及一种焊接密封结构的石英挠性加速度计。
技术介绍
石英挠性加速度计是一种机械单轴摆式、差动电容式、力矩再平衡式(力反馈式)加速度计，对加速度、速度、距离、摇摆、倾斜、振动等物理量敏感。石英挠性加速度计主要由伺服电路、表头组成闭环反馈系统，根据牛顿力学定律，通过测量载体所受的惯性力来间接测量载体的加速度。它具有结构简单、体积小、寿命长、精度和灵敏度高、温度系数小、性能稳定等优点，广泛应用于飞机、导弹、火箭、船舶、车辆的惯性导航系统，和石油钻井(MWD、LWD)、建筑、堤坝的倾角测量以及地震监测等。现有技术中，石英挠性加速度计的应用领域愈来愈广，使用环境压强不断变化，传统常压环境中使用的加速度计缺乏专门的密封结构，密封性能很差，越来越不适应应用的需要。尤其在空间领域和深海领域等条件恶劣的使用环境下，石英挠性加速度计的表头无法长期使用，因此，越来越需要表头具有较好的环境适应性，另外，随着表头应用领域的不断拓展，缺少密封结构的石英挠性加速度计将会被淘汰。另一方面来讲，对于石英挠性加速度计来说，石英摆片是该加速度计的关键部件，力矩本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石英挠性加速度计，包括伺服电路和表头，其特征在于，所述表头包括上力矩器，检测质量组件、下力矩器、以及外壳，所述上力矩器包括补偿环、磁钢、磁极片和上轭铁，下力矩器包括补偿环、磁钢、磁极片和下轭铁，所述检测质量组件包括由镀金膜石英摆片和粘接在所述摆片上面的两个力矩器线圈组成，其中，所述力矩器线圈和所述石英摆片的中间轮翼部分构成摆质量，经过设置于该摆质量上的两个挠性悬置梁，经由设置于所述摆片外圈的多个凸台，固定连接于所述上下两个力矩器组件之间，以感测载体的直线加速度矢量。

【技术特征摘要】
1.一种石英挠性加速度计，包括伺服电路和表头，其特征在于，所述表头包括上力矩器，检测质量组件、下力矩器、以及外壳，所述上力矩器包括补偿环、磁钢、磁极片和上轭铁，下力矩器包括补偿环、磁钢、磁极片和下轭铁，所述检测质量组件包括由镀金膜石英摆片和粘接在所述摆片上面的两个力矩器线圈组成，其中，所述力矩器线圈和所述石英摆片的中间轮翼部分构成摆质量，经过设置于该摆质量上的两个挠性悬置梁，经由设置于所述摆片外圈的多个凸台，固定连接于所述上下两个力矩器组件之间，以感测载体的直线加速度矢量。2.如权利要求1所述石英挠性加速度计，其特征在于，在所述下力矩器的中心面向内表面设置有一个芯孔，在该芯孔内设置一根芯杆，该芯杆为永磁棒，以提供上下力矩器的中心轴上的永磁力。3.如权利要求1～2任一项所述石英挠性加速度计，其特征在于，在所述挠性悬置梁上设置干涉传感器，用于检测所述检测质量组件的位移并转换成电信号，并通过数字处理电路将该电信号转换为与加速度成正比的电流信号，并反馈至所述上下力矩器产生平衡力矩，以此通过检测力矩器电流检测加速度值。4.如权利要求1～3任一项所述石英挠性加速度计，其特征在于，所述石英摆片的两个悬置梁的厚度为0.05mm～0.053mm，摆梁宽度为2.25mm～2.29mm。5.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘军，王晓雷，宋银良，刘哲，李强，
申请(专利权)人：青岛智腾微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：山东,37