一种液晶显示器光刻胶成膜的装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种液晶显示器光刻胶成膜的装置，包括载物平台、导轨和移动板，第一移动板的前端连接有移胶装置，第二移动板的前端连接有滚胶装置；所述载物平台上设有光刻胶槽和玻璃基板固定装置，光刻胶槽内装有成膜母版，所述玻璃基板固定装置上固定有玻璃基板。方法是首先通过滚胶装置在成膜母版中形成光刻胶膜层；然后利用移胶装置将成膜母版中光刻胶转移至玻璃基板表面；最后通过烘干形成固态光刻胶膜层。本发明专利技术设备简单，可完成间歇式光刻胶成膜过程，过程操作容易、单次光刻胶用量较少，通过光刻胶成膜母版的置换，可适应多种尺寸的玻璃基板和成膜图形，光刻胶成膜具备选择性。

【技术实现步骤摘要】
一种液晶显示器光刻胶成膜的装置及方法
本专利技术属于液晶显示器制造
，具体涉及一种液晶显示器制造光刻工艺过程中的光刻胶成膜装置及方法。
技术介绍
近些年液晶显示器件快速发展，在液晶显示器件制造工艺过程中，需要在多个工序中多次使用光刻工艺制造器件图形，光刻工艺主要包含光刻胶成膜、前烘烤、曝光、显影、坚膜、蚀刻、去膜、图检和清洗干燥等一系列过程。目前液晶显示面板光刻胶成膜，主要采用转印轮进行辊涂的方法，该方法适合较大面积玻璃基板，连续性较好，生产效率较高，但是对于单次成膜操作，辊涂法存在操作复杂、玻璃基板尺寸固定、光刻胶用量较大、成本高以及光刻胶成膜不具备选择性等问题。除了企业需要连续性重复性生产过程，在各类液晶显示器件工艺性能研究、实验或者教学演示过程中，要求是光刻胶成膜过程具备间歇性、操作弹性大、参数变化较大等特点。
技术实现思路
有鉴于此，本专利提供一种液晶显示器件间歇式光刻胶成膜的新装置及方法，具备设备操作简单、膜层图形具备选择性、光刻胶用量少和基板尺寸可调等优点。为了实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：一种液晶显示器光刻胶成膜的装置，包括载物平台，所述载物平台的一侧设有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液晶显示器光刻胶成膜的装置，其特征在于，包括载物平台（1），载物平台（1）的一侧设有导轨支架（2），导轨支架（2）上安装有上下两根平行于载物平台的导轨（3），两根导轨（3）均连接有移动板，安装在上导轨上的移动板为第一移动板（4），安装在下导轨上的移动板为第二移动板（5），第一移动板（4）的前端连接有移胶装置（6），第二移动板（4）的前端连接有滚胶装置（7）；载物平台（1）上设有光刻胶槽（8）和玻璃基板固定装置（9），光刻胶槽（8）内装有成膜母版（10），玻璃基板固定装置（9）上固定有玻璃基板（11）。

【技术特征摘要】
1.一种液晶显示器光刻胶成膜的装置，其特征在于，包括载物平台（1），载物平台（1）的一侧设有导轨支架（2），导轨支架（2）上安装有上下两根平行于载物平台的导轨（3），两根导轨（3）均连接有移动板，安装在上导轨上的移动板为第一移动板（4），安装在下导轨上的移动板为第二移动板（5），第一移动板（4）的前端连接有移胶装置（6），第二移动板（4）的前端连接有滚胶装置（7）；载物平台（1）上设有光刻胶槽（8）和玻璃基板固定装置（9），光刻胶槽（8）内装有成膜母版（10），玻璃基板固定装置（9）上固定有玻璃基板（11）。2.根据权利要求1所述的液晶显示器光刻胶成膜的装置，其特征在于，所述移胶装置（6）由销钉（601）、弹簧（602）和凸面移胶头（603）组成，所述销钉（601）穿过第一移动板4，销钉（601）位于移动板上方的部分穿过弹簧（602），销钉（601）的下方连接凸面移胶头（603）。3.根据权利要求1所述的液晶显示器光刻胶成膜的装置，其特征在于，所述滚胶装置（7）由滚轮（701）和刮板（702）组成并安装在同一底板（703）上。4.根据权利要求3所述的液晶显示器光刻胶成膜的装置，其特征在于，所述滚轮（701）和刮板（702）的材质均为橡胶，所述滚轮（701）的表面为密集螺纹状。5.根据权利要求3所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王永，
申请(专利权)人：南京信息职业技术学院，
类型：发明
国别省市：江苏,32