To establish a method for testing semiconductor manufacturing process, including providing for each product process data recording and storage information of the test platform is set up in the database have been tested; the hierarchy process database by name and number for each product index, each product corresponding to at least one process, each the process from a lot of technology site series, auxiliary information and includes at least one site in each process process conditions; in the establishment of new product test information platform is set up, in the name of the product to search the database, if the process data have the same product name records in the database will be the process copy the data records in the new product process data record; the new product process data recorded Fu Give the same name as the original record, and the number to be distinguished from the original record, and store the record in the database.
【技术实现步骤摘要】
一种半导体制造试验工艺流程的建立方法
本专利技术涉及半导体设备制造执行系统(ManufacturingExecutionSystem,简称MES)
,更具体地说,涉及一种用于半导体制造试验工艺流程的建立方法。
技术介绍
半导体器件生产中,从半导体单晶片到制成最终成品,须经历数十甚至上百道工序。为了确保产品性能合格、稳定可靠,并有高的成品率,根据各种产品的生产情况,对所有工艺步骤都要有严格的具体要求。制造执行系统MES是美国AMR公司(AdvancedManufacturingResearch,Inc.)在90年代初提出的,旨在加强物料需求计划(MaterialRequirementPlanning,简称MRP)的执行功能,把MRP计划同车间作业现场控制,通过执行系统联系起来,这里的现场控制包括可编程控制器PLC、数据采集器、条形码、各种计量及检测仪器、机械手等。通常,在制造执行系统控制下,进行不同的工艺流程具有不同的工艺条件,工艺图就是一种半导体产品生产工艺流程的示意,包括原料投入到产品包装的全过程,一般是用一个方框表示一个工序,旁边简单注明工艺条件(如温度,压力,酸碱度,PH值等),方框与方框之间用箭头表示工序的走向,关键设备可画出形象性示意图;一般熟练的工艺技术人员可根据工艺流程图组织和管理生产。在生产过程前,由于客户为了得到产品更高的良率会对工艺提出多方面的改革更新要求,针对于这些变更,生产线上无法随时更改已经下线的工艺流程,那么就会利用这个试验系统去验证客户的需求变更,同时也会验证有利于客户需求的更有效的工艺条件,从而使产品的工艺能够达到最高 ...
【技术保护点】
一种半导体制造试验工艺流程的建立方法,其特征在于,所述工艺流程在制造执行系统控制下,所述系统包括主工艺系统平台和试验信息建立平台;所述主工艺系统平台执行在线的工艺流程,所述试验信息建立平台按需求变更重新建立一条工艺流程;所述方法包括:步骤S01,提供用于存储试验信息建立平台中已经试验过的每个产品工艺流程数据记录的数据库;其中,所述产品工艺流程数据库的层次结构由每个产品的名称和编号为索引,每个产品至少对应一个工艺流程,每一个所述工艺流程由很多个工艺站点串联起来的,每个所述工艺站点中又包含了至少一条工艺流程条件的辅助信息;步骤S02,在建立新产品试验信息建立平台前,以所述产品的名称搜索所述数据库,如果有相同产品名称的工艺流程数据记录,执行步骤S03;否则,执行步骤S04;步骤S03:在数据库中将所述工艺流程数据记录复制在所述新产品工艺流程数据记录中;其中,所述新产品工艺流程数据记录赋予与原记录相同的名称,以及与所述原记录以示区别的编号,并将所述记录存储到所述数据库中;执行步骤S05;步骤S04:进行建立新产品试验信息建立平台工作,并将所述新产品的工艺流程数据记录,存储到所述数据库中;具体包 ...
【技术特征摘要】
1.一种半导体制造试验工艺流程的建立方法,其特征在于,所述工艺流程在制造执行系统控制下,所述系统包括主工艺系统平台和试验信息建立平台;所述主工艺系统平台执行在线的工艺流程,所述试验信息建立平台按需求变更重新建立一条工艺流程;所述方法包括:步骤S01,提供用于存储试验信息建立平台中已经试验过的每个产品工艺流程数据记录的数据库;其中,所述产品工艺流程数据库的层次结构由每个产品的名称和编号为索引,每个产品至少对应一个工艺流程,每一个所述工艺流程由很多个工艺站点串联起来的,每个所述工艺站点中又包含了至少一条工艺流程条件的辅助信息;步骤S02,在建立新产品试验信息建立平台前,以所述产品的名称搜索所述数据库,如果有相同产品名称的工艺流程数据记录,执行步骤S03;否则,执行步骤S04;步骤S03:在数据库中将所述工艺流程数据记录复制在所述新产品工艺流程数据记录中;其中,所述新产品工艺流程数据记录赋予与原记录相同的名称,以及与所述原记录以示区别的编号,并将所述记录存储到所...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱燕萍,邵雄,
申请(专利权)人:上海华力微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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