弹性波装置以及弹性波模块制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种带外衰减量大的弹性波装置以及弹性波模块。弹性波装置(1)具备：第一压电基板(2A)，具有第一、第二主面(2Aa、2Ab)；第二压电基板(2B)，具有第一、第二主面(2Ba、2Bb)，且厚度比第一压电基板(2A)的厚度大；以及接地端子(5a、5b)，形成在第一压电基板(2A)的第二主面(2Ab)上。第一压电基板(2A)的第一主面(2Aa)与第二压电基板(2B)的第一主面(2Ba)接合为彼此对置。在第一压电基板(2A)的第一主面(2Aa)构成有第一弹性波滤波器。在第二压电基板(2B)的第一主面(2Ba)构成有第二弹性波滤波器。第一弹性波滤波器的带外衰减量大于第二弹性波滤波器的带外衰减量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置以及弹性波模块
本专利技术涉及带通型滤波器等弹性波装置以及弹性波模块。
技术介绍
近年来，弹性波装置被广泛用作便携式电话机的带通型滤波器等。在下述的专利文献1示出了弹性波装置的一个例子。专利文献1的弹性波装置具有两个弹性波元件。在各弹性波元件中，在压电基板的一个主面形成有IDT电极。上述两个弹性波元件经由中间层进行接合，使得形成有IDT电极的压电基板的主面彼此对置。在任一个压电基板的外侧的主面形成有外部连接端子。在下述的专利文献2记载的弹性波装置中，与专利文献1同样地将两个弹性波元件进行接合。在专利文献2中，各弹性波元件的压电基板的厚度不同。在厚度小的一方的压电基板的外侧的主面形成有外部连接端子。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特表2008-546207号公报专利文献2：WO2011/102049
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，在专利文献1、2中，压电基板彼此经由中间层进行接合。因此，未形成外部连接端子的弹性波元件与外部连接端子的距离大。所以上述弹性波元件的接地阻抗大。因此，不能充分地增大弹性波装置的带外衰减量。本专利技术的目的在于，提供一种带外衰减量大的弹性波装置以及弹性波模块。用于解决课题的技术方案本专利技术涉及的弹性波装置具备：第一压电基板，具有第一主面、第二主面；第二压电基板，具有第一主面、第二主面，且厚度比所述第一压电基板的厚度大；多个第一IDT电极，形成在所述第一压电基板的所述第一主面上；多个第二IDT电极，形成在所述第二压电基板的所述第一主面上；以及多个外部连接用端子，形成在所述第一压电基板的所述第二主面上，在所述第一压电基板的所述第一主面构成有包括所述多个第一IDT电极的第一弹性波滤波器，在所述第二压电基板的所述第一主面构成有包括所述多个第二IDT电极的第二弹性波滤波器，所述多个外部连接用端子中的至少一个是接地端子，所述第一压电基板和所述第二压电基板经由支承构件进行接合，使得所述第一压电基板的所述第一主面与所述第二压电基板的所述第一主面彼此对置，所述支承构件设置为在俯视下包围构成有所述第一弹性波滤波器、第二弹性波滤波器的部分，所述第一弹性波滤波器的带外衰减量大于所述第二弹性波滤波器的带外衰减量。在本专利技术涉及的弹性波装置的某个特定的局面中，所述第一弹性波滤波器的通带的中心频率的0.85倍以上且1.15倍以下的范围的频带中的带外衰减量的最大值，大于所述第二弹性波滤波器的通带的中心频率的0.85倍以上且1.15倍以下的范围的频带中的带外衰减量。在该情况下，能够降低所述范围中的带外衰减量大的所述第一弹性波滤波器中的接地阻抗。由此，能够增大带外衰减量。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，所述第一弹性波滤波器具有第一纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，所述第二弹性波滤波器具有第二纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，所述第一纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的级数大于所述第二纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的级数。在该情况下，能够有效地增大带外衰减量。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，所述第一弹性波滤波器具有第一梯型滤波器，所述第二弹性波滤波器具有第二梯型滤波器，所述第一梯型滤波器具有的弹性波谐振器的个数大于所述第二梯型滤波器具有的弹性波谐振器的个数。在该情况下，能够有效地增大带外衰减量。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，在所述第一压电基板的所述第一主面构成有第一双工器，所述第一双工器具有作为所述第一弹性波滤波器的第一带通型滤波器和通带与所述第一带通型滤波器不同的第二带通型滤波器，在所述第二压电基板的所述第一主面构成有第二双工器，所述第二双工器具有作为所述第二弹性波滤波器的第三带通型滤波器和通带与所述第三带通型滤波器不同的第四带通型滤波器，所述第一带通型滤波器的相当于所述第二带通型滤波器的通带的频带中的衰减量，大于所述第三带通型滤波器的相当于所述第四带通型滤波器的通带的频带中的衰减量。在该情况下，能够降低所述频带中的衰减量大的所述第一带通型滤波器的接地阻抗。因此，能够有效地增大由所述第一双工器、第二双工器构成的四工器的隔离特性。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，还具备：第一连接布线，对所述接地端子和所述第一弹性波滤波器进行电连接；以及第二连接布线，对所述接地端子和所述第二弹性波滤波器进行电连接，所述第一连接布线的长度比所述第二连接布线的长度短。在该情况下，能够降低所述第一弹性波滤波器的接地阻抗。因此，能够有效地增大带外衰减量。本专利技术涉及的弹性波模块具备安装基板和安装在所述安装基板上的按照本专利技术构成的弹性波装置。由此，能够有效地增大带外衰减量。专利技术效果根据本专利技术，能够提供一种带外衰减量大的弹性波装置以及弹性波模块。附图说明图1是本专利技术的第一实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。图2是沿图1中的A-A线的阶梯剖视图。图3(a)以及图3(b)是本专利技术的第一实施方式中的第一弹性波滤波器的电路图以及第二弹性波滤波器的电路图。图4是沿图2中的B-B线的剖视图。图5是沿图2中的C-C线的剖视图。图6是示出本专利技术的第一实施方式以及第一比较例中的第一弹性波滤波器的衰减量频率特性的图。图7是示出本专利技术的第一实施方式以及第一比较例中的第二弹性波滤波器的衰减量频率特性的图。图8是示出本专利技术的第二实施方式中的第一压电基板的第一主面上的电极结构的俯视剖视图。图9是示出本专利技术的第二实施方式中的第二压电基板的第一主面上的电极结构的俯视剖视图。图10(a)～图10(d)是本专利技术的第二实施方式中的第一～第四带通型滤波器的电路图。图11是示出本专利技术的第二实施方式以及第二比较例中的第一带通型滤波器的衰减量频率特性的图。图12是示出本专利技术的第二实施方式以及第二比较例中的第三带通型滤波器的衰减量频率特性的图。图13(a)～图13(d)是第三实施方式中的第一～第四带通型滤波器的电路图。图14是作为本专利技术的第四实施方式的弹性波模块的主视剖视图。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的具体的实施方式进行说明，从而明确本专利技术。另外，需要指出，在本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式之间进行结构的部分置换或组合。图1是本专利技术的第一实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。图2是沿图1中的A-A线的阶梯剖视图。如图2所示，弹性波装置1具有第一弹性波元件11A、第二弹性波元件11B。第一弹性波元件11A具有第一压电基板2A。第一压电基板2A具有第一主面2Aa和与第一主面2Aa对置的第二主面2Ab。第二弹性波元件11B具有第二压电基板2B。第二压电基板2B具有第一主面2Ba、第二主面2Bb。第一压电基板2A的厚度小于第二压电基板2B的厚度。第一压电基板2A、第二压电基板2B由LiTaO3、LiNbO3等的压电单晶构成。另外，第一压电基板2A、第二压电基板2B也可以由压电陶瓷构成。在第一压电基板2A的第一主面2Aa上，形成有多个第一IDT电极3A11。通过对IDT电极施加交流电压，从而激励声表面波。虽然未图示，但是在各第一IDT电极3A11的声表面波传播方向上的两侧分别形成有反射器。由此，构成了多个弹性波谐振器。像后面说明的那样，上述多个弹性波谐振器连接为构成梯型滤波器。由此，构成了第一弹性波滤波器。在第二压电基板2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弹性波装置，具备：第一压电基板，具有第一主面、第二主面；第二压电基板，具有第一主面、第二主面，且厚度比所述第一压电基板的厚度大；多个第一IDT电极，形成在所述第一压电基板的所述第一主面上；多个第二IDT电极，形成在所述第二压电基板的所述第一主面上；以及多个外部连接用端子，形成在所述第一压电基板的所述第二主面上，在所述第一压电基板的所述第一主面构成有包括所述多个第一IDT电极的第一弹性波滤波器，在所述第二压电基板的所述第一主面构成有包括所述多个第二IDT电极的第二弹性波滤波器，所述多个外部连接用端子中的至少一个是接地端子，所述第一压电基板和所述第二压电基板经由支承构件进行接合，使得所述第一压电基板的所述第一主面与所述第二压电基板的所述第一主面彼此对置，所述支承构件设置为在俯视下包围构成有所述第一弹性波滤波器、第二弹性波滤波器的部分，所述第一弹性波滤波器的带外衰减量大于所述第二弹性波滤波器的带外衰减量。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.10.31 JP 2014-2227621.一种弹性波装置，具备：第一压电基板，具有第一主面、第二主面；第二压电基板，具有第一主面、第二主面，且厚度比所述第一压电基板的厚度大；多个第一IDT电极，形成在所述第一压电基板的所述第一主面上；多个第二IDT电极，形成在所述第二压电基板的所述第一主面上；以及多个外部连接用端子，形成在所述第一压电基板的所述第二主面上，在所述第一压电基板的所述第一主面构成有包括所述多个第一IDT电极的第一弹性波滤波器，在所述第二压电基板的所述第一主面构成有包括所述多个第二IDT电极的第二弹性波滤波器，所述多个外部连接用端子中的至少一个是接地端子，所述第一压电基板和所述第二压电基板经由支承构件进行接合，使得所述第一压电基板的所述第一主面与所述第二压电基板的所述第一主面彼此对置，所述支承构件设置为在俯视下包围构成有所述第一弹性波滤波器、第二弹性波滤波器的部分，所述第一弹性波滤波器的带外衰减量大于所述第二弹性波滤波器的带外衰减量。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述第一弹性波滤波器的通带的中心频率的0.85倍以上且1.15倍以下的范围的频带中的带外衰减量的最大值，大于所述第二弹性波滤波器的通带的中心频率的0.85倍以上且1.15倍以下的范围的频带中的带外衰减量。3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述第一弹性波滤波器具有第一纵向...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村聪一，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP