一种声表面波谐振器型分布式温度感测结构制造技术

一种声表面波谐振器型分布式温度感测结构，在分布式参量系统中设置若干基于声表面波谐振器的温度感测单元，利用电平选通高频开关选通各个温度感测单元，通过检测各个温度感测单元中声表面波谐振型振荡器输出信号的频率，依据温度传感单元所输出的高频振荡信号的频率与待感测分布式系统中声表面波谐振器所在位置处的温度之间的相关关系，测量和分析所感测的分布式参量系统中的温度分布状态及变化规律。本实用新型专利技术采用声表面波谐振器构成声表面波谐振型振荡器作为温度敏感元件，感测结果直接以频率输出，易于实现数字化。

【技术实现步骤摘要】
一种声表面波谐振器型分布式温度感测结构
本技术涉及传感器
，尤其涉及一种声表面波谐振器型分布式温度感测结构。
技术介绍
声表面波谐振器由制作在压电基片上的两个反射栅阵列构成谐振腔，置于谐振腔内适当位置的叉指换能器所激发的声表面波在两个反射栅之间来回反射、叠加而发生谐振，谐振频率决定于叉指换能器及反射栅阵列的结构参数以及声表面波波速。当压电基片的环境温度发生变化时，由于热应力应变的作用，基片材料的弹性系数、密度等，以及叉指换能器的几何结构参数发生变化，导致声表面波谐振器的的谐振特性发生变化，依据声表面波谐振器的谐振频率与温度的相关关系，可以通过测量声表面波谐振器的谐振频率及其变化来确定其所在位置处的温度。采用声表面波谐振器作为稳频元件，可以结合放大电路、移相网络等构成声表面波谐振器型振荡器，振荡器输出的振荡信号的频率反映所在位置处温度状况，可以通过测量声表面波谐振器型振荡器振荡频率及其变化，确定和分析其所在位置处的温度及其变化情况。现有基于声表面波谐振器以及声表面波谐振器型振荡器的传感应用大多为单个器件的独立运用，不适合对分布式温度系统中温度的分布状况及变化情况进行感测和分析。技本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种声表面波谐振器型分布式温度感测结构, 其特征在于：包括设置于待感测分布式温度系统中的若干个温度感测单元(1)和单元码译码电路(4)，单元码译码电路(4)上设有单元码输入端（41）、译码输出端（42），所述温度感测单元(1)包括串联的声表面波谐振器型振荡器和电平选通高频开关（12），所述声表面波谐振器型振荡器包括声表面波谐振器（11）、反馈放大电路（13）、移相匹配电路（14），声表面波谐振器（11）、反馈放大电路（13）、移相匹配电路（14）经高频信号线（3）连接，采用声表面波谐振器（11）作为温度感应元件和振荡器稳频元件；各个温度感测单元(1)并联相接，各个温度感测单元(1)的高频振荡信...

【技术特征摘要】
1.一种声表面波谐振器型分布式温度感测结构,其特征在于：包括设置于待感测分布式温度系统中的若干个温度感测单元(1)和单元码译码电路(4)，单元码译码电路(4)上设有单元码输入端（41）、译码输出端（42），所述温度感测单元(1)包括串联的声表面波谐振器型振荡器和电平选通高频开关（12），所述声表面波谐振器型振荡器包括声表面波谐振器（11）、反馈放大电路（13）、移相匹配电路（14），声表面波谐振器（11）、反馈放大电路（13）、移相匹配电路（14）经高频信号线（3）连接，采用声表面波谐振器（11）作为温度感应元件和振荡器稳频元件；各个温度感测单元(1)并联相接，各个温度感测单元(1)的高频振荡信号输出端（21）汇集为高频振荡信号输出端口（2），外接频率计，且各个...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵成，陈磊，杨义军，郭鹏飞，
申请(专利权)人：扬州大学，
类型：新型
国别省市：江苏,32