坚固的微机电开关制造技术

本发明专利技术涉及一种微机电系统开关(1)，包括信号输入线(4)，信号输出线(5)，电连接到线路(5)的可变形导电膜(2)，并包括面对线(4)的接触凹部(9)，膜(2)的致动电极(3)，其特征在于，膜(2)具有平面的圆形的形状，在信号输入线(4)的方向上具有径向开口(2a)，其从膜(2)的外周朝向中心变窄，接触凹部(9)形成在膜(2)的中心区域中，致动电极(3)具有与膜(2)相同的形状，并且膜(2)和致动电极(3)之间的间隙仅为气隙，其中膜(2)面向致动电极(3)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】坚固的微机电开关本专利技术涉及微机电系统(MEMS)领域，特别涉及一种微机电开关。国际专利申请WO2006/023724，WO2006/023809，WO2007/022500和WO2007/022500以及美国专利申请US2012/031744A1和US2010/181631A1描述了根据现有技术的MEMS开关。射频微机电系统(RFMEMS)允许对覆盖大范围频率(DC-100GHz)的应用执行切换操作。依据在它们的性能，和关于它们尺寸的低功耗，它们的竞争优势使得它们成为系统制造商非常赞赏的组件。然而，为了将这些组分并入电子系统中，它们必须提供一些机械和热稳定性。例如，组件的延长致动不应该产生机械膜的永久变形，这可能导致不可逆的故障。此外，重复的致动不应该加速接触区域的磨损，并导致性能的降低或导致由于“粘附”接触引起的组件的固定。最后，在封装或PCB焊接阶段期间经历的高温不应产生永久性改变机械和电气特性的变形。本专利技术涉及一种坚固的微机电开关，其结构确保了降低的温度灵敏度，并且在确保RFMEMS技术固有的性能的同时，能够以有限的粘附现象进行稳定的电接触。因此，本专利技术涉及一种微机电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微机电(MEMS)开关(1)，包括：‑一基板(S)，‑一形成在所述基板(S)上的信号输入线(4)，‑一形成在所述基板(S)上的信号输出线(5)‑一可变形导电膜(2)，电连接到所述信号输出线(5)上，所述可变形导电膜(2)通过布置在所述基板(S)上的锚(6)悬置在一平面中，其中平面平行于所述基板(S)的平面，所述可变形导电膜(2)包括一面对信号输入线(4)的接触凹部(9)，使得在可变形导电膜(2)的未变形状态下，接触凹部(9)不与信号输入线(4)接触，并且在可变形导电膜(2)的变形状态下，所述接触凹部(9)与信号输入线(4)接触，以用于从信号输入线(4)传送信号到信号输出线(5)，‑一致动电...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.10.21 FR 14601041.一种微机电(MEMS)开关(1)，包括：-一基板(S)，-一形成在所述基板(S)上的信号输入线(4)，-一形成在所述基板(S)上的信号输出线(5)-一可变形导电膜(2)，电连接到所述信号输出线(5)上，所述可变形导电膜(2)通过布置在所述基板(S)上的锚(6)悬置在一平面中，其中平面平行于所述基板(S)的平面，所述可变形导电膜(2)包括一面对信号输入线(4)的接触凹部(9)，使得在可变形导电膜(2)的未变形状态下，接触凹部(9)不与信号输入线(4)接触，并且在可变形导电膜(2)的变形状态下，所述接触凹部(9)与信号输入线(4)接触，以用于从信号输入线(4)传送信号到信号输出线(5)，-一致动电极(3)，形成在所述可变形导电膜(2)下方的所述基板(S)上，所述致动电极(3)用于使所述可变形导电膜(2)变形，以在所述可变形导电膜(2)的接触凹部(9)和信号输入线(4)之间产生电接触，其特征在于：-所述可变形导电膜(2)具有平面的圆形的形状，所述锚(6)布置在其周边，以便在可变形导电膜(2)的中心区域中集中一较低的刚度，并具有径向开口(2a)，其在信号输入线(4)的方向上形成一锐角，使可变形导电膜(2)的周边朝向中心变窄，接触凹部(9)形成在可变形导电膜的中心区域(2)，使得信号输入线(4)的端部与接触凹部(9)相对，-所述致动电极(3)具有与所述可变形导电膜(2)相同的形状，并围绕在所述信号输入线(4)的所述基板(S)上，以及-可变形导电膜(2)的下表面和致动电极(3)之间的间隙仅为一气隙，其中可变形导电膜的下表面面对致动电极。2.根据权利要求1所述的微机电开关(1)，其特征在于，在径向开口(2a)的中轴上形成有一锚(6)。3.根据权利要求1所述的微机电开关(1)，其特征在于，在与所述可变形导电膜(2)的外接圆具有相同中心...

【专利技术属性】
技术研发人员：皮埃尔·布隆迪，罗曼·斯特凡尼尼，L·Y·张，阿贝杜勒·哈利姆·察尔，
申请(专利权)人：埃尔曼斯公司，
类型：发明
国别省市：法国,FR