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本发明涉及一种微机电系统开关(1)，包括信号输入线(4)，信号输出线(5)，电连接到线路(5)的可变形导电膜(2)，并包括面对线(4)的接触凹部(9)，膜(2)的致动电极(3)，其特征在于，膜(2)具有平面的圆形的形状，在信号输入线(4)的...
该专利属于埃尔曼斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃尔曼斯公司授权不得商用。

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