基板检查装置及基板检查方法制造方法及图纸

提供容易地降低电容和电阻值的测定工时的基板检查装置和基板检查方法。所述基板检查装置具备：测定处理部(41)，其与将多个连接端子(Tx)和多个连接端子(Ty)分别组合而得到的多个组合对应，针对与各组合对应的连接端子(Tx、Ty)，通过交流电源(2)向该连接端子(Ty)供给交流信号(SA)，通过电流计(3)检测流动到该连接端子(Tx)的电流，由此执行获取与各组合对应的电流的测定处理；计算部(42)，其执行基于在测定处理中通过电流计(3)检测出的电流的大小和表示相位的信息来计算与各组合对应的电容和电阻值的计算处理。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板检查装置及基板检查方法
本专利技术涉及检查基板的基板检查装置及基板检查方法。
技术介绍
近年来，伴随着以智能手机、平板电脑为首的电子设备的快速普及，对检测人的手指和/或触控笔所触摸的位置的触摸面板的需求特别高。作为这样的触摸面板而为人所知的有使两张电阻膜相对配置并将其配置在触摸面，并根据用户触摸触摸面时的电阻值来检测触摸位置的电阻膜式的触摸面板。作为这样的电阻膜式的触摸面板的检查方法而为人所知的有例如专利文献1。另一方面，近年来，将配置成网格状的透明电极配置在触摸面，并基于在用户用手指触摸面板时产生的电容来检测触摸位置的电容式的触摸面板得到广泛应用。就电容式的触摸面板而言，在面板表面设定X-Y的二维坐标，并以与X-Y坐标对应的方式在例如玻璃等透明基板上相互绝缘地相对配置有沿X方向延伸的多个透明电极和沿Y方向延伸的多个透明电极。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2005-274225号公报
技术实现思路
技术问题然而，在检查上述那样的电容式的触摸面板时，需要测定在沿X方向延伸的透明电极与沿Y方向延伸的透明电极之间产生的电容和透明电极的电阻。对于电容的测定使用电容用测定装置，对于电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板检查装置，其特征在于，检查以沿预定的第一方向延伸的多个第一电极和沿与所述第一方向交叉的第二方向延伸的多个第二电极彼此对置的方式形成的基板，所述基板检查装置具备：交流电压输出部，其输出预定的交流电压；电流检测部，其检测电流；多个第一连接端子，能够分别与所述多个第一电极电连接；多个第二连接端子，能够分别与所述多个第二电极电连接；测定处理部，其与将所述多个第一连接端子和所述多个第二连接端子分别组合而得到的多个组合对应，针对与各所述组合对应的第一连接端子和第二连接端子，通过所述交流电压输出部向该第二连接端子供给所述交流电压，通过所述电流检测部检测流动到该第一连接端子的电流，由此执行获取与各所述...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.10.29 JP 2014-2201891.一种基板检查装置，其特征在于，检查以沿预定的第一方向延伸的多个第一电极和沿与所述第一方向交叉的第二方向延伸的多个第二电极彼此对置的方式形成的基板，所述基板检查装置具备：交流电压输出部，其输出预定的交流电压；电流检测部，其检测电流；多个第一连接端子，能够分别与所述多个第一电极电连接；多个第二连接端子，能够分别与所述多个第二电极电连接；测定处理部，其与将所述多个第一连接端子和所述多个第二连接端子分别组合而得到的多个组合对应，针对与各所述组合对应的第一连接端子和第二连接端子，通过所述交流电压输出部向该第二连接端子供给所述交流电压，通过所述电流检测部检测流动到该第一连接端子的电流，由此执行获取与各所述组合对应的电流的测定处理；以及计算部，其执行基于在所述测定处理中通过所述电流检测部检测出的电流的大小和表示相位的信息来计算与各所述组合对应的电容和电阻值的计算处理。2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，所述基板包括：多个第一基板端子，分别与所述多个第一电极导通；以及多个第二基板端子，分别与所述多个第二电极导通，所述多个第一连接端子分别与所述多个第一基板端子连接，并经由该多个第一基板端子分别与所述多个第一电极电连接，所述多个第二连接端子分别与所述多个第二基板端子连接，并经由该多个第二基板端子分别与所述多个第二电极电连接。3.根据权利要求1或2所述的基板检查装置，其特征在于，所述基板为触摸面板，所述触摸面板被预定为：将为了读取各所述第一电极和各所述第二电极交叉的位置的电容而预先设定的读取频率的交流信号供给到各所述第一电极和各所述第二电极，所述交流电压的频率与所述读取频率大致相等。4.根据权利要求1～3中任一项所述的基板检查装置，其特征在于，所述基板检查装置还具备内部参数存储部，所述内部参数存储部将对应于各所述组合而在所述基板检查装置内部产生的电容和电阻值作为内部电容和内部电阻值存储，所述计算部还执行内部参数修正处理，所述内部参数修正处理基于对应于各所述组合而存储在所述内部参数存储部的内部电容和内部电阻值来修正与各该组合对应的电容和电阻值。5.根据权利要求4所述的基板检查装置，其特征在于，所述基板检查装置还具备内部参数获取处理部，所述内部参数获取处理部将在所述多个第一电极和所述多个第二电极与所述多个第一连接端子和所述多个第二连接端子未连接的状态下，通过由所述测定处理部和所述计算部执行所述测定处理和所述计算处理而对应于各所述组合得到的电容和电阻值与各该组合对应地作为所述内部电容和所述内部电阻值而存储于所述内部参数存储部。6.根据权利要求1～5中任一项所述的基板检查装置，其特征在于，所述基板检查装置还具备杂散电容存储部，所述杂散电容存储部对应于各所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：高桥正，鸙野俊寿，本田睦博，
申请(专利权)人：日本电产理德股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP