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提供容易地降低电容和电阻值的测定工时的基板检查装置和基板检查方法。所述基板检查装置具备：测定处理部(41)，其与将多个连接端子(Tx)和多个连接端子(Ty)分别组合而得到的多个组合对应，针对与各组合对应的连接端子(Tx、Ty)，通过交流电源...
该专利属于日本电产理德股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日本电产理德股份有限公司授权不得商用。

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