基于摩擦驱动的静压气浮水平直线运动基准装置制造方法及图纸

基于摩擦驱动的静压气浮水平直线运动基准装置属于精密测量与仪器技术领域；该装置包括基准部分、驱动部分，基准部分和驱动部分通过驱动连接单元和支架平行安装；基准部分包括光栅尺、光电读数头、通气管道、精密气浮导轨、气浮导套；驱动部分包括驱动导轨、运动检测部件、制动轮、制动单元、驱动电机、摩擦轮框架、从动轮、主动轮；基准部分的气浮导套和驱动部分的驱动导轨固定安装在支架上；基准部分的精密气浮导轨和驱动部分的摩擦轮框架通过驱动连接单元相连；本发明专利技术可建立一种高直线运动精度和高定位精度兼顾的直线运动基准装置。

【技术实现步骤摘要】
基于摩擦驱动的静压气浮水平直线运动基准装置
本专利技术属于精密测量与仪器
，特别涉及一种基于摩擦驱动的静压气浮水平直线运动基准装置。
技术介绍
在超精密计量测试和超精密加工领域，直线基准是精密/超精密测量仪器、试验装备与制造装备中的核心技术之一。北京工业大学提出了一种闭式空气静压导轨装置(高精度高刚度闭式空气静压导轨，专利公开号：CN102632398A)。该装置包括底座、左立柱、导轨、溜板、卸荷导轨、卸荷溜板、卸荷弹簧、右立柱和静压气腔几个部分，底座用来支承左右立柱，左右立柱对称放置，支撑导轨、卸荷导轨、溜板和卸荷溜板，导轨和溜板之间是封闭式的，溜板和卸荷溜板之间有卸荷弹簧。其特点是，卸荷溜板通过弹簧作用将溜板自身的重量转移到卸荷导轨上，作业使用时，溜板同卸荷溜板沿着各自导轨同步实现水平直线运动。该方案主要着力于解决静压气浮支承气膜刚度低的缺点，在用于精密直线测量
时，溜板运动带来的扰动会影响导轨的运动精度。浙江工业大学提出了一种全解耦动态平衡装置(专利公开号：CN103116362A)。该装置包括基座和工作台，工作台底面安装第一直线导轨，动平台的顶面安装第二直线导轨，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于摩擦驱动的静压气浮水平直线运动基准装置,其特征在于：该装置包括基准部分(A)、驱动部分(B)，通过驱动连接单元(4)和支架(14)使基准部分(A)和驱动部分(B)平行安装；基准部分(A)包括光栅尺(1)、光电读数头(2)、通气管道(3)、精密气浮导轨(5)、气浮导套(6)；驱动部分(B)包括驱动导轨(7)、运动检测部件(8)、制动轮(9)、制动单元(10)、驱动电机(11)、摩擦轮框架(12)、从动轮(13)、主动轮(15)；基准部分(A)的气浮导套(6)和驱动部分(B)的驱动导轨(7)固定安装在支架(14)上；基准部分(A)的精密气浮导轨(5)和驱动部分(B)的摩擦轮框架(12)通过...

【技术特征摘要】
1.一种基于摩擦驱动的静压气浮水平直线运动基准装置,其特征在于：该装置包括基准部分(A)、驱动部分(B)，通过驱动连接单元(4)和支架(14)使基准部分(A)和驱动部分(B)平行安装；基准部分(A)包括光栅尺(1)、光电读数头(2)、通气管道(3)、精密气浮导轨(5)、气浮导套(6)；驱动部分(B)包括驱动导轨(7)、运动检测部件(8)、制动轮(9)、制动单元(10)、驱动电机(11)、摩擦轮框架(12)、从动轮(13)、主动轮(15)；基准部分(A)的气浮导套(6)和驱动部分(B)的驱动导轨(7)固定安装在支架(14)上；基准部分(A)的精密气浮导轨(5)和驱动部分(B)的摩擦轮框架(12)通过驱动连接单元(4)相连；基准部分(A)的2个气浮导套(6)平行安装，2个气浮导套(6)内部通过通气管道(3)连通；精密气浮导轨(5)安装在气浮导套(6)的内侧；精密气浮导轨(5)沿X运动方向安装有光栅尺(1)，气浮导套(6)上安装有与光栅尺(1)配合使用的光电读数头(2)；驱动部分(B)的摩擦轮框架(12)和制动单元(10)平行安装，摩擦轮框架(12)上安装有主动轮(15)和从动轮(13)，制动单元(10)上安装有制动轮(9)；驱动导轨(7)安装在主动轮(15)的下方，同时驱动导轨(7)安装在从动轮(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄景志，温众普，胡星烨，谭久彬，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江,23