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基于摩擦驱动的静压气浮水平直线运动基准装置属于精密测量与仪器技术领域；该装置包括基准部分、驱动部分，基准部分和驱动部分通过驱动连接单元和支架平行安装；基准部分包括光栅尺、光电读数头、通气管道、精密气浮导轨、气浮导套；驱动部分包括驱动导轨、运...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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