压力传感装置及其制造方法制造方法及图纸

一种压力传感装置包括一第一基板、一薄膜晶体管元件、一第一传感元件、一第二传感元件以及一可压缩层。薄膜晶体管元件形成于第一基板的一第一表面。第一传感元件形成于第一基板的一第二表面，且第二表面与第一表面为彼此相对的表面。第二传感元件与第一传感元件相对而设，且第二传感元件与第一传感元件分别位于第一基板的同一侧。可压缩层设置于第一传感元件与第二传感元件之间。藉此，本发明专利技术可使得压力传感装置可依据电容变化量判断被按压的位置及按压力道，同时可依据按压力道的大小来产生不同的控制功能。同时，本发明专利技术亦揭露一种压力传感装置的制造方法。

Pressure sensing device and manufacturing method thereof

A pressure sensing device includes a first substrate, a thin film transistor element, a first sensing element, a second sensing element, and a compressible layer. The thin film transistor element is formed on a first surface of the first substrate. The first sensing element is formed on a second surface of the first substrate, and the second surface is opposite to the first surface as opposed to each other. The second sensing element is arranged opposite to the first sensing element, and the second sensing element and the first sensing element are located on the same side of the first substrate respectively. The compressible layer is disposed between the first sensing element and the second sensing element. Thereby, the invention can make the pressure sensing device judge the position to be pressed and press the pressure path according to the variation of the capacitance, and meanwhile, different control functions can be generated according to the size of the pressure path. At the same time, the invention also discloses a manufacturing method of the pressure sensing device.

【技术实现步骤摘要】
压力传感装置及其制造方法
本专利技术关于一种传感装置及其制造方法，特别关于一种压力传感装置及其制造方法。
技术介绍
随着科技不断的进步，各种信息设备不断地推陈出新，例如手机、平板电脑、超轻薄笔记本电脑、及卫星导航等。除了一般以键盘或鼠标输入或操控之外，利用触控式技术来操控信息设备是一种相当直观且受欢迎的操控方式。其中，触控装置具有人性化及直觉化的输入操作介面，使得任何年龄层的使用者都可直接以手指或触控笔选取或操控信息设备。现今触控技术多为二维(2D)平面的多点触控(Multi-Touch)，其是利用例如手指碰触显示面而改变例如电容值来精确判断手指的触碰位置，进而产生对应的控制功能。另外，除了二维平面的触控技术中，为了感测垂直于显示面(Z轴)方向的按压力道，已知技术一般是利用于显示面上外贴一压力传感结构来感测Z轴方向的碰触力道，从而实现3D触控的目的。
技术实现思路
本专利技术提供一种压力传感装置，包括一第一基板、一薄膜晶体管元件、一第一传感元件、一第二传感元件以及一可压缩层。薄膜晶体管元件形成于第一基板的一第一表面。第一传感元件形成于第一基板的一第二表面，且第二表面与第一表面为彼此相对的表面。第二传感元件与第一传感元件相对而设。可压缩层设置于第一传感元件与第二传感元件之间。本专利技术提供一种压力传感装置的制造方法，包括以下步骤：提供一第一基板；形成一薄膜晶体管元件于第一基板的一第一表面；提供一第二基板，并与第一基板相对而设，且薄膜晶体管元件位于第一基板与第二基板之间；形成一第一传感元件于第一基板的一第二表面，且第二表面与第一表面为彼此相对的表面；提供一第二传感元件，并使第一传感元件与第二传感元件位于第一基板的同一侧；以及提供一可压缩层，并使可压缩层夹置于第一传感元件与第二传感元件之间。在一实施例中，第一传感元件与第二传感元件的其中之一为图案化导电层。在一实施例中，第一传感元件与第二传感元件分别为图案化导电层。在一实施例中，可压缩层的材料包含光学胶、光学透明树脂、光学弹性树脂、硅胶，或包含一密封元件及一气体层，且气体层位于密封元件所围设的空间内。在一实施例中，压力传感装置更包括一第二基板，其与第一基板相对而设，且薄膜晶体管元件位于第一基板与第二基板之间。在一实施例中，压力传感装置更包括一第一偏光板与一第二偏光板，第一传感元件设置于第一偏光板与第一基板之间，第二偏光板设置于第二基板远离第一基板的一侧。在一实施例中，压力传感装置更包括一触控电极层，其设置于第二基板与第二偏光板之间。在一实施例中，压力传感装置更包括一触控电极层，其设置于第一基板与第二基板之间，且触控电极层位于薄膜晶体管元件上。在一实施例中，压力传感装置更包括一保护基板及一触控电极层。保护基板与第二基板相对而设。触控电极层设置于保护基板面向第二基板的表面。在一实施例中，压力传感装置更包括一背光模块，其与第一基板相对而设，且可压缩层设置于第一传感元件与背光模块之间，背光模块包含一导光板、一反射板、至少一光学膜片及一背板，光学膜片与反射板分别设置于导光板的两侧，背板承载反射板、导光板及光学膜片。在一实施例中，第二传感元件为透明导电膜，并设置于导光板上。在一实施例中，第二传感元件为反射板或背板。在一实施例中，在提供第二基板而与第一基板相对而设的步骤之后，形成第一传感元件于第一基板的第二表面。在一实施例中，在提供第二基板而与第一基板相对而设的步骤之前，形成第一传感元件于第一基板的第二表面。在一实施例中，制造方法更包括一步骤：使一触控电极层夹置于第一基板与第二基板之间，且触控电极层位于薄膜晶体管元件上。在一实施例中，制造方法更包括以下步骤：提供一触控电极层及一保护基板、将触控电极层设置于保护基板面向第二基板的表面、及使具有触控电极层的保护基板与第二基板相对而设。在一实施例中，于使可压缩层夹置于第一传感元件与第二传感元件之间的步骤之前，制造方法更包括以下步骤：提供一第一偏光板及一第二偏光板、使第一传感元件夹置于第一偏光板与第一基板之间、及使第二偏光板设置于第二基板远离第一基板的一侧。在一实施例中，制造方法更包括一步骤：使一触控电极层夹置于第二基板与第二偏光板之间。在一实施例中，制造方法更包括以下步骤：提供一背光模块，其中背光模块包含一导光板、一反射板、至少一光学膜片及一背板，光学膜片与反射板分别设置于导光板的两侧，背板承载反射板、导光板及光学膜片、及使背光模块与第一基板相对而设，并使可压缩层夹置于第一传感元件与背光模块之间。承上所述，于本专利技术的压力传感装置及其制造方法中，通过将薄膜晶体管元件形成于第一基板的第一表面，并将第一传感元件形成于第一基板的第二表面，且将第二传感元件与第一传感元件相对而设，而使第二传感元件与第一传感元件分别位于第一基板的同一侧，并使可压缩层设置于第一传感元件与第二传感元件之间，使得，当按压本专利技术的压力传感装置时，可压缩层将因按压而产生形变，故第一传感元件与第二传感元件之间的电容值将产生变化。藉此，使得压力传感装置可依据电容变化量判断被按压的位置及按压力道，同时可依据按压力道的大小来产生不同的控制功能。此外，本专利技术的压力传感装置亦可搭配已知的2D触控来实现3D触控功能，从而增加产品于触控功能上的运用性。附图说明图1A为本专利技术较佳实施例的一种压力传感装置的示意图。图1B为压力传感装置被按压时的示意图。图2A为本专利技术另一较佳实施例的压力传感装置的示意图。图2B为图2A的压力传感装置被按压时的示意图。图3A至图3D分别为本专利技术不同实施态样的压力传感装置的示意图。图4为本专利技术较佳实施例的一种压力传感装置的制造方法的流程步骤图。具体实施方式以下将参照相关图式，说明依本专利技术较佳实施例的压力传感装置，其中相同的元件将以相同的参照符号加以说明。请分别参照图1A及图1B所示，其中，图1A为本专利技术较佳实施例的一种压力传感装置1的示意图，而图1B为压力传感装置1被按压时的示意图。压力传感装置1包括一显示面板11、一第一传感元件12、一可压缩层13以及一第二传感元件14。显示面板11可为液晶显示面板(LCD)、有机发光二极管显示面板(OLED)或发光二极管显示面板(LED)，并不限定。显示面板11具有一显示面AA，并包含一第一基板111及一第二基板112，且第一基板111与第二基板112相对而设。其中，第一基板111具有邻近显示面AA的一第一表面S1及与第一表面S1相对的一第二表面S2(第二表面S2远离显示面AA)。于此，第一表面S1为第一基板111的上表面，而第二表面S2为第一基板111的下表面，且第二基板112面向第一表面S1而与第一基板111相对而设。第一传感元件12设置于第一基板111的第二表面S2。于此，可在第一基板111的下表面形成第一传感元件12后再与第二基板112进行对组，或者先将第一基板111与第二基板112对组后，再于第一基板111的下表面形成第一传感元件12，并不限制。于此，在第一基板111的下表面形成第一传感元件12，并不限制第一传感元件12是直接或间接形成于该下表面，第一传感元件12与该下表面之间可具有其他膜层。在本实施例中，以光刻工艺将第一传感元件12形成于第一基板111的下表面。第二传感元件14设置于可压缩层13上而与第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压力传感装置，其特征在于，包括：一第一基板；一薄膜晶体管元件，形成于该第一基板的一第一表面；一第一传感元件，形成于该第一基板的一第二表面，且该第二表面与该第一表面为彼此相对的表面；一第二传感元件，与该第一传感元件相对而设，且该第二传感元件与该第一传感元件位于该第一基板的同一侧；以及一可压缩层，设置于该第一传感元件与该第二传感元件之间。

【技术特征摘要】
1.一种压力传感装置，其特征在于，包括：一第一基板；一薄膜晶体管元件，形成于该第一基板的一第一表面；一第一传感元件，形成于该第一基板的一第二表面，且该第二表面与该第一表面为彼此相对的表面；一第二传感元件，与该第一传感元件相对而设，且该第二传感元件与该第一传感元件位于该第一基板的同一侧；以及一可压缩层，设置于该第一传感元件与该第二传感元件之间。2.如权利要求1所述的压力传感装置，其特征在于，该第一传感元件与该第二传感元件的其中之一为图案化导电层。3.如权利要求1所述的压力传感装置，其特征在于，该第一传感元件与该第二传感元件分别为图案化导电层。4.如权利要求1所述的压力传感装置，其特征在于，该可压缩层的材料包含光学胶、光学透明树脂、光学弹性树脂、硅胶，或包含一密封元件及一气体层，且该气体层位于该密封元件所围设的空间内。5.如权利要求1所述的压力传感装置，其特征在于，更包括：一第二基板，与该第一基板相对而设，且该薄膜晶体管元件位于该第一基板与该第二基板之间。6.如权利要求5所述的压力传感装置，其特征在于，更包括：一第一偏光板与一第二偏光板，该第一传感元件设置于该第一偏光板与该第一基板之间，该第二偏光板设置于该第二基板远离该第一基板的一侧。7.如权利要求6所述的压力传感装置，其特征在于，更包括：一触控电极层，设置于该第二基板与该第二偏光板之间。8.如权利要求5所述的压力传感装置，其特征在于，更包括：一触控电极层，设置于该第一基板与该第二基板之间，且该触控电极层位于该薄膜晶体管元件上。9.如权利要求5所述的压力传感装置，其特征在于，更包括：一保护基板，与该第二基板相对而设；及一触控电极层，设置于该保护基板面向该第二基板的表面。10.如权利要求1所述的压力传感装置，其特征在于，更包括：一背光模块，与该第一基板相对而设，且该可压缩层设置于该第一传感元件与该背光模块之间，该背光模块包含一导光板、一反射板、至少一光学膜片及一背板，该光学膜片与该反射板分别设置于该导光板的两侧，该背板承载该反射板、该导光板及该光学膜片。11.如权利要求10所述的压力传感装置，其特征在于，该第二传感元件为透明导电膜，并设置于该导光板上。12.如权利要求10所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：林舜茂，陈柏仰，姚怡安，
申请(专利权)人：群创光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71