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压力传感装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:15999208
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一种压力传感装置包括一第一基板、一薄膜晶体管元件、一第一传感元件、一第二传感元件以及一可压缩层。薄膜晶体管元件形成于第一基板的一第一表面。第一传感元件形成于第一基板的一第二表面,且第二表面与第一表面为彼此相对的表面。第二传感元件与第一传感元...
该专利属于群创光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过群创光电股份有限公司授权不得商用。
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