探针清洗装置及探针清洗方法制造方法及图纸

本发明专利技术公布了一种探针清洗装置，探针清洗装置包括清洗槽、超声波发生器及控制模组，控制模组电连接超声波发生器，清洗槽盛放清洗剂并安装于表面段差测量装置的工作平台一侧，超声波发生器置于清洗槽中，控制模组控制超声波发生器带动清洗剂在超声波频率下振动以清洗探针，同时控制模组控制探针伸入清洗剂液面的深度。本发明专利技术还公布了一种探针清洗方法。在工作平台旁设置探针清洗装置可以在不停机的情况下定期清洗探针，避免探针表面沾有污渍或残渣影响测量的精确度，超声波清洗效果良好且稳定，不会出现探针倾斜等异常影响探针测量精度，保护探针不受损坏，延长探针使用寿命。

Probe cleaning device and probe cleaning method

The invention discloses a probe cleaning device, probe cleaning device comprises a cleaning tank, ultrasonic generator and control module, control module is electrically connected with the ultrasonic generator, a cleaning tank cleaning agent and side work platform installed in the surface segment difference measuring device, the ultrasonic generator is arranged in a cleaning tank, ultrasonic generator drives the cleaning control module control agent in ultrasonic vibration frequency to control the cleaning probe, probe into the cleaning agent module and control liquid level depth. The invention also discloses a probe cleaning method. The probe cleaning device is arranged on the working platform next to regular cleaning probe under the condition of no stop, avoid the probe surface stained with dirt or residue affect the measurement accuracy, ultrasonic cleaning effect is good and stable, does not appear abnormal tilt effect of probe probe measurement accuracy, probe protection from damage, prolong the service life of the probe.

【技术实现步骤摘要】
探针清洗装置及探针清洗方法
本专利技术涉及膜层厚度测试领域，尤其是涉及一种探针清洗装置及探针清洗方法。
技术介绍
在液晶显示等行业中，为了精确控制各膜层的厚度和膜层表面的平面度，需要多次测量膜层的厚度和膜层各位置的高度差。探针式表面段差测量方式是常用的测试膜层厚度的方法，探针式表面段差测量设备采用探针接触待测表面，探针根据待测表面的起伏确定膜层表面的厚度和高度差，长期使用探针或设备停滞使用过久会在探针表面产生污渍或残渣影响测量的精确度，故需要经常对探针进行清洗等操作保持探针表面洁净。现有技术中，探针的清洁需要停机后工作人员手动擦拭，手动擦拭效果决定于工作人员的手法，擦拭效果不稳定，且容易擦拭不当导致探针倾斜等异常影响探针测量精度，甚至损坏探针。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种探针清洗装置及探针清洗方法，用以解决现有技术中手动擦拭效果不稳定，且容易擦拭不当导致探针倾斜等异常影响探针测量精度，甚至损坏探针的问题。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种探针清洗装置，用于清洗表面段差测量装置的探针，所述探针清洗装置包括清洗槽、超声波发生器及控制模组，所述控制模组电连接所述超声本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针清洗装置，用于清洗表面段差测量装置的探针，其特征在于，所述探针清洗装置包括清洗槽、超声波发生器及控制模组，所述控制模组电连接所述超声波发生器，所述清洗槽盛放清洗剂并安装于所述表面段差测量装置的工作平台一侧，所述超声波发生器置于所述清洗槽中，所述控制模组控制所述超声波发生器带动所述清洗剂在超声波频率下振动以清洗所述探针，同时所述控制模组控制所述探针伸入所述清洗剂液面的深度。

【技术特征摘要】
1.一种探针清洗装置，用于清洗表面段差测量装置的探针，其特征在于，所述探针清洗装置包括清洗槽、超声波发生器及控制模组，所述控制模组电连接所述超声波发生器，所述清洗槽盛放清洗剂并安装于所述表面段差测量装置的工作平台一侧，所述超声波发生器置于所述清洗槽中，所述控制模组控制所述超声波发生器带动所述清洗剂在超声波频率下振动以清洗所述探针，同时所述控制模组控制所述探针伸入所述清洗剂液面的深度。2.根据权利要求1所述的探针清洗装置，其特征在于，所述控制模组还包括第一控制单元，所述第一控制单元记录所述探针在所述表面段差测量装置的工作时长，并根据所述工作时长调整所述超声波发生器的工作频率和工作时间。3.根据权利要求2所述的探针清洗装置，其特征在于，所述控制模组还包括第二控制单元，所述第二控制单元记录所述表面段差测量装置工作时所述探针的最大伸出长度，并根据所述最大伸出长度调整所述探针伸入所述清洗剂液面的深度。4.根据权利要求3所述的探针清洗装置，其特征在于，所述表面段差测量装置包括工作平台，所述清洗槽通过升降丝杆安装在所述工作平台的一侧，所述控制模组包括第一驱动单元，所述第一驱动单元控制驱动电机驱动所述清洗槽依靠所述升降丝杆升降，从而控制所述探针伸入所述清洗剂液面的深度。5.根据权利要求3所述的探针清洗装置，其特征在于，所述表面段差测量装置还包括吹气装置和活动手臂，所述活动手臂包括第一臂和第二臂，所述第一臂一端固定于所述清洗槽的外壁，另一端铰...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘杰，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42