一种精细图案的制作方法及显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种精细图案的制作方法及显示装置，采用具有与待形成的精细图案一致的特定凸版图形的金属模板制作精细图案，可以不受曝光机的精度限制。在将待固化胶填充至金属模板的凹槽内后，利用待固化胶倒模的方式将待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面，并固化待固化胶，以在显示基板的表面形成固化胶，来替代纳米压印过程中使用压力在显示基板上形成压膜图案，可以避免压力不均导致的电性不良的问题。在具有固化胶的显示基板表面形成整面的待形成精细图案的膜层后，采用去除固化胶以去除位于固化胶之上的膜层区域的方式得到精细图案，可以避免形成图形过程中采用蚀刻工艺而影响精细图案的均匀性。

【技术实现步骤摘要】
一种精细图案的制作方法及显示装置
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种精细图案的制作方法及显示装置。
技术介绍
目前，在显示装置的制作过程中，在制作诸如金属网格触控电极图形这类具有精细图案的图形时，主要采用纳米压印技术或曝光显影技术。其中，纳米压印技术在实际量产过程中，容易出现在压印过程中压力不均导致图形线路沟道深度不均的问题，从而引起导电材料在印刷后深度较浅的区域导电材料较少而引起电性连接不良的问题；并且，在纳米压印的刮印过程中还容易出现漏印、残留等而导致电性连接不良的问题。而曝光显影技术会受限于曝光机的精度以及蚀刻均匀性等影响，不易制作超细线宽的图形，因此量产难度较大。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例提供了一种精细图案的制作方法及显示装置，用以实现超细线宽的精细图案制作。因此，本专利技术实施例提供了一种精细图案的制作方法，包括：在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充待固化胶，所述特定凸版图形与待形成的精细图案一致；利用倒模的方式将所述待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面，并固化所述待固化胶以在所述显示基板的表面形成固化胶；在具有所述固化胶的显示基板表面形成整面的待形成精细图案的膜层；去除所述固化胶以及所述膜层在所述固化胶上的区域，以利用剩余的所述膜层区域在所述显示基板上形成所需的精细图案。在一种可能的实现方式中，在本专利技术实施例提供的上述精细图案的制作方法中，在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充待固化胶之前，还包括：在确定所述金属模板的表面与所述待固化胶之间的附着力大于预设阈值时，在所述金属模板的表面形成降低所述金属模板与所述待固化胶之间附着力的疏水涂层。在一种可能的实现方式中，在本专利技术实施例提供的上述精细图案的制作方法中，在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充待固化胶，具体包括：在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充厚度小于所述凹槽深度的待固化胶。在一种可能的实现方式中，在本专利技术实施例提供的上述精细图案的制作方法中，所述利用倒模的方式将所述待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面，并固化所述待固化胶以在所述显示基板的表面形成固化胶，具体包括：在所述金属模板具有特定凸版图形的表面放置待形成精细图案的显示基板；抽真空使所述金属模板与所述显示基板紧密贴合；翻转紧密贴合的所述金属模板与所述显示基板，使所述待固化胶转移至所述显示基板的表面；固化所述待固化胶，以在所述显示基板的表面形成固化胶；取下所述金属模板。在一种可能的实现方式中，在本专利技术实施例提供的上述精细图案的制作方法中，所述固化所述待固化胶，以在所述显示基板的表面形成固化胶，具体包括：采用特定波长光照射所述待固化胶，以在所述显示基板的表面形成固化胶。在一种可能的实现方式中，在本专利技术实施例提供的上述精细图案的制作方法中，所述去除所述固化胶以及所述膜层在所述固化胶上的区域，具体包括：采用物理方式撕除所述固化胶以及所述膜层在所述固化胶上的区域。在一种可能的实现方式中，在本专利技术实施例提供的上述精细图案的制作方法中，在去除所述固化胶以及所述膜层在所述固化胶上的区域之后，还包括：采用有机溶剂清洗所述显示基板，去除残留的所述固化胶。在一种可能的实现方式中，在本专利技术实施例提供的上述精细图案的制作方法中，还包括：在衬底基板上涂覆一层光刻胶；在所述光刻胶上采用激光直写去除与所述特定凸版图形互补的图案，之后对所述光刻胶显影；在形成有显影后的所述光刻胶的衬底基板上，采用电镀工艺形成所述具有特定凸版图形的金属模板。另一方面，本专利技术实施例还提供了一种显示装置，包括：采用本专利技术实施例提供的上述制作方法制得的精细图案。在一种可能的实现方式中，在本专利技术实施例提供的上述显示装置中，所述精细图案为触控电极的金属网格图案。本专利技术实施例的有益效果包括：本专利技术实施例提供的一种精细图案的制作方法及显示装置，采用具有与待形成的精细图案一致的特定凸版图形的金属模板制作精细图案，可以不受曝光机的精度限制。在将待固化胶填充至金属模板的凹槽内后，利用待固化胶倒模的方式将待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面，并固化待固化胶，以在显示基板的表面形成固化胶，来替代纳米压印过程中使用压力在显示基板上形成压膜图案，可以避免压力不均导致的电性不良的问题。在具有固化胶的显示基板表面形成整面的待形成精细图案的膜层后，采用去除固化胶以去除位于固化胶之上的膜层区域的方式得到精细图案，可以避免形成图形过程中采用蚀刻工艺而影响精细图案的均匀性。附图说明图1为本专利技术实施例提供的精细图案的制作方法的流程图之一；图2为本专利技术实施例提供的精细图案的制作方法的流程图之二；图3为本专利技术实施例提供的精细图案的制作方法的具体流程图；图4a至图4h分别为图3所示的具体流程中各步骤执行后的结构示意图；图5为本专利技术实施例提供的精细图案的制作方法的流程图之三；图6a至图6d分别为图5所示的具体流程中各步骤执行后的结构示意图。具体实施方式下面结合附图，对本专利技术实施例提供的精细图案的制作方法及显示装置的具体实施方式进行详细地说明。本专利技术实施例提供的一种精细图案的制作方法，如图1所示，具体包括以下步骤：S101、在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充待固化胶，其中，特定凸版图形与待形成的精细图案一致；S102、利用倒模的方式将待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面，并固化待固化胶以在显示基板的表面形成固化胶；S103、在具有固化胶的显示基板表面形成整面的待形成精细图案的膜层；S104、去除固化胶以及膜层在固化胶上的区域，以利用剩余的膜层区域在显示基板上形成所需的精细图案。具体他，由于在本专利技术实施例提供的上述精细图案的制作方法中，采用具有与待形成的精细图案一致的特定凸版图形的金属模板制作精细图案，可以不受曝光机的精度限制。在将待固化胶填充至金属模板的凹槽内后，利用待固化胶倒模的方式将待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面，并固化待固化胶，以在显示基板的表面形成固化胶，来替代纳米压印过程中使用压力在显示基板上形成压膜图案，可以避免压力不均导致的电性不良的问题。在具有固化胶的显示基板表面形成整面的待形成精细图案的膜层后，采用去除固化胶以去除位于固化胶之上的膜层区域的方式得到精细图案，可以避免形成图形过程中采用蚀刻工艺而影响精细图案的均匀性。在具体实施时，在本专利技术实施例提供的上述精细图案的制作方法中，为了有利于在后续倒模过程中待固化胶与金属模板之间的分离，增加待固化胶的流动性，如图2所示，步骤S101在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充待固化胶之前，还可以执行以下步骤：在确定金属模板的表面与待固化胶之间的附着力大于预设阈值时，在金属模板的表面形成降低金属模板与待固化胶之间附着力的疏水涂层。具体地，在首次使用金属模板时，在填充待固化胶之前，需要在金属模板的表面涂覆一层厚度均匀的疏水涂层。该疏水涂层在金属模板的表面可以保持一定时长，在金属模板多次使用后，可能存在疏水涂层部分脱落等问题，不足以保证金属模板的表面与待固化胶之间的附着力小于预设阈值，因此，在每次金属模板使用之前，需要先检测金属模板的表面与待固化胶之间的附着力是否大于预设阈值，若是，则需要重新对金属模板的表面涂覆疏水涂层，以降低金属模板与待固化胶之间的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种精细图案的制作方法，其特征在于，包括：在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充待固化胶，所述特定凸版图形与待形成的精细图案一致；利用倒模的方式将所述待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面，并固化所述待固化胶以在所述显示基板的表面形成固化胶；在具有所述固化胶的显示基板表面形成整面的待形成精细图案的膜层；去除所述固化胶以及所述膜层在所述固化胶上的区域，以利用剩余的所述膜层区域在所述显示基板上形成所需的精细图案。

【技术特征摘要】
1.一种精细图案的制作方法，其特征在于，包括：在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充待固化胶，所述特定凸版图形与待形成的精细图案一致；利用倒模的方式将所述待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面，并固化所述待固化胶以在所述显示基板的表面形成固化胶；在具有所述固化胶的显示基板表面形成整面的待形成精细图案的膜层；去除所述固化胶以及所述膜层在所述固化胶上的区域，以利用剩余的所述膜层区域在所述显示基板上形成所需的精细图案。2.如权利要求1所述的精细图案的制作方法，其特征在于，在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充待固化胶之前，还包括：在确定所述金属模板的表面与所述待固化胶之间的附着力大于预设阈值时，在所述金属模板的表面形成降低所述金属模板与所述待固化胶之间附着力的疏水涂层。3.如权利要求1所述的精细图案的制作方法，其特征在于，在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充待固化胶，具体包括：在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充厚度小于所述凹槽深度的待固化胶。4.如权利要求1所述的精细图案的制作方法，其特征在于，所述利用倒模的方式将所述待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面，并固化所述待固化胶以在所述显示基板的表面形成固化胶，具体包括：在所述金属模板具有特定凸版图形的表面放置待形成精细图案的显示基板；抽真空使所述金属模板与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王志强，陈荣龙，李明龙，殷鹏飞，马纪艳，高鸿飞，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥鑫晟光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11