一种传送手臂制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种传送手臂，通过于至少一组支撑杆的卡销上设置一组对射激光传感器，以在拾取晶圆时，利用多组激光传感器彼此接受信号对晶圆位置进行检测，从而达到在晶圆传送过程中时刻能保证晶圆位置正确的目的。

A transmission arm

The utility model relates to the field of semiconductor manufacturing technology, especially relates to a transfer arm through the pin card at least a group supporting rod sets a group of laser sensors to pick up the wafer, using multiple laser sensor signal of the wafer to accept each other position detection, so as to achieve the time in wafer transfer process to ensure the correct position of the wafer to.

【技术实现步骤摘要】
一种传送手臂
本技术涉及半导体
，尤其涉及一种传送手臂。
技术介绍
目前，在酸槽单片机台晶圆传送过程中，通常使用到带有边缘接触的晶圆卡销(EdgecontactonlyGripper，简称ECO)的晶圆传送手臂传递晶圆，该传送手臂上设置有电容传感器(CapacitanceSensor)，通过电容传感器(CapacitanceSensor)的侦测，判断晶圆是否存在以确保传送过程正常进行。但是在长期的传送过程中，会出现晶圆传送手臂的接触晶圆的位置出现细微偏差(handoffshift，该细微偏差是由于马达驱动和物理位置微小改变(0.1～1mm)所导致的)或遇到晶圆曲率异常，从而导致出现一部分晶圆卡扣未卡住晶圆，另一部分卡住的情况。这种情况下电容传感器仍然只能确定是否有晶圆存在，而不能确认晶圆位置是否完全正常，从而导致后续的传送过程中出现晶圆刮伤或破片，这是本领域技术人员所不期望见到的。
技术实现思路
针对上述存在的问题，本技术公开了一种传送手臂，其中，包括中心盘和若干组支撑杆；每组所述支撑杆均包括两个支撑杆，各所述支撑杆的一端与所述中心盘固定连接，另一端设置有卡销，且每组所述支撑杆中的两个本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传送手臂，其特征在于，包括中心盘和若干组支撑杆；每组所述支撑杆均包括两个支撑杆，各所述支撑杆的一端与所述中心盘固定连接，另一端设置有卡销，且每组所述支撑杆中的两个支撑杆之间的连线均经过所述中心盘的中心；其中，各所述卡销均位于同一圆周上，且位于至少一组所述支撑杆上的两个卡销上设置有一组对射激光传感器。

【技术特征摘要】
1.一种传送手臂，其特征在于，包括中心盘和若干组支撑杆；每组所述支撑杆均包括两个支撑杆，各所述支撑杆的一端与所述中心盘固定连接，另一端设置有卡销，且每组所述支撑杆中的两个支撑杆之间的连线均经过所述中心盘的中心；其中，各所述卡销均位于同一圆周上，且位于至少一组所述支撑杆上的两个卡销上设置有一组对射激光传感器。2.如权利要求1所述的传送手臂，其特征在于，位于若干组所述支撑杆的卡销上均设置有一组对射激光传感器。3.如权利要求1所述的传送手臂，其特征在于，所述中心盘上设置有电容传感器。4.如权利要求1所述的传送手臂，其特征在于，若干所述支撑杆的尺寸均相同。5.如权利要求1所述的传送手臂，其特征在于，所述传...

【专利技术属性】
技术研发人员：李琤，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北,42