快速退火炉的反应腔体结构制造技术

本实用新型专利技术涉及快速退火炉的反应腔体结构，属于金属加工设备领域，所述腔体包括金属腔体和金属腔体内部的石英腔体，金属腔体与石英腔体之间为加热灯带，所述石英腔体的后端设有工艺气体进气板，并由后法兰固定，石英腔体的前端设有废气排出管，石英腔体内设有石英托片架，所述石英托片架上固定有硅片，前法兰的中央设有工艺气体进气管，前法兰与石英腔体的接触面上设有密封圈，所述上板、下板上设有若干均匀分布的小孔，使得冷却气体通过小孔分流呈均匀状态进入金属腔体。本实用新型专利技术加工和装配方便，而且硅片不需要旋转，避免了复杂的旋转机构和碎片可能性，而且也是控制的单元数减少，增加系统可靠性。

Reaction chamber structure of fast annealing furnace

The utility model relates to a reaction chamber structure rapid annealing furnace, which belongs to the field of metal processing equipment, the cavity comprises a quartz cavity metal cavity and metal cavity, between metal cavity and cavity for heating quartz lamp with quartz, the cavity is provided with a gas inlet plate process, and by the front flange fixed, quartz the exhaust pipe is provided with the cavity, the cavity is provided with a quartz quartz support sheet frame, the quartz holder is provided with the silicon fixing rack, the front flange is arranged at the center of the process gas inlet pipe, a sealing ring is arranged before the contact surface of flange and quartz cavity on the upper plate and the lower plate is provided with a plurality of uniform distribution the cooling air holes, through holes evenly into the metal cavity shunt. The utility model has the advantages of convenient processing and assembly, and the silicon wafer does not need rotating, thus avoiding the possibility of complicated rotating mechanism and debris, and reducing the number of the control units and increasing the reliability of the system.

【技术实现步骤摘要】
快速退火炉的反应腔体结构
本技术涉及焊丝加工设备领域，具体地说，是快速退火炉的反应腔体结构。
技术介绍
目前在国外快速退火炉设备中，炉腔大多数为对称设计，一般为圆形或六角形，因此大部分的灯排列都采用同心圆形式。这种结构的设计难点在于磁悬浮硅片旋转驱动机构的设计于平稳运动控制。硅片在加热过程中需要旋转，由于硅片是放在石英顶针上，为防止夹持出热集中或三十，硅片采取无任何夹持的自由状态，这就必需有一套精密的机构来实现以防止震动和保持水平，这对设计和加工都有一定的难度。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供快速退火炉的反应腔体结构。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：本技术涉及快速退火炉的反应腔体结构，其特征在于，所述腔体包括金属腔体和金属腔体内部的石英腔体，金属腔体与石英腔体之间为加热灯带，所述金属腔体由上板、下板、前板、后板、左侧板、右侧板拼装而成，所述前板、后板、左侧板、右侧板上设有若干灯夹，灯夹上安装有加热灯，所述石英腔体的后端设有工艺气体进气板，并由后法兰固定，石英腔体的前端设有废气排出管，石英腔体内设有石英托片架，所述石英托片架上固定有硅片，前法兰的中央设有工艺气体本文档来自技高网...

【技术保护点】
快速退火炉的反应腔体结构，其特征在于，所述腔体包括金属腔体和金属腔体内部的石英腔体，金属腔体与石英腔体之间为加热灯带，所述金属腔体由上板、下板、前板、后板、左侧板、右侧板拼装而成，所述前板、后板、左侧板、右侧板上设有若干灯夹，灯夹上安装有加热灯，所述石英腔体的后端设有工艺气体进气板，并由后法兰固定，石英腔体的前端设有废气排出管，石英腔体内设有石英托片架，所述石英托片架上固定有硅片，前法兰的中央设有工艺气体进气管，前法兰与石英腔体的接触面上设有密封圈，所述上板、下板上设有若干均匀分布的小孔，使得冷却气体通过小孔分流呈均匀状态进入金属腔体。

【技术特征摘要】
1.快速退火炉的反应腔体结构，其特征在于，所述腔体包括金属腔体和金属腔体内部的石英腔体，金属腔体与石英腔体之间为加热灯带，所述金属腔体由上板、下板、前板、后板、左侧板、右侧板拼装而成，所述前板、后板、左侧板、右侧板上设有若干灯夹，灯夹上安装有加热灯，所述石英腔体的后端设有工艺气体进气板，并由后法兰固定，石英腔体的前端设有废气排出管，石英腔体内设有石英托片架，所述石英托片架上固定有硅片，前法兰的中央设有工艺气体进气管，前法兰与石英腔体的接触面上设有密封圈，所述上板、下板上设有若干均匀分布的小孔，使得冷却气体通过小孔分流呈均匀状态进入金属腔体。2.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：于长权，戎晓澎，杨珉，
申请(专利权)人：新利得天津焊接材料有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12