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本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种传送手臂，通过于至少一组支撑杆的卡销上设置一组对射激光传感器，以在拾取晶圆时，利用多组激光传感器彼此接受信号对晶圆位置进行检测，从而达到在晶圆传送过程中时刻能保证晶圆位置正确的目的。...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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