脆性衬底的分断方法技术

通过使刀尖(51)在上表面(SF1)上移动而产生塑性变形，由此形成沟槽线(TL)。形成沟槽线(TL)的步骤是以能够获得无裂纹状态的方式进行。形成沟槽线(TL)的步骤包含形成低负荷区间(LR)及高负荷区间(HR)的步骤。在形成高负荷区间(HR)的步骤中对刀尖(51)施加的负荷，高于在形成低负荷区间(LR)的步骤使用的负荷。通过使裂纹仅在沟槽线(TL)中高负荷区间(HR)伸展，而沿沟槽线(TL)的一部分形成裂纹线。沿沟槽线(TL)分断玻璃衬底(11)。分断玻璃衬底(11)的步骤包含以裂纹线为起点沿低负荷区间(LR)使裂纹伸展的步骤。

Breaking method of brittle substrate

A groove line (TL) is formed by causing the tool tip (51) to move plastically over the upper surface (SF1). The steps of forming a groove line (TL) are carried out in a manner that can obtain a crack free state. The steps of forming a groove line (TL) include steps to form a low load interval (LR) and a high load interval (HR). In the process of forming a high load interval (HR), the load applied to the tool nose (51) is higher than the load used in the process of forming a low load interval (LR). A crack line is formed along a portion of the groove line (TL) by allowing the crack to stretch only in the high load interval (HR) of the groove line (TL). A glass substrate (11) is broken along a trench line (TL). The steps of breaking the glass substrate (11) include steps to extend the crack along the low load zone (LR) as the starting point of the crack line.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】脆性衬底的分断方法
本专利技术涉及脆性衬底的分断方法。
技术介绍
在平板显示器面板或太阳能电池面板等电气设备的制造中，经常需要分断玻璃衬底等脆性衬底。首先在衬底上形成划线，其次沿所述划线分断衬底。刻划能够通过使用刀尖对衬底机械加工而形成。通过刀尖在衬底上滑动或滚动，而在衬底上形成由塑性变形所致的沟槽，并同时在所述沟槽的正下方形成垂直裂纹。其后，进行称为分断步骤的应力赋予。由此，通过使所述垂直裂纹在厚度方向上完全进展而分断衬底。分断衬底的步骤相对多的是于在衬底形成划线的步骤后立刻进行。但是，也提出有在形成划线的步骤与分断步骤之间进行加工衬底的步骤。例如根据国际公开第2002/104078号的技术，在有机EL(Electroluminescence，电致发光)显示器的制造方法中，能够在安装密封盖之前针对成为各有机EL显示器的每一区域在玻璃衬底上形成划线。因此，能够避免在设置密封盖后在玻璃衬底上形成划线时成为问题的密封盖与玻璃切割器的接触。此外，例如根据国际公开第2003/006391号的技术，在液晶显示面板的制造方法中，能够将2个玻璃衬底在形成划线后贴合。由此，能够用1次分断步骤将2个脆性衬底同时分断。[现有技术文献][专利文献]专利文献1：国际公开第2002/104078号专利文献2：国际公开第2003/006391号
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]根据所述先前技术，在形成划线后进行对脆性衬底的加工，且通过其后的应力赋予而进行分断步骤。此意味着在对脆性衬底加工时沿划线整体已存在垂直裂纹。因此，能够能会因在加工中意外产生所述垂直裂纹在厚度方向上的进而伸展，而在加工中应为一体的脆性衬底分离。此外，即使于不在划线的形成步骤与衬底的分断步骤之间进行衬底的加工步骤的情况下，一般也需要在划线的形成步骤后且衬底的分断步骤前进行衬底的搬送或保管，此时能够能意外分断衬底。本专利技术人为解决所述问题而开发了独自的分断技术。根据所述技术，作为规定分断脆性衬底的位置的线，首先，在其正下方形成不具有裂纹的沟槽线。通过形成沟槽线，而规定成为分断脆性衬底的位置。其后，只要维持在沟槽线的正下方不存在裂纹的状态，就不易产生沿沟槽线的分断。通过使用所述状态，即使预先规定成为分断脆性衬底的位置，也能够防止在应分断的时点之前意外分断脆性衬底。所述沟槽线的形成是通过使用刀尖的机械加工进行。在所述机械加工时刀尖受损，最终不再适合使用。因此必须在适当的时机更换刀尖，所述作业负担在分断步骤中较大。根据本专利技术人的研究，与一般的划线的形成相比，沟槽线的形成不易产生对刀尖的损伤。但是，为了所述作业负担的进而减轻，期望开发对刀尖的损伤更小的分断方法。本专利技术是为了解决如以上问题而完成的，其目的是提供一种能够减小对进行规定分断脆性衬底的位置的加工的刀尖损伤的脆性衬底的分断方法。[解决问题的技术手段]脆性衬底的分断方法具有以下步骤。准备脆性衬底，所述脆性衬底具有第1面及与第1面相反的第2面，且具有垂直于第1面的厚度方向。其次，通过一面将刀尖向脆性衬底的第1面上按压，一面使刀尖在第1面上移动而在脆性衬底的第1面上产生塑性变形，由此形成沟槽线。形成沟槽线的步骤是以能够获得在沟槽线的正下方脆性衬底在与沟槽线交叉的方向连续相连的状态即无裂纹状态的方式进行。形成沟槽线的步骤包含：形成作为沟槽线的一部分的低负荷区间的步骤，与形成作为沟槽线的一部分的高负荷区间的步骤。在形成高负荷区间的步骤中对刀尖施加的负荷，高于形成低负荷区间的步骤所使用的负荷。其次，通过使厚度方向上的脆性衬底的裂纹沿沟槽线仅在沟槽线中高负荷区间伸展，而沿沟槽线的一部分形成裂纹线。在形成裂纹线的步骤之后，沿沟槽线分断脆性衬底。分断脆性衬底的步骤包含如下步骤，即，通过对脆性衬底施加应力而以裂纹线为起点沿低负荷区间使裂纹伸展。[专利技术的效果]根据本专利技术，在形成用以规定分断脆性衬底的位置的沟槽线时，相比于高负荷区间，在低负荷区间内能够减轻对刀尖施加的负荷。由此能够减小对刀尖的损伤。附图说明图1是概略性表示本专利技术的实施方式1的脆性衬底的分断方法的流程图。图2是概略性表示本专利技术的实施方式1的脆性衬底的分断方法的一步骤的俯视图。图3是沿图2的线III-III的概略剖视图。图4是沿图2的线IVA-IVA的概略剖视图(A)、及沿图2的线IVB-IVB的概略剖视图(B)。图5是概略性表示本专利技术的实施方式1的脆性衬底的分断方法的一步骤的俯视图。图6是沿图5的线VI-VI的概略剖视图。图7是沿图5的线VII-VII的概略剖视图。图8是概略性表示本专利技术的实施方式1的脆性衬底的分断方法的一步骤的俯视图。图9是沿图8的线IX-IX的概略剖视图。图10是沿图8的线X-X的概略剖视图。图11是概略性表示本专利技术的实施方式1的脆性衬底的分断方法的一步骤的俯视图。图12是概略性表示本专利技术的实施方式1的脆性衬底的分断方法的一步骤的剖视图。图13是概略性表示本专利技术的实施方式1的脆性衬底的分断方法的一步骤的剖视图。图14是依据对应于图13的箭头XIV的视野的概略性侧视图。图15是概略性表示本专利技术的实施方式1的脆性衬底的分断方法的一步骤的剖视图。图16是概略性表示本专利技术的实施方式1的脆性衬底的分断方法的一步骤的剖视图。图17是概略性表示本专利技术的实施方式1的脆性衬底的分断方法中所使用的刻划工具的构成的侧视图(A)，及对应于图17(A)的箭头XVII的视野下的刀尖的仰视图(B)。图18是概略性表示本专利技术的实施方式1的第1变化例的脆性衬底的分断方法的一步骤的俯视图。图19是概略性表示本专利技术的实施方式1的第2变化例的脆性衬底的分断方法的一步骤的俯视图。图20是概略性表示本专利技术的实施方式1的第3变化例的脆性衬底的分断方法的一步骤的俯视图。图21是概略性表示本专利技术的实施方式1的第4变化例的脆性衬底的分断方法中所使用的刻划工具的构成的侧视图(A)，及对应于图21(A)的箭头XXI的视野下的刀尖的仰视图(B)。图22是概略性表示本专利技术的实施方式2的脆性衬底的分断方法的一步骤的俯视图。图23是概略性表示本专利技术的实施方式2的脆性衬底的分断方法的一步骤的俯视图。图24是概略性表示本专利技术的实施方式2的脆性衬底的分断方法的一步骤的俯视图。图25是概略性表示本专利技术的实施方式2的第1变化例的脆性衬底的分断方法的一步骤的俯视图。图26是概略性表示本专利技术的实施方式2的第1变化例的脆性衬底的分断方法的一步骤的俯视图。图27是概略性表示本专利技术的实施方式2的第2变化例的脆性衬底的分断方法的一步骤的俯视图。图28是概略性表示本专利技术的实施方式2的第3变化例的脆性衬底的分断方法的一步骤的俯视图。图29是概略性表示本专利技术的实施方式2的脆性衬底的分断方法中所使用的刻划工具的构成的侧视图。图30是概略性表示图29的划线轮及销的构成的前视图(A)，及图30(A)的局部放大图(B)。图31是概略性表示本专利技术的实施方式3的脆性衬底的分断方法的一步骤的俯视图。图32是概略性表示本专利技术的实施方式3的脆性衬底的分断方法的一步骤的俯视图。图33是概略性表示本专利技术的实施方式4的脆性衬底的分断方法的一步骤的俯视图。图34是概略性表示本专利技术的实施方式4的脆性衬底的分断方法的一步骤的俯视图。图35是概略性表示本专利技术的实施方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种脆性衬底的分断方法，包含：准备脆性衬底的步骤，所述脆性衬底具有第1面及与所述第1面相反的第2面，且具有垂直于所述第1面的厚度方向；及通过一面将刀尖向所述脆性衬底的第1面上按压，一面使所述刀尖在所述第1面上移动而在所述脆性衬底的所述第1面上产生塑性变形，由此形成沟槽线的步骤；且形成所述沟槽线的步骤以能够获得在所述沟槽线的正下方所述脆性衬底在与所述沟槽线交叉的方向连续相连的状态即无裂纹状态的方式进行，且形成所述沟槽线的步骤包含：形成作为沟槽线的一部分的低负荷区间的步骤；及形成作为沟槽线的一部分的高负荷区间的步骤；且在形成所述高负荷区间的步骤中对所述刀尖施加的负荷，高于在形成所述低负荷区间的步骤使用的负荷，该脆性衬底的分断方法进而包含：通过使所述厚度方向的所述脆性衬底的裂纹沿所述沟槽线仅在所述沟槽线中的所述高负荷区间伸展，而沿所述沟槽线的一部分形成裂纹线的步骤；及在形成所述裂纹线的步骤后，沿所述沟槽线分断所述脆性衬底的步骤；且分断所述脆性衬底的步骤包含如下步骤，即，通过对所述脆性衬底施加应力而使裂纹以所述裂纹线为起点沿所述低负荷区间伸展。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.11.25 JP 2014-2374601.一种脆性衬底的分断方法，包含：准备脆性衬底的步骤，所述脆性衬底具有第1面及与所述第1面相反的第2面，且具有垂直于所述第1面的厚度方向；及通过一面将刀尖向所述脆性衬底的第1面上按压，一面使所述刀尖在所述第1面上移动而在所述脆性衬底的所述第1面上产生塑性变形，由此形成沟槽线的步骤；且形成所述沟槽线的步骤以能够获得在所述沟槽线的正下方所述脆性衬底在与所述沟槽线交叉的方向连续相连的状态即无裂纹状态的方式进行，且形成所述沟槽线的步骤包含：形成作为沟槽线的一部分的低负荷区间的步骤；及形成作为沟槽线的一部分的高负荷区间的步骤；且在形成所述高负荷区间的步骤中对所述刀尖施加的负荷，高于在形成所述低负荷区间的步骤使用的负荷，该脆性衬底的分断方法进而包含：通过使所述厚度方向的所述脆性衬底的裂纹沿所述沟槽线仅在所述沟槽线中的所述高负荷区间伸展，而沿所述沟槽线的一部分形成裂纹线的步骤；及在形成所述裂纹线的步骤后，沿所述沟槽线分断所述脆性衬底的步骤；且分断所述脆性衬底的步骤包含如下步骤，即，通过对所述脆性衬底施加应力而使裂纹以所述裂纹线为起点沿所述低负荷区间伸展。2.根据权利要求1所述的脆性衬底的分断方法，其中形成所述裂纹线的步骤包含如下步骤，即，伴随着在所述脆性衬底的所述厚度方向渗透的裂纹，而在所述脆性衬底的所述第1面上形成交叉于所述高负荷区间的辅助线。3.根据权利要求2所述的脆性衬底的分断方法，其中形成所述裂纹线的步骤包含沿所述辅助线分离所述脆性衬底的步骤。4.根据权利要求1所述的脆性衬底的分断...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾山浩，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP