安装和脱模装置制造方法及图纸

一种用在压印机中的脱模装置(3)，在该压印机中箔(31)间歇性地在进给方向上在按压区域(7)上方通过，印模在该按压区域被按压抵靠箔以压印表面图案。脱模装置包括载体(12)、安装在载体内的压辊(9)，和安装成与载体内的压辊平行的脱模辊(8)，其中，载体配置成与进给方向相反地在按压区域上方滑动，同时使箔在压辊下方以及脱模辊上方滚动，以在压印图案之后使箔与印模分离。

Mounting and ejection device

A release device (3) used in an impression machine in which the foil (31) is intermittently passed over the pressing region (7) in the feed direction, and the impression is pressed against the foil in the pressing region to stamp the surface pattern. The demoulding device comprises a carrier (12), pressure roller is installed within the carrier (9), and the pressure roller is installed in parallel with the carrier (8), and release the carrier configured with the direction of feed instead in press area above the sliding and the foil on the pressure roller and roller rolling release below in order to make the separation, and the impression in the pattern after stamping foil.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】安装和脱模装置
本专利技术涉及一种在用于微米和纳米压印光刻技术的图案转移工艺中使用的装置，其涉及将图案从具有结构化表面的模板转移至基板的目标表面。更具体地，本专利技术涉及一种用于将基板安装在模板处，并在压印之后将模板从基板上脱模的装置。
技术介绍
纳米压印光刻技术(NIL)已存在了超过十年之久。已对将微米和纳米级结构从印模或模板转移至基板进行了许多改进。用于微米和纳米级图案转移的大批量制造工具通过卷对卷工艺实现。已在许多工业应用中部署了该项技术，包括医学科学、微电子学、微观力学等。ObducatAB是九十年代后期使纳米压印光刻设备商业化的先驱之一，其在这种纳米压印光刻设备中利用自己的从模板转移微米和纳米级图案的技术，通过两步压印工艺来生产最终产品基板。第一步，通过将模板压印入聚合物箔中形成中间聚合物印模(IPS)。压印第二步，在将IPS从模板脱模后，随即利用IPS将压印图案转移至最终基板。在压印工艺中，对压印箔表面(例如，IPS)进行保护是非常重要的。这与对最终基板进行压印的单步压印以及在两步工艺的第一步压印之后(其中在第二步压印之前压印箔保持完好无损至关重要)均相关。存在许多使模板(有时被称为印模或模具)与压印基板分离的脱模装置。US2007/0092594Al描述了一种在完成压印工艺之后使模具和基板分离的脱模方法和装置。在该工艺中，模具与基板之间插有刀片模块，当空气被吸入间隙从而消除了真空效应施加于模具与基板之间的附着力时，进一步应用刀片模块使模具与基板完全分离。US2012/029992Al公开了一种整片晶圆纳米压印光刻技术。在该文献中，就对着模具与基板之间的接口施加来自脱模喷嘴的压缩空气时连接在模具最外侧的真空通道，对脱模工艺进行了描述。模具上的压力逐渐从两侧朝模具中心转变成真空，以连续剥离脱模。US8550801公开了一种在大基板上重复进行步进压印的压印器械，包括脱模控制装置。该脱模控制装置配置成基于靠近晶圆边缘的压射区域(shotregion)的位置控制脱模速度或模板角度。US2013/0323347Al示出了一种用于压印装置的脱模装置。该脱模装置使片状模具与模压产品分离。脱模装置放置成远离转移装置，即压印工位。其工艺如下：在转移装置处将图案转移之后，将模压产品粘附至片状模具并移动至分离装置。将模压产品放置在模压产品保持器上，保持器设有通过吸力保持模压产品的多个真空保持槽。为了使模压产品与片状模具分离，分离辊单元从保持器上水平移动通过。
技术实现思路
本专利技术旨在改进本领域的压印机和工艺。该目的一个方面是提供一种耗时少的脱模解决方案，以提高产量并降低生产成本。该目的的另一方面是提供确保对压印表面进行适当处理并确保压印表面的重复性的解决方案。本专利技术涉及一种用于压印机的脱模装置，在该压印机中，箔间歇性地在进给方向上通过按压区域，印模在按压区域被抵靠箔按压以将图案压印到箔表面上，该脱模装置包括：载体和安装在载体内的压辊，其中载体配置成与进给方向相反地滑动通过按压区域，同时使箔在压辊下方以及脱模辊上方滚动，以在压印图案之后使箔与配合表面分离。在一个实施方案中，脱模辊具有轴向外部部分，轴向外部部分具有第一直径，配置成与箔接合；和中央槽，中央槽具有第二直径，第二直径小于第一直径以避免槽面与箔上的压印图案接触。在一个实施方案中，所述槽的轴向宽度构造成超过压印图案的宽度。在一个实施方案中，所述载体配置成在进给方向上向前滑动通过按压区域，以在按压区域处将箔施加于配合表面上方。在一个实施方案中，载体包括滑动连接至两个平行拖架的配件，拖架沿进给方向在按压区域的相对侧延伸。在一个实施方案中，脱模装置包括马达，马达配置成沿拖架驱动载体。在一个实施方案中，脱模装置包括接触辊，接触辊悬置于载体内位于脱模辊上方，其中箔在接触辊与脱模辊之间行进。在一个实施方案中，所述接触辊配置成抵靠脱模辊的轴向外部部分夹持箔。在一个实施方案中，载体可在位于按压区域前面的第一张力压机与位于按压区域后面的第二张力压机之间滑动，所述第一张力压机和所述第二张力压机配置成在使载体滑动的同时使聚合物箔上的预定张力保持恒定。在一个实施方案中，箔在第一张力压机内的第一张力辊与第一张力块之间通过，并在第二张力压机内的第二张力辊与第二张力块之间通过。在一个实施方案中，所述压辊和所述接触辊涂覆橡胶。在一个实施方案中，所述脱模辊具有金属表面。在一个实施方案中，利用相当于0.2-4.0kg的力向下偏压压辊。在一个实施方案中，利用相当于0-2.0kg的力朝压辊偏压脱模辊。在一个实施方案中，利用相当于0.2-2.0kg的力朝脱模辊偏压接触辊。在一个实施方案中，所述配合表面为具有被压印到所述箔层表面上的图案的模板表面。在一个实施方案中，所述箔层表面具有一连串具有图案的印模表面，且所述配合表面为基板，由此所述图案在按压区域被转移至所述基板。附图说明根据本专利技术的以下详细描述，本专利技术的进一步的目的、特征和优点将显现，以下将参考附图更详细地描述本专利技术的实施方案，在附图中：图1示出了连接至压印机的脱模装置的示意图。图2示意性地示出了与脱模装置间隔的多个辊。图3图示了聚合物箔如何通过脱模装置的辊。图4从另一个角度示出了图3中的元件，且还包括用于向辊轴上施加压力的构件。图5示意性地图示了放置在压印机的安装位置处的脱模装置的侧视图。图6示意性地示出了压印聚合物箔。具体实施方式以下将参考附图更详细地描述本专利技术的实施方案。然而，本专利技术可以许多不同形式体现，而不应理解为局限于本文阐述的实施方案。更确切地说，提供这些实施方案是为了使本公开全面且完整，并且向本领域的技术人员充分传达本专利技术的范围。除非另外指出，否则本文所用的所有术语(包括技术和科学术语)的意义与本专利技术所属领域的普通技术人员通常理解的意义相同。将进一步理解的是，本文使用的术语应解释为其意义与其在本说明书和相关领域的上下文中的意义相一致，并且除非文中明确定义，否则不应作理想化或过度形式化的意义来理解。本文使用的术语仅用于描述特定实施方案，而非意在限制本专利技术。除非上下文另有明确说明，否则文中使用的单数形式“一”、“一个”和“该”还意在包括复数形式。将进一步理解的是，本文使用的术语“包括”和/或“包含”(“comprises”,“comprising”,“includes”and/or“including”)是说明存在所述特征、整体、步骤、操作、元件和/或组件，但不排除存在或增加一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元件、组件和/或其构成的组。将微米和纳米级图案从印模转移至基板是一项众所周知且成熟的技术。纳米压印光刻(NIL)是这些技术之一，其在行业中的应用广泛。在卷对卷微米和纳米压印光刻工艺中，图案转移分两个压印步骤利用中间聚合物印模(IPS)在两个压印工位进行，在第一步压印步骤中中间聚合物印模由聚合物箔形成。卷对卷压印工艺中的问题之一是在两个压印工位内将聚合物箔施加于印模和基板上并将聚合物箔从印模和基板脱模。本专利技术公开了一种以非常简单容易的方式解决该问题的方案，稍后将对此进行详细描述。图案转移过程中的重要特征是消除空气混入、图案变形并使压印到目标上的图案保持清洁。这在两步压印工艺中特别重要，在该工艺中，聚合物箔通过第一步压印步骤将图案本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用在压印机中的脱模装置，在所述压印机中，箔(31)间歇性地在进给方向上通过按压区域(7)，所述箔的表面在所述按压区域(7)被按压抵靠配合表面以压印图案，所述脱模装置包括：载体(12)，安装在所述载体内的压辊(9)，以及脱模辊(8)，安装成与所述载体内的所述压辊平行，其中，所述载体配置成与所述进给方向相反地在所述按压区域上方滑动，同时使所述箔在所述压辊下方且在所述脱模辊上方滚动，以在压印图案之后使所述箔与所述配合表面分离。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.12.22 EP 14199804.71.一种用在压印机中的脱模装置，在所述压印机中，箔(31)间歇性地在进给方向上通过按压区域(7)，所述箔的表面在所述按压区域(7)被按压抵靠配合表面以压印图案，所述脱模装置包括：载体(12)，安装在所述载体内的压辊(9)，以及脱模辊(8)，安装成与所述载体内的所述压辊平行，其中，所述载体配置成与所述进给方向相反地在所述按压区域上方滑动，同时使所述箔在所述压辊下方且在所述脱模辊上方滚动，以在压印图案之后使所述箔与所述配合表面分离。2.根据权利要求1所述的脱模装置，其中，所述脱模辊具有：轴向外部部分(28)，所述轴向外部部分具有第一直径且配置成与所述箔接合；以及中央的槽(18)，所述槽具有第二直径，所述第二直径小于所述第一直径，以避免所述槽的面与所述箔上的压印图案接触。3.根据权利要求2所述的脱模装置，其中，所述槽的轴向宽度构造成超过所述压印图案的宽度。4.根据前述权利要求中任一项所述的脱模装置，其中，所述载体配置成在所述进给方向上向前滑动并在所述按压区域上方通过，以在所述按压区域处将所述箔施加于所述配合表面上方。5.根据前述权利要求中任一项所述的脱模装置，其中，所述载体包括滑动地连接至两个平行拖架(2)的配件，这两个拖架沿所述进给方向在所述按压区域的相对侧延伸。6.根据权利要求5所述的脱模装置，包括配置成沿所述拖架驱动所述载体的马达。7.根据前述权利要求中任一项所述的脱模装置，包括悬置于所述载体内位...

【专利技术属性】
技术研发人员：巴巴克·海达里，约兰·拉尔森，
申请(专利权)人：奥贝达克特公司，
类型：发明
国别省市：瑞典,SE