微型加热器及其加工方法技术

本发明专利技术公开了一种微型加热器及其加工方法，所述微型加热器包括：衬底、支撑膜、加热件和封装壳。衬底具有沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面，衬底上设有在厚度方向贯穿其的隔热通孔，且衬底上设有连通隔热通孔和外界的通气结构，支撑膜设在衬底的第一表面上且封盖隔热通孔的第一端，加热件设在支撑膜的远离隔热通孔的表面上，封装壳设在衬底的第二表面上且封盖隔热通孔的第二端。根据本发明专利技术的微型加热器，通过在衬底上设置连通隔热通孔和外界的通气结构，由此在微型加热器工作时，由隔热通孔、支撑膜和封装壳限定的腔室与外界连通，防止由于腔室的内外存在的压力差而导致器件易损坏的问题。

Micro heater and method for processing the same

The invention discloses a micro heater and a processing method thereof, wherein the micro heater comprises a substrate, a supporting film, a heating element and a packaging shell. The substrate has a first surface and a second surface opposite set along the thickness direction, are arranged on the insulating substrate through hole in the thickness direction, and the substrate is provided with a communicating hole and the external insulation ventilation structure, the end of the first surface and cover insulation hole supporting membrane located in the substrate surface, a supporting membrane away from the insulation hole heating element on the package substrate in the second surface and the second end of the through hole sealing and heat insulation. The micro heater according to the present invention, through the communication hole and the external insulation ventilation structure is arranged on the substrate, resulting in the micro heater when working chamber by the heat insulation holes, support membrane and package defined connected with the outside world, to prevent the devices are easy to damage due to the pressure difference between inside and outside the chamber there problems.

【技术实现步骤摘要】
微型加热器及其加工方法
本专利技术涉及微机电系统
，尤其是涉及一种微型加热器及其加工方法。
技术介绍
相关技术中，面型微加热器的结构主要有封闭膜结构和悬臂梁结构，悬臂梁结构的功耗要比封闭膜结构功耗低，而悬臂梁结构由于复合膜的热应力释放问题将导致器件在水平面上起伏，而且随着器件反应温度的升高，复合膜将受热膨胀，这些都会增加悬臂梁结构热应力局部聚集。封闭膜机械性能更好，悬膜机械性能要差些，但与CMOS工艺的兼容性好些。由于封闭薄膜机械强度更好，并且有利于后续敏感材料的涂覆及后续传感器寿命的提高，多数传感器使用这种设计方案。然而，封闭膜结构的面型微加热器在长期的工作过程中，其内部的器件易发生损坏问题，从而影响传感器的实际使用效果和工作的可靠性。
技术实现思路
本申请是基于专利技术人对以下事实和问题的发现和认识作出的：专利技术人通过研究发现，封闭膜结构的面型微加热器在长期的工作过程中，其内部的器件发生损坏主要是由材料疲劳断裂导致的。通过专利技术人的进一步研究和探索，发现导致器件的疲劳断裂的原因在于：封闭膜结构的面型微加热的腔室内的气体压力变化导致其支撑膜除受自身热应力影响外，还受到气压差引本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微型加热器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底具有沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面，所述衬底上设有在厚度方向贯穿其的隔热通孔，且所述衬底上设有连通所述隔热通孔和外界的通气结构；支撑膜，所述支撑膜设在所述衬底的所述第一表面上且封盖所述隔热通孔的第一端；加热件，所述加热件设在所述支撑膜的远离所述隔热通孔的表面上；封装壳，所述封装壳设在所述衬底的所述第二表面上且封盖所述隔热通孔的第二端。

【技术特征摘要】
1.一种微型加热器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底具有沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面，所述衬底上设有在厚度方向贯穿其的隔热通孔，且所述衬底上设有连通所述隔热通孔和外界的通气结构；支撑膜，所述支撑膜设在所述衬底的所述第一表面上且封盖所述隔热通孔的第一端；加热件，所述加热件设在所述支撑膜的远离所述隔热通孔的表面上；封装壳，所述封装壳设在所述衬底的所述第二表面上且封盖所述隔热通孔的第二端。2.根据权利要求1所述的微型加热器，其特征在于，所述衬底的所述第二表面上设有凹槽，所述凹槽与所述封装壳之间限定出所述通气结构。3.根据权利要求2所述的微型加热器，其特征在于，所述凹槽为多个且沿所述隔热通孔的周向间隔设置。4.根据权利要求2所述的微型加热器，其特征在于，所述凹槽的横截面呈弧形或U形。5.根据权利要求1-4中任一项所述的微型加热器，其特征在于，所述隔热通孔的位于所述第一表面的端部形成为圆形。6.根据权利要求5所述的微型加热器，其特征在于，所述隔热通孔的横截面面积在由所述第一表面至所述第二表面的方向上增大。7.根据权利要求1-4中任一项所述的微型加热器，其特征在于，所述加热件为加热电阻丝，所述加热电阻丝在其延伸方向上的曲率变化是连续的。8.根据权利要求7所述的微型加热器，其特征在于，所述加热电阻丝在所述支撑膜上的投影呈圆形、椭圆形、渐开线形或顶点处倒圆角的多边形。9.根据权利要求7所述的微型加热器，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗彪，
申请(专利权)人：广东美的制冷设备有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44