下载微型加热器及其加工方法的技术资料

文档序号:15874376

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本发明公开了一种微型加热器及其加工方法,所述微型加热器包括:衬底、支撑膜、加热件和封装壳。衬底具有沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面,衬底上设有在厚度方向贯穿其的隔热通孔,且衬底上设有连通隔热通孔和外界的通气结构,支撑膜设在衬底的第一...
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