一种应用于硅棒的运棒车制造技术

技术编号:15855770 阅读:56 留言:0更新日期:2017-07-22 12:58
本实用新型专利技术公开了一种应用于硅棒的运棒车。包括:车体;V型板/弧形板,其前端铰接在车体的前端,用于在水平状态下承托硅棒;以及支杆,其设置车体的后部并位于在所述V型板/弧形板的下方,用于支撑V型板/弧形板的末端;液压翻转装置,其设置在所述车体与V型板/弧形板之间,用于所翻转述V型板/弧形板;侧托板,其竖直设置在所述V型板/弧形板前端,用于在竖直状态下承托硅棒;多对滚动支撑装置,其底部通过位置调节装置设置在所述V型板/弧形板的两侧,用于支撑硅棒。本实用新型专利技术的有益效果是:设有多对滚动支撑装置,在滚动支撑装置的前端设有轮辊,能够滚动支撑所述硅棒,便于对硅棒进行检测。

The utility model relates to a carrying rod used for a silicon bar

The utility model discloses a carrying rod used for a silicon bar. Includes a body; V plate / arc plate, the front end is hinged on the front end of the body, used for supporting the silicon rod at the level of state; and the supporting rod, the rear part of the hull and is located beneath the V plate / arc plate, used to support the V plate / arc plate end; hydraulic turnover device it is arranged between the body and the V plate / arc plate, the plate for flip V / arc plate; side plate, which is vertically arranged on the V plate / arc plate used for supporting the front end, the silicon rod in the vertical state; on rolling supporting device, the bottom is set in the V plate / arc plate on both sides by adjusting the position, for supporting the silicon rod. The utility model has the beneficial effects that a plurality of rolling support devices are arranged, and the front end of the rolling supporting device is provided with a wheel roller capable of rolling and supporting the silicon bar, so that the silicon bar can be conveniently detected.

【技术实现步骤摘要】
一种应用于硅棒的运棒车
本技术涉及半导体新材料硅单晶制备
,具体涉及一种应用于硅棒的运棒车。
技术介绍
目前国际主流集成电路依然是使用硅基材料,市场占有率达高。集成电路硅片加工处理环境中不能有其他杂质,否则硅片就会受到污染,影响器件性能。加工生产标准半导体硅片时,需要用到更大尺寸的单晶硅材料作为加工时相应的辅助材料。因此大尺寸单晶硅材料有着良好的市场前景。单晶硅是一种比较活泼的非金属元素,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。单晶硅可以用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造,其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域,在军事电子设备中也占有重要地位。在生产实践中,大直径硅棒的取运一直是一个难题。由于投料量的提高,硅棒的重量越来越重。目前均是采用人力搬运并且是没有安全防护,会存在一定的风险。若采用人力去搬运,会对员工的身体健康造成一定的负担。由于在转运的过程中,会有检测、运输、开断等诸多环节,存在多次搬运的问题,对工作造成了很大的不便。因此,一种能够便于单晶硅检测、运输和开断的应用于硅棒的运棒车为了解决问题的关键。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种应用于硅棒的运棒车,设有多对滚动支撑装置,便于对硅棒进行检测和运送。为实现上述目的,本技术采用如下技术方案,一种应用于硅棒的运棒车,包括:车体;V型板/弧形板,其前端铰接在车体的前端,用于在水平状态下承托硅棒;以及支杆,其设置车体的后部并位于在所述V型板/弧形板的下方,用于支撑V型板/弧形板的末端;液压翻转装置,其设置在所述车体与V型板/弧形板之间,用于所翻转述V型板/弧形板;侧托板,其竖直设置在所述V型板/弧形板前端,用于在竖直状态下承托硅棒;多对滚动支撑装置,其底部通过位置调节装置设置在所述V型板/弧形板的两侧,用于支撑硅棒;其中,在所述多对滚动支撑装置的上端设有可旋转地轮辊。优选的是,所述滚动支撑装置包括:支撑块,其通过位置调节装置设置在所述侧托板上;弧型杆,其下端与支撑块通过转轴连接;以及扭簧,其套设在所述转轴上;轮辊,其可旋转地设置在所述弧型杆的前端,用于与所述硅棒相抵接。优选的是,所述位置调节装置包括:两个滑槽件,其并列设置在所述V型板/弧形板上,在所述滑槽件上设有纵向的凹槽内,在所述滑槽件的侧面上设有齿形槽;两个支撑板,其分别插入所述凹槽内,在所述支撑板上分别通孔,其用于连接所述支撑块;以及两个金属销,所述金属销前部的直径大于后部的直径;所述金属销穿过所述通孔和齿形槽;所述金属销后部的直径小于所述齿形槽的最小内径,前部的直径等于所述齿形长槽的最大内径,在所述金属销的前端设有限位块,金属销的末端设有拉环,在金属销的后部套设有弹簧。优选的是,液压翻转装置为液压缸,其铰接在所述所述车体和所述V型板/弧形板之间。优选的是,还包括:减震器,其设置在所述支杆上,用于提供阻尼力。优选的是,在所述侧托板的中心设有通孔,在所述通孔外周设有旋转轴承。优选的是,在所述车体底部的前端设有两个定向滚轮,在所述车体底部末端设有两个万向滚轮。优选的是,在所述轮辊上设有弹性橡胶。优选的是,还包括:链条,其设置在所述V型板/弧形板,用于捆绑硅棒。优选的是,所述侧托板由外周向中心设有向下倾斜的锥度。本技术的有益效果是:1、设有多对滚动支撑装置,在滚动支撑装置的前端设有轮辊,能够滚动支撑所述硅棒,便于对硅棒进行检测;2、所述支杆上设有减震器,能够减少硅棒在运输途中的所受的振动;3,在所述托板上设有轴承,便于旋转硅棒;4、在所述滚动支撑装置的下部设有位置调节装置,通过位置调节装置能够调节滚动支撑装置在V型板/弧形板上的位置,便于夹持不同长度的硅棒。附图说明图1是本技术中一种应用于硅棒的运棒车的V型板/弧形板处于水平状态的立体图;图2是本技术中一种应用于硅棒的运棒车的V型板/弧形板处于竖直状态的立体图;图3是本技术中一种应用于硅棒的运棒车的V型板/弧形板处于水平状态的示意图;图4是图3的A-A剖视图;图5是本技术中位置调节装置的主视图;图6是本技术中位置调节装置的俯视图;图7是本技术中金属销的示意图。具体实施方式下面结合附图对技术做进一步的详细说明,以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。应当理解,本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不排除一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。如图1-7所示,本技术的一种实现形式,为实现上述目的,本技术采用如下技术方案,包括:车体110由金属材料制成,用于运输所述硅棒。在所述车体110的底部设有4个滚轮,在所述车体110的末端设有便于推动车体110的把手113;作为一种优选,位于车体前部的2个滚轮为定向滚轮111,位于车体后部的2个滚轮为万向滚轮112。V型板/弧形板120,呈板状结构,由金属材料制成。V型板/弧形板120的前端铰接在车体的前端,用于在水平状态下承托硅棒;作为一种优选,所述V型板/弧形板120由不锈钢材料制成。作为进一步优选,在所述V型板/弧形板120上设有用于提供缓冲力的弹性橡胶层。作为一种优选,V型板/弧形板120的前端设有转轴,并通过该转轴与车体的前端连接。支杆130,其设置车体110的后部并位于在所述V型板/弧形板120的下方,用于支撑V型板/弧形板120的末端;作为一种优选,在所述支杆130上设有减震器131,能够提供阻尼力进而降低硅棒在运输过程中所受到的振动。液压翻转装置140设置在所述车体110和所述V型板/弧形板120之间,用于所翻转述V型板/弧形板120;作为一种优选,液压翻转装置为液压缸,其铰接在所述所述车体110和所述V型板/弧形板之间120。侧托板150竖直设置在所述V型板/弧形板120前端,用于在竖直状态下承托硅棒;在所述侧托板150的一侧设有支脚151,用于支撑所述侧托板150。在所述侧托板150的中心设有通孔152,作为一种优选,在所述通孔152外周设有旋转轴承。作为进一步优选,所述侧托板150由外周向中心设有向下倾斜的锥度。多对滚动支撑装置160,其底部通过位置调节装置170设置在所述V型板/弧形板的两侧,用于支撑硅棒;其中,在所述滚动支撑装置160的前端设有可旋转地轮辊。作为一种优选,所述多对滚动支撑装置160包括:支撑块161、弧型杆162、转轴163、扭簧和轮辊164。支撑块,其通过位置调节装置设置在所述侧托板上;弧型杆162下端与支撑块161通过转轴163连接;扭簧套设在所述转轴163上;轮辊164可旋转地设置在所述弧型杆162的前端,用于与所述硅棒相抵接。作为进一步优选,在所述轮辊164与弧型杆162之间设有安装架165,轮辊164可旋转地架设在所述安装架165上。在使用过程中,将运棒车1移至场地中,通过液压翻转装置140将V型板/弧形板120撑起,使V型板/弧形板120保持竖直,将硅棒2自炉体中移出放置在所述侧托板150上,在通过多对滚动支撑装置160将硅棒2固定,然后再次通过液压翻转装置140将V型板/弧形板120放置水平。滚动支撑装置160的轮辊164与硅棒2相抵接,硅棒2与轮辊本文档来自技高网...
一种应用于硅棒的运棒车

【技术保护点】
一种应用于硅棒的运棒车,其特征在于,包括:车体;V型板/弧形板,其前端铰接在车体的前端,用于在水平状态下承托硅棒;以及支杆,其设置车体的后部并位于在所述V型板/弧形板的下方,用于支撑V型板/弧形板的末端;液压翻转装置,其设置在所述车体与V型板/弧形板之间,用于所翻转述V型板/弧形板;侧托板,其竖直设置在所述V型板/弧形板前端,用于在竖直状态下承托硅棒;多对滚动支撑装置,其底部通过位置调节装置设置在所述V型板/弧形板的两侧,用于支撑硅棒;其中,在所述多对滚动支撑装置的上端设有可旋转地轮辊。

【技术特征摘要】
1.一种应用于硅棒的运棒车,其特征在于,包括:车体;V型板/弧形板,其前端铰接在车体的前端,用于在水平状态下承托硅棒;以及支杆,其设置车体的后部并位于在所述V型板/弧形板的下方,用于支撑V型板/弧形板的末端;液压翻转装置,其设置在所述车体与V型板/弧形板之间,用于所翻转述V型板/弧形板;侧托板,其竖直设置在所述V型板/弧形板前端,用于在竖直状态下承托硅棒;多对滚动支撑装置,其底部通过位置调节装置设置在所述V型板/弧形板的两侧,用于支撑硅棒;其中,在所述多对滚动支撑装置的上端设有可旋转地轮辊。2.根据权利要求1所述的应用于硅棒的运棒车,其特征在于,所述滚动支撑装置包括:支撑块,其通过位置调节装置设置在所述侧托板上;弧型杆,其下端与支撑块通过转轴连接;以及扭簧,其套设在所述转轴上;轮辊,其可旋转地设置在所述弧型杆的前端,用于与所述硅棒相抵接。3.根据权利要求2所述的应用于硅棒的运棒车,其特征在于,所述位置调节装置包括:两个滑槽件,其并列设置在所述V型板/弧形板上,在所述滑槽件上设有纵向的凹槽内,在所述滑槽件的侧面上设有齿形槽;两个支撑板,其分别插入所述凹槽内,在所述支撑板上分别通孔,其用于连接所述支撑块;以及两个...

【专利技术属性】
技术研发人员:戴志辉韩刚秦朗
申请(专利权)人:锦州神工半导体有限公司
类型:新型
国别省市:辽宁,21

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1