The utility model discloses a carrying rod used for a silicon bar. Includes a body; V plate / arc plate, the front end is hinged on the front end of the body, used for supporting the silicon rod at the level of state; and the supporting rod, the rear part of the hull and is located beneath the V plate / arc plate, used to support the V plate / arc plate end; hydraulic turnover device it is arranged between the body and the V plate / arc plate, the plate for flip V / arc plate; side plate, which is vertically arranged on the V plate / arc plate used for supporting the front end, the silicon rod in the vertical state; on rolling supporting device, the bottom is set in the V plate / arc plate on both sides by adjusting the position, for supporting the silicon rod. The utility model has the beneficial effects that a plurality of rolling support devices are arranged, and the front end of the rolling supporting device is provided with a wheel roller capable of rolling and supporting the silicon bar, so that the silicon bar can be conveniently detected.
【技术实现步骤摘要】
一种应用于硅棒的运棒车
本技术涉及半导体新材料硅单晶制备
,具体涉及一种应用于硅棒的运棒车。
技术介绍
目前国际主流集成电路依然是使用硅基材料,市场占有率达高。集成电路硅片加工处理环境中不能有其他杂质,否则硅片就会受到污染,影响器件性能。加工生产标准半导体硅片时,需要用到更大尺寸的单晶硅材料作为加工时相应的辅助材料。因此大尺寸单晶硅材料有着良好的市场前景。单晶硅是一种比较活泼的非金属元素,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。单晶硅可以用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造,其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域,在军事电子设备中也占有重要地位。在生产实践中,大直径硅棒的取运一直是一个难题。由于投料量的提高,硅棒的重量越来越重。目前均是采用人力搬运并且是没有安全防护,会存在一定的风险。若采用人力去搬运,会对员工的身体健康造成一定的负担。由于在转运的过程中,会有检测、运输、开断等诸多环节,存在多次搬运的问题,对工作造成了很大的不便。因此,一种能够便于单晶硅检测、运输和开断的应用于硅棒的运棒车为了解决问题的关键。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种应用于硅棒的运棒车,设有多对滚动支撑装置,便于对硅棒进行检测和运送。为实现上述目的,本技术采用如下技术方案,一种应用于硅棒的运棒车,包括:车体;V型板/弧形板,其前端铰接在车体的前端,用于在水平状态下承托硅棒;以及支杆,其设置车体的后部并位于在所述V型板/弧形板的下方,用于支撑V型板/弧形板的末端; ...
【技术保护点】
一种应用于硅棒的运棒车,其特征在于,包括:车体;V型板/弧形板,其前端铰接在车体的前端,用于在水平状态下承托硅棒;以及支杆,其设置车体的后部并位于在所述V型板/弧形板的下方,用于支撑V型板/弧形板的末端;液压翻转装置,其设置在所述车体与V型板/弧形板之间,用于所翻转述V型板/弧形板;侧托板,其竖直设置在所述V型板/弧形板前端,用于在竖直状态下承托硅棒;多对滚动支撑装置,其底部通过位置调节装置设置在所述V型板/弧形板的两侧,用于支撑硅棒;其中,在所述多对滚动支撑装置的上端设有可旋转地轮辊。
【技术特征摘要】
1.一种应用于硅棒的运棒车,其特征在于,包括:车体;V型板/弧形板,其前端铰接在车体的前端,用于在水平状态下承托硅棒;以及支杆,其设置车体的后部并位于在所述V型板/弧形板的下方,用于支撑V型板/弧形板的末端;液压翻转装置,其设置在所述车体与V型板/弧形板之间,用于所翻转述V型板/弧形板;侧托板,其竖直设置在所述V型板/弧形板前端,用于在竖直状态下承托硅棒;多对滚动支撑装置,其底部通过位置调节装置设置在所述V型板/弧形板的两侧,用于支撑硅棒;其中,在所述多对滚动支撑装置的上端设有可旋转地轮辊。2.根据权利要求1所述的应用于硅棒的运棒车,其特征在于,所述滚动支撑装置包括:支撑块,其通过位置调节装置设置在所述侧托板上;弧型杆,其下端与支撑块通过转轴连接;以及扭簧,其套设在所述转轴上;轮辊,其可旋转地设置在所述弧型杆的前端,用于与所述硅棒相抵接。3.根据权利要求2所述的应用于硅棒的运棒车,其特征在于,所述位置调节装置包括:两个滑槽件,其并列设置在所述V型板/弧形板上,在所述滑槽件上设有纵向的凹槽内,在所述滑槽件的侧面上设有齿形槽;两个支撑板,其分别插入所述凹槽内,在所述支撑板上分别通孔,其用于连接所述支撑块;以及两个...
【专利技术属性】
技术研发人员:戴志辉,韩刚,秦朗,
申请(专利权)人:锦州神工半导体有限公司,
类型:新型
国别省市:辽宁,21
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