The invention discloses a chemical mechanical polishing end point detection device, including: with the use of chemical mechanical polishing device and the polishing platform, chemical mechanical polishing platform is provided with a window device comprises: a plane mirror; equipped with shaft plane mirror. The mirror is used to adjust the rotation angle; light emitting module for a laser line, the laser line through the window through the mirror to throw light on the disc surface of the wafer; optical detection module, for receiving the light reflected by the window receiving wafer, to determine the chemical mechanical polishing process end point based on reflected light. Chemical mechanical polishing end point detection device of the embodiment of the adjustable laser line on chemical mechanical polishing platform polishing angle disc window through the shaft thus improves the device scalability, fault tolerance, and can be used in chemical mechanical polishing platform from different manufacturers.
【技术实现步骤摘要】
化学机械抛光终点检测装置
本专利技术涉及半导体
,尤其涉及一种化学机械抛光终点检测装置。
技术介绍
集成电路制造所需的化学机械抛光(chemicalmechanicalpolishing,简称CMP)设备中,通常需要配备终点监测系统(EndPointDetector,简称EPD),以增加工艺窗口,更有效地控制工艺。目前CMP系统中EPD装置工作原理主要有光学、涡流、驱动马达电流、温度、生成物等方式;其中最常用、也是最有效的是光学检测方式,其通过检测晶圆表面反射光的变化来跟踪工艺进程,判断工艺终点。相关的CMP终点检测装置采用激光器输出很短的平行线,然后加入外置的透镜组合进行发散、平行处理,达到一定长度的激光线,然后经过固定角度的平面反射镜通过pad窗口(激光线是沿着窗口的长边)照射到晶圆下表面,其反射光线再通过窗口返回到装置里的光传感器,从而检测到反射激光线的强度,并通过反射激光线的强度确定化学机械抛光工艺的终点。然而,在实现本专利技术的过程中专利技术人发现相关技术至少存在以下问题:(1)激光器光学光路复杂,容易产生误差,集成度不够,造价高;(2)可调节性较差,容错性小,只能用于固定类型的CMP平台,不能适配与其他厂家的CMP平台;(3)整体尺寸大,空间利用率低。
技术实现思路
本专利技术的目的旨在至少在一定程度上解决上述的技术问题之一。为此,本专利技术的一个目的在于提出一种化学机械抛光终点检测装置。该装置通过转轴可调节激光线射向化学机械抛光平台的抛光盘上窗口的角度,由此,提高了该装置的可调节性,容错性,可适用于不同厂家的化学机械抛光平台。为达到上述目的 ...
【技术保护点】
一种化学机械抛光终点检测装置,其特征在于,所述装置与化学机械抛光平台配合使用,所述化学机械抛光平台的抛光盘上设置有窗口,所述装置包括:平面反射镜;搭载所述平面反射镜的转轴,所述转轴用于调整所述平面反射镜的角度;光发射模块,用于发出激光线,所述激光线经由所述平面反射镜通过所述窗口照射到所述抛光盘上的晶圆表面;光检测模块,用于接收经由所述窗口接收所述晶圆的反射光线,以根据所述反射光线确定化学机械抛光工艺的终点。
【技术特征摘要】
1.一种化学机械抛光终点检测装置,其特征在于,所述装置与化学机械抛光平台配合使用,所述化学机械抛光平台的抛光盘上设置有窗口,所述装置包括:平面反射镜;搭载所述平面反射镜的转轴,所述转轴用于调整所述平面反射镜的角度;光发射模块,用于发出激光线,所述激光线经由所述平面反射镜通过所述窗口照射到所述抛光盘上的晶圆表面;光检测模块,用于接收经由所述窗口接收所述晶圆的反射光线,以根据所述反射光线确定化学机械抛光工艺的终点。2.如权利要求1所述的化学机械抛光终点检测装置,其特征在于,所述光发射模块为一字线激光器,所述一字线激光器用于在距离所述一字线激光器的预设距离上提供预设长度的激光线。3.如权利要求2所述的化学机械抛光终点检测装置,其特征在于,所述一字线激光器发出的激光线与水平面平行。4.如权利要求2所述的化学机械抛光终点检测装置,其特征在于,所述预设长度大于或者等于10毫米,且...
【专利技术属性】
技术研发人员:王军星,郭振宇,沈攀,雷殿波,路新春,
申请(专利权)人:天津华海清科机电科技有限公司,清华大学,
类型:发明
国别省市:天津,12
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