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本发明公开了一种化学机械抛光终点检测装置，包括：装置与化学机械抛光平台配合使用，化学机械抛光平台的抛光盘上设置有窗口，装置包括：平面反射镜；搭载平面反射镜的转轴，转轴用于调整平面反射镜的角度；光发射模块，用于发出激光线，激光线经由平面反射镜...
该专利属于天津华海清科机电科技有限公司;清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津华海清科机电科技有限公司;清华大学授权不得商用。

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