复眼匀光系统、照明调节机构及照明装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种复眼匀光系统、照明调节机构及照明装置，涉及光刻直写曝光机及投影显示的技术领域，其中，平行入射光依次经过第一镜片、第二镜片、第三镜片和第四镜片；第二镜片和第三镜片的相对面均设有第一复眼透镜阵列；第一镜片和第四镜片的背离面均设有第二复眼透镜阵列；第一镜片的第二复眼透镜阵列中各小透镜的焦点与第二镜片的第一复眼透镜阵列中对应的小透镜的光心重合；第三镜片的所述第一复眼透镜阵列中各小透镜的焦点与第四镜片的所述第二复眼透镜阵列中对应的小透镜的光心重合。解决了现有技术中复眼匀光系统存在LDI曝光时激光器能量分布不均匀的问题，可以实现光线的有效均匀化，使LDI最后曝光时能够获得所需要的均匀能量。

Compound eye light distribution system, illumination regulating mechanism and lighting device

The utility model provides a uniform light lighting system, eye adjusting mechanism and a lighting device, which relates to the technical field of lithography, lithography machine and projection display, parallel incident light passes through the first lens, a second lens, the third lens and the fourth lens; the relative surface of the second lens and a third lens are arranged on the first fly eye lens array; deviate from the surface of the first lens and the fourth lens are provided with second fly eye lens array; small lens corresponding to the first fly eye lens and the second lens focus of the small lens second eye lens array the first lens in the optical center overlap; small lens corresponding to the second fly eye lens and the fourth lens focus of the small lens the third lens is the first fly eye lens in the light of coincidence. To solve the existing LDI exposure eye uniform light system in the prior art when the laser energy the problem of uneven distribution of light can achieve effective uniform, uniform can obtain the required energy to LDI last exposure.

【技术实现步骤摘要】
复眼匀光系统、照明调节机构及照明装置
本技术涉及光刻直写曝光机及投影显示
，尤其是涉及一种复眼匀光系统、照明调节机构及照明装置。
技术介绍
光刻技术是用于在基底表面上印刷具有特征构图的技术。这样的基底可用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等。由于市面上大多数的印刷电路板(PrintedCircuitBoard，简称PCB板)都为精密线路，普遍的解析能力达到10-20μm量级，因此激光直接成像(LaserDirectImage，简称LDI)能量的均匀性是影响曝光质量的主要因素，但是，现有技术中的复眼匀光系统存在LDI曝光时激光器能量分布不均匀，进而导致PCB板报废率居高不下的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于提供一种复眼匀光系统的光路、照明调节机构及照明装置，以解决现有技术中复眼匀光系统存在的LDI曝光时激光器能量分布不均匀，进而导致PCB板报废率居高不下的问题。第一方面，本技术实施例提供了一种复眼匀光系统，包括第一镜片组和第二镜片组，第一镜片组包括第二镜片和第三镜片，第二镜片组包括第一镜片和第四镜片；平行入射光依次经过第一镜片、第二镜片、第三镜片和第四镜片；第二镜片的出光面和第三镜片的入光面均设有第一复眼透镜阵列；第一镜片的入光面和第四镜片的出光面均设有第二复眼透镜阵列；第一复眼透镜阵列垂直于第二复眼透镜阵列；第一镜片的第二复眼透镜阵列中各小透镜的焦点与第二镜片的第一复眼透镜阵列中对应的小透镜的光心重合；第三镜片的第一复眼透镜阵列中各小透镜的焦点与第四镜片的所述第二复眼透镜阵列中对应的小透镜的光心重合。结合第一方面，本技术实施例提供了第一方面的第一种可能的实施方式，其中，第一复眼透镜阵列的曲率小于第二复眼透镜阵列的曲率。结合第一方面，本技术实施例提供了第一方面的第二种可能的实施方式，其中，第一复眼透镜阵列的曲率为1～2mm，第二复眼透镜阵列的曲率为4.5～5.5mm，优选地，第一复眼透镜阵列的曲率为1.5mm，第二复眼透镜阵列的曲率为5mm。结合第一方面，本技术实施例提供了第一方面的第三种可能的实施方式，其中，第二镜片贴近第一镜片；第三镜片与第二镜片间的距离为3.05～3.25mm，与第四镜片间的距离为4.8～5.2mm；本实施方式中，第三镜片与第二镜片间的距离优选为3.15mm，第三镜片与第四镜片间的距离优选为5.55mm。结合第一方面及其可能的实施方式，本技术实施例提供了第一方面的第四种可能的实施方式，其中，第一复眼透镜阵列和第二复眼透镜阵列均为柱面镜。第二方面，本技术实施例还提供了一种照明调节机构，包括固定座以及第一方面及其可能的实施方式所述的复眼匀光系统光路，固定座包括第一腔体和第二腔体，第一腔体与第二腔体之间设置有通光孔；第一腔体内固定有第一镜片和第二镜片；第二腔体内设有相互垂直的第一导轨和第二导轨，以及沿第一导轨运动的第一滑块，和沿第二导轨运动的第二滑块，第三镜片固定在第一滑块上，第四镜片固定在第二滑块上。结合第二方面，本技术实施例提供了第二方面的第一种可能的实施方式，其中，第一滑块和第二滑块中部设置有透光孔。结合第二方面，本技术实施例提供了第二方面的第二种可能的实施方式，其中，第一导轨包括两平行导轨，第一滑块包括固定第三镜片的镜片腔，镜片腔对称设有沿两平行导轨运动的第一连接部。结合第二方面，本技术实施例提供了第二方面的第三种可能的实施方式，其中，第二导轨包括两平行导轨，第二滑块包括固定第四镜片的镜片腔，镜片腔对称设有沿两平行导轨运动的第二连接部。第三方面，本技术实施例还提供了一种复眼匀光系统的照明装置，包括激光器、准直透镜以及第二方面及其可能的实施方式所述的照明调节机构，激光器发出的光依次经过准直透镜和复眼匀光系统。本技术实施例带来了以下有益效果：平行入射光依次经过第一镜片、第二镜片、第三镜片和第四镜片，第一复眼透镜阵列垂直于第二复眼透镜阵列，且第一镜片的第二复眼透镜阵列中各小透镜的焦点与第二镜片的第一复眼透镜阵列中对应的小透镜的光心重合；第三镜片的第一复眼透镜阵列中各小透镜的焦点与第四镜片的第二复眼透镜阵列中对应的小透镜的光心重合，使通过第一镜片后的每个细光束范围内的微小不均匀性得到多次补偿，实现对光线的有效均匀化，从而在曝光时能够获得所需要的均匀能量。本技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解。本技术的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。为使本技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例1提供的复眼匀光系统示意图；图2为本技术实施例1提供的复眼匀光系统中的第一(第二)复眼透镜阵列的结构示意图；图3为本技术实施例2提供的照明调节机构的第一立体结构示意图；图4为本技术实施例2提供的照明调节机构的第二立体结构示意图；图5为本技术实施例2提供的照明调节机构中导轨的第二种实施方式的结构示意图；图6为本技术实施例3提供的复眼匀光装置的示意图。图标：01-平行入射光；02-均匀出射光；03-激光；1-第一镜片组；11-第二镜片；12-第三镜片；13-第一复眼透镜阵列；2-第二镜片组；21-第一镜片；22-第四镜片；23-第二复眼透镜阵列；31-第一腔体；32-第二腔体；4-压片；51-第一滑块；511-第一连接部；512-第一固定件；52-第二滑块；521-第二连接部；522-第二固定件；61-第一导轨；62-第二导轨；7-准直透镜；8-激光器。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。目前的复眼匀光系统存在LDI曝光时激光器能量分布不均匀的问题，基于此，本技术实施例提供的一种复眼匀光系统、照明调节机构及照明装置，可以实现光线的有效均匀化，最后曝光时能够获得所需要的均匀能量。为便于对本实施例进行理解，首先对本技术实施例所公开的一种复眼匀光系统进行详细介绍。实施例1如图1所示，本技术提供的复眼匀光系统，包括第一镜片组1和第二镜片组2，第一镜片组1包括第二镜片11和第三镜片12，第二镜片组2包括第一镜片21和第四镜片22。平行入射光01依次经过第一镜片21、第二镜片11、第三镜片12和第四镜片22。第二镜片11的出光面和第三镜片12的入光面均设有第一复眼透镜阵列13；第一镜片21的入光面本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种复眼匀光系统，其特征在于，包括第一镜片组和第二镜片组，所述第一镜片组包括第二镜片和第三镜片，所述第二镜片组包括第一镜片和第四镜片；平行入射光依次经过所述第一镜片、所述第二镜片、所述第三镜片和所述第四镜片；所述第二镜片的出光面和所述第三镜片的入光面均设有第一复眼透镜阵列；所述第一镜片的入光面和所述第四镜片的出光面均设有第二复眼透镜阵列；所述第一复眼透镜阵列垂直于所述第二复眼透镜阵列；所述第一镜片的所述第二复眼透镜阵列中各小透镜的焦点与所述第二镜片的所述第一复眼透镜阵列中对应的小透镜的光心重合；所述第三镜片的所述第一复眼透镜阵列中各小透镜的焦点与所述第四镜片的所述第二复眼透镜阵列中对应的小透镜的光心重合。

【技术特征摘要】
1.一种复眼匀光系统，其特征在于，包括第一镜片组和第二镜片组，所述第一镜片组包括第二镜片和第三镜片，所述第二镜片组包括第一镜片和第四镜片；平行入射光依次经过所述第一镜片、所述第二镜片、所述第三镜片和所述第四镜片；所述第二镜片的出光面和所述第三镜片的入光面均设有第一复眼透镜阵列；所述第一镜片的入光面和所述第四镜片的出光面均设有第二复眼透镜阵列；所述第一复眼透镜阵列垂直于所述第二复眼透镜阵列；所述第一镜片的所述第二复眼透镜阵列中各小透镜的焦点与所述第二镜片的所述第一复眼透镜阵列中对应的小透镜的光心重合；所述第三镜片的所述第一复眼透镜阵列中各小透镜的焦点与所述第四镜片的所述第二复眼透镜阵列中对应的小透镜的光心重合。2.根据权利要求1所述的复眼匀光系统，其特征在于，所述第一复眼透镜阵列的曲率小于所述第二复眼透镜阵列的曲率。3.根据权利要求1所述的复眼匀光系统，其特征在于，所述第一复眼透镜阵列的曲率为1～2mm，所述第二复眼透镜阵列的曲率为4.5～5.5mm。4.根据权利要求1所述的复眼匀光系统，其特征在于，所述第二镜片紧贴所述第一镜片；所述第三镜片与所述第二镜片间的距离为3.05～3.25mm，所述第三镜片与所述第四镜片间的距离为4.8～5.2mm。5.根据权利要求1-4任一项所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁洪瑞，
申请(专利权)人：天津津芯微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12