【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种聚酰亚胺树脂及其中间体与它们的制备方法与应用,特别是一种 适用于制造超大规模集成电路封装基板的聚酰亚胺树脂。
技术介绍
目前超大规模集成电路(ULSI)正在遵循摩尔定律快速向前发展,特征线宽越来 越细,晶圆直径却越来越大。当前的主流生产工艺技术为0.25 0.35微米,先进生产 技术为0.13~0.10微米,60 90纳米技术已开始批量生产阶段;预计2010年将发展到 45纳米,2016年和2018年将分别发展到22纳米和18纳米。同时,与之相适应的超 大规模集成电路封装技术也在向着高性能化、多功能化、轻量化、薄型化、微型化、 低成本化等方向快速向前发展,目前主流技术为球焊阵列(BGA)、芯片级封装(CSP)、 硅圆片级封装(WLP)等,今后将发展以SiP为代表的3D封装技术。在超大规模集成电路的封装中,封装材料具有半导体芯片支撑、保护、散热、绝 缘和与外电路、光路互连等重要的作用。不同的集成电路封装类型,对封装材料的性 能要求也不同。因此,封装材料在微电子封装技术发展进程中具有决定性的作用,已 经形成了一代电路、 一代封装、 一代材料的发展定 ...
【技术保护点】
一种聚酰胺酸,其结构通式如式Ⅰ所示, *** (式Ⅰ) 所述式Ⅰ结构通式中,R选自如下基团中的任意一种或几种的任意组合; *** X↓[1]、X↓[2]均为二酐基团; Ar为下述基团中的任意一种或几种的任意组合; *** T为封端基团,含有所述封端基团的封端剂为苯胺、邻苯二甲酸酐、4-苯乙炔基苯酐、4-苯乙炔基苯胺或5-降冰片烯-2,3-二羧酸酐。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:杨士勇,徐红岩,杨海霞,范琳,
申请(专利权)人:中国科学院化学研究所,
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]
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