一种电极引线单元、真空光电器件及其制作方法技术

本发明专利技术属于光电器件技术领域，涉及一种电极引线单元、真空光电器件及其制作方法。该电极引线单元包括玻璃基板、玻璃管壳和多个电极引线；玻璃管壳熔接于玻璃基板的表面；电极引线分布于玻璃管壳与玻璃基板的熔接面上，电极引线一端位于玻璃管壳的内侧，电极引线的另一端位于玻璃管壳的外侧。本发明专利技术制作的电极引线单元以及不受阳极末端可伐合金丝直径的限制，因此可制作具有上百个读出通道的真空光电器件。电极尺寸最小可以到数十微米，利于实现高密度电极引线的制作，适用于混合型光电探测器、多阳极光电倍增管等多种真空光电器件，在高能物理、宇宙探测、微光夜视、医疗仪器等多个领域有广泛的应用前景。

Electrode lead unit, vacuum photoelectric device and manufacturing method thereof

The invention belongs to the technical field of photoelectric devices, and relates to an electrode lead unit, a vacuum photoelectric device and a manufacturing method thereof. The electrode wire unit comprises a glass substrate, a glass shell and a plurality of electrode wire; the surface of the glass tube shell welding on the glass substrate; the electrode lead distribution in the glass tube shell and glass substrate welding on the surface of electrode wire is located at one end of the inner side of the glass shell, the other end of the glass tube shell outer electrode wire the. The electrode lead unit produced by the invention and the limitation of the diameter of the wire can be cut without the anode end, so a vacuum photoelectric device with hundreds of readout channels can be made. The size of the electrode can to tens of microns to a minimum, to achieve high density electrode wire, suitable for mixed type photoelectric detector, mapmt vacuum and other optoelectronic devices, and has wide application prospect in high-energy physics, space exploration, night vision, medical instruments and other fields.

【技术实现步骤摘要】
一种电极引线单元、真空光电器件及其制作方法
本专利技术属于光电器件
，涉及一种电极引线单元、真空光电器件及其制作方法。
技术介绍
真空光电器件由于其优异的性能，如高灵敏度、快时间响应、大有效面积、低暗电流以及优良的环境适应性等，在高能物理、天文物理、医疗仪器、激光雷达、微光夜视、环境监测和等离子体诊断等多个领域有重要的应用，是光电探测器件的一个重要分支。真空光电器件主要由入射窗、光电阴极、电子光学系统、电子倍增器、阳极组成。其中光电阴极附着于入射窗上，用于将入射的光信号转化为电信号；电子光学系统主要实现对电子的加速、聚焦和偏转等功能；电子倍增器可产生很大的电子增益，用于对电信号的放大；阳极用于接收和读出最终的信号。由于真空光电器件是一种真空密封的探测器件，为了与外部电路连接进行信号采集与处理，必须有电极引线联通器件内部电极与外部电路，因此电极引线的制作是真空光电器件制备的一个重要工艺过程。图1是传统的微通道板光电探测器件的结构示意图，包括入射窗11、光电阴极12、微通道板13、阳极14、芯柱15、电极连接线16、管壳17和在芯柱上焊接的可伐合金丝18。其中入射窗11、管壳17和本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电极引线单元，其特征在于：包括玻璃基板、玻璃管壳和多个电极引线；所述玻璃管壳熔接于玻璃基板的表面；所述电极引线分布于玻璃管壳与玻璃基板的熔接面上，电极引线一端位于玻璃管壳的内侧，电极引线的另一端位于玻璃管壳的外侧。

【技术特征摘要】
1.一种电极引线单元，其特征在于：包括玻璃基板、玻璃管壳和多个电极引线；所述玻璃管壳熔接于玻璃基板的表面；所述电极引线分布于玻璃管壳与玻璃基板的熔接面上，电极引线一端位于玻璃管壳的内侧，电极引线的另一端位于玻璃管壳的外侧。2.根据权利要求1所述的电极引线单元，其特征在于：所述电极引线是在玻璃基板上采用半导体工艺制作的条状的金属薄膜。3.根据权利要求1或2所述的电极引线单元，其特征在于：所述金属薄膜为单一金属薄膜或者多种金属薄膜的堆叠结构。4.一种电极引线单元的制作方法，其特征在于：包括以下步骤：1)准备玻璃基板；2)制作电极引线：采用半导体工艺在玻璃基板上制作电极引线；所述电极引线为单一金属薄膜或者多种金属薄膜的堆叠结构；3)熔接玻璃管壳：在玻璃基板上的玻璃管壳的安装部位涂覆低熔点玻璃粉，玻璃粉的涂覆宽度大于玻璃管壳的厚度且小于电极引线的长度；将玻璃粉加热固化后形成玻璃胶；将玻璃管壳放置于玻璃胶上，使电极引线一端位于玻璃管壳内侧，电极引线的另一端位于玻璃管壳的外侧；在真空炉内加热使玻璃管壳与玻璃基板通过玻璃胶粘接在一起；降温后取出，完成电极引线单元的制作。5.根据权利要求4所述的电极引线单元的制作方法，其特征在于：还包括步骤4)对制作好的电极引线单元进行真空检漏。6.一种真空光电器件，包括入射窗、阴极单元和阳极单元，其特征在于：还包括电极引线单元；所述电极引线单元包括玻璃基板、玻璃管壳和多个电极引线；所述玻璃管壳熔接于玻璃基板的表面；所述电极引线分布于玻璃管壳与玻璃基板的熔接面上；所述电极引线一端位于玻璃管壳的内侧，通过电极连接线与阳极单元相连；所述电极引线的另一端位于玻璃管壳的外侧；所述入射窗位于玻璃管壳的顶部，所述入射窗、玻璃管壳和玻璃基板共同围成密闭的真空腔，所述阳极单元和阴极单元均位于真空腔内；所述阳极单元固定于玻璃基板上，所述阴极单元固定于入射窗底部。7.根据权利要求6所述的真...

【专利技术属性】
技术研发人员：王兴，田进寿，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：陕西,61