一种多轴PZT墨MEMS陀螺仪及其前端电路制造技术
【技术实现步骤摘要】
一种多轴PZT墨MEMS陀螺仪及其前端电路
本专利技术涉及一种多轴PZT墨MEMS陀螺仪及其前端电路，适用于电子领域。
技术介绍
从技术上来讲，陀螺仪是一个用来测量角速度的器件。早在18世纪，有雾的时候，人们就用旋转的器件在航海中导航。在19世纪初期专利技术了更传统的旋转陀螺仪，法国科学家莱昂·傅科在1852年创造了陀螺仪这个术语。在19世纪晚期和20世纪初期，陀螺仪专用于船上。大约在1916年，航空中开始使用陀螺仪。今天陀螺仪也仍然广范应用于航空中。整个20世纪，旋转陀螺仪有很大的改善。20世纪60年代，利用激光的光学陀螺仪首次产生，然后很快在航空和军事应用中获得了商业成功。最近10到15年中，MEMS陀螺仪跟传统微尺寸的器件相比优势明显，被引人大量成功的产品中。PZT型MEMS陀螺仪采用PZT板作为它的基底，跟普通振动陀螺仪相比，优势在于用更小的驱动电压即可产生可读的输出。PZT型MEMS陀螺仪在设计上是非常简单的，它比环形或音叉陀螺仪要简单很多。PZT型MEMS陀螺仪有一个压电板，它的长度和宽度远大于它的深度。板上有引线连接到6边位于硅晶圆上的腔体的薄膜上。...
【技术保护点】
一种多轴PZT墨MEMS陀螺仪及其前端电路，其特征是：所述陀螺仪的前端电路的第一级将MEMS所产生的电荷信号转化成电路可以处理的电压信号，该电压信号经过第二级电路的运算、放大和平衡处理后再送往第三级电路；第三级电路集高通滤波器和放大功能于一体。
【技术特征摘要】
1.一种多轴PZT墨MEMS陀螺仪及其前端电路，其特征是：所述陀螺仪的前端电路的第一级将MEMS所产生的电荷信号转化成电路可以处理的电压信号，该电压信号经过第二级电路的运算、放大和平衡处理后再送往第三级电路；第三级电路集高通滤波器和放大功能于一体。2.根据权利要求1所述的一种多轴PZT墨MEMS陀螺仪及其前端电路，其特征是：所述陀螺仪的前端电路的第一级电路是利用Q=C*V的原理来工作的，假定运放是理想的，并且输人电容为O，那么来自MEMS的电荷信号通过电容后将在输出端全部转换成电压信号。3.根据权利要求1所述的一种多轴PZT墨MEMS陀螺仪及其前端电路，其特征是：由于共振模式和检测模式时电荷的变化相差几个数量级，C取得太小，容易使运放进人饱和模式而无法正常工作；C取的太大的话，检测模式时信...
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