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一种多轴PZT墨MEMS陀螺仪及其前端电路制造技术
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文档序号:15610311
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一种多轴PZT墨MEMS陀螺仪及其前端电路,其结构简单,仅用一个传感器就可以产生三个轴的角速度信号,体积小巧。另外,该类型的陀螺仪谐振频率通常也比较高,不存在音频干扰的问题,方便客户使用。基于这些特点,PZT型MEMS陀螺仪应用前景广阔,是...
该专利属于史树元所有,仅供学习研究参考,未经过史树元授权不得商用。
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