【技术实现步骤摘要】
扩散炉尾气排放管
本技术涉及管式扩散炉
,特别是涉及一种扩散炉尾气排放管。
技术介绍
在扩散工艺制程中使用的扩散炉管,需要通过石英尾气排放管将废气排出炉管,现有扩散炉尾气排放管只是一个单纯连接石英炉管与酸排管路的石英连接件。在扩散工艺制程中使用扩散炉管,需要通过石英尾气排放管将废气排出炉管,在扩散炉尾气排放管尾部冷热交替处会生成固态偏磷酸,堵塞扩散炉尾气排放管,影响炉管正常气流循环,影响正常工艺,造成低效片;扩散炉尾气排放管因受偏磷酸堵塞,需经常疏通,影响正常生产;扩散炉尾气排放管因受偏磷酸腐蚀,容易损坏,更换周期短。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是:为了克服现有技术中扩散炉尾气排放管尾部易生成偏磷酸的不足,本技术提供一种扩散炉尾气排放管。本技术解决其技术问题所要采用的技术方案是:一种扩散炉尾气排放管,包括管体,所述管体上开设有从管体外壁延伸至管体内壁的进气口,所述进气口设于所述管体尾部,所述进气口通过气管与气源连通。采用扩散炉尾气排放管上设进气口,通过气管连接气源(如氮气)对扩散炉尾气排放管内进行吹气,通过氮气维持扩散炉尾气排放管内正压,避免了所排废气与空气接触,从而避免生成偏磷酸。保证了扩散炉尾气排放管的长期畅通,减缓了扩散炉尾气排放管的腐蚀。进一步,所述进气口从管体外壁到管体内壁向管体尾端倾斜,所述气管与进气口连通处倾斜方向相同且倾斜角度相同。进气口与进气口处的气管设成向管体尾部的倾斜状,通过气管连接气源(如氮气)对扩散炉尾气排放管内进行吹气,可以带动废气排放,保证了扩散炉尾气排放管的畅通。进一步,所述进气口轴线与所述管体轴线之间的角度为20 ...
【技术保护点】
一种扩散炉尾气排放管,其特征在于:包括管体(1),所述管体(1)上开设有从管体(1)外壁延伸至管体(1)内壁的进气口(2),所述进气口(2)设于所述管体(1)尾部,所述进气口(2)通过气管(6)与气源(7)连通。
【技术特征摘要】
1.一种扩散炉尾气排放管,其特征在于:包括管体(1),所述管体(1)上开设有从管体(1)外壁延伸至管体(1)内壁的进气口(2),所述进气口(2)设于所述管体(1)尾部,所述进气口(2)通过气管(6)与气源(7)连通。2.如权利要求1所述的扩散炉尾气排放管,其特征在于:所述进气口(2)从管体(1)外壁到管体(1)内壁向管体(1)尾端倾斜,所述气管(6)与进气口(2)连通处倾斜方向相同且倾斜角度相同。3.如权利要求2所述的扩散炉尾气排放管,其特征在于:所述进气口(2)轴线与所述管体(1)轴线...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙铁囤,姚伟忠,吴俊,
申请(专利权)人:常州亿晶光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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