基板烘烤装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基板烘烤装置，包括顶面开口的加热室、盖设于所述加热室顶部的盖板、设于所述加热室内的加热器以及设于所述加热器上方的热板，所述盖板内表面可拆卸地固定有与所述热板间隔设置的中间盖板。本发明专利技术通过在基板烘烤装置的盖板内表面设有中间盖板，基板加热后挥发产生的光阻凝结物不会凝结在盖板内表面，当光阻凝结物达到一定程度需要清洁时，只需要拆下中间盖板进行清洗或更换即可，快捷方便。

Substrate baking device

The invention discloses a substrate baking device, including the top opening of the heating chamber and the cover is arranged in the heating chamber is arranged on the top of the cover plate, the heater and the heating chamber is arranged on the heater at the top of the hot plate, the inner surface of the cover plate is detachably fixed with the middle cover plate is provided with the hot plate the. The invention is provided with a cover plate on the base plate through the middle of the inner surface of the baking device, heating the substrate after evaporation induced resist condensation on the surface of the cover can not be condensed, when the light resistance of condensate to a certain extent need to clean, only need to remove the middle cover for cleaning or replacement, fast and convenient.

【技术实现步骤摘要】
基板烘烤装置
本专利技术涉及基板加工
，尤其涉及一种基板烘烤装置。
技术介绍
彩色滤色片的制程中，各产线上的玻璃基板经涂布机涂布光阻后需要进行烘烤，其主要目的就是将经过涂布后的光阻，通过与热板接触加热的方式，将光阻内经VCD(真空干燥)抽气后仍残留的部分溶剂去除，进一步将涂布的膜层固化至接近湿膜状态，并增加光阻与基板的附着力。热板加热产生的光阻溶剂会挥发后附着在烘烤装置腔体的盖板内表面，产线上搬运的基板越多，越多的光阻溶剂挥发从而会在盖板表面形成凝结物；盖板表面凝结物越多，基板存在的返工或者报废的风险就越大。因此，容易导致基板不良率增加，影响生产品质。彩色滤色片制程中的光阻成分主要是光阻材料和溶剂等，溶剂很难找到替代品，而光阻材料技术已相对稳定，因此光阻材料改善空间也较小。通常有两种改善方法：(1)保养烘烤装置，需使用10％的KOH溶剂及超细百级无尘布，然而，由于原厂盖板不可拆卸，人员也需高空作业比较危险，光阻凝结物附着在原厂盖板后，清洁过程耗时太久，并且清洁效果不佳；(2)直接更换原厂盖板，容易损伤腔体，而且成本较高，耗时也较久。随着市场的需求日益增加，产线的产能要求越来越高，因此维护时间及周期也非常重要。以上两种方案，要么很难对烘烤装置盖板上的光阻凝结物进行有效的清洁，导致产品缺陷过多，影响制品异常；要么容易损伤烘烤装置腔体，更换难度大，耗时更久。
技术实现思路
鉴于现有技术存在的不足，本专利技术提供了一种光阻凝结物清洁效果佳、基板良率高的基板烘烤装置，而且光阻凝结物清洁迅速且彻底。为了实现上述的目的，本专利技术采用了如下的技术方案：一种基板烘烤装置，包括顶面开口的加热室、盖设于所述加热室顶部的盖板、设于所述加热室内的加热器以及设于所述加热器上方的热板，所述盖板内表面可拆卸地固定有与所述热板间隔设置的中间盖板。作为其中一种实施方式，所述中间盖板为不锈钢。作为其中一种实施方式，所述加热器包括中间的中部加热器和两侧的侧加热器。作为其中一种实施方式，所述加热室侧壁开设有至少一对对流孔。作为其中一种实施方式，至少一个所述对流孔连接有抽气扇。作为其中一种实施方式，所述中间盖板上开设有通孔，所述盖板或所述中间盖板与所述盖板之间的所述加热室侧壁上开设有通风口。作为其中一种实施方式，所述中间盖板边缘斜向下倾斜。作为其中一种实施方式，所述热板下方设置有高度可调地支撑所述热板的支撑组件。作为其中一种实施方式，所述支撑组件为若干个阵列设置的弹性顶针。作为其中一种实施方式，所述加热室的至少两个相对的侧壁内设置有沿所述加热室高度方向上延伸的滑轨，所述加热器端部可滑动地设于所述滑轨内。本专利技术通过在基板烘烤装置的盖板内表面设有中间盖板，基板加热后挥发产生的光阻凝结物不会凝结在盖板内表面，当光阻凝结物达到一定程度需要清洁时，只需要拆下中间盖板进行清洗或更换即可，快捷方便。附图说明图1为本专利技术实施例的一种基板烘烤装置的内部结构示意图。图2为本专利技术实施例的一种基板烘烤装置的部分结构示意图。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。参阅图1，本专利技术实施例的基板烘烤装置包括顶面开口的加热室10、盖设于加热室10顶部的盖板20、设于加热室10内的加热器30以及设于加热器30上方的热板40，盖板20内表面可拆卸地固定有与热板40间隔设置的中间盖板50。中间盖板50完全覆盖在盖板20的内表面，以免出现缝隙导致基板烘烤挥发出的光阻凝结物污染盖板20。烘烤制程时，基板1平放在热板40上表面，通过加热器30对上方的热板40进行加热，使得基板1表面的光阻材料和溶剂等挥发后附着在中间盖板50表面。当光阻凝结物达到一定程度需要清洁时，只需要拆下中间盖板进行清洗或更换即可，清洗和更换都非常方便。如图2所示，本实施例的加热器30包括中间的中部加热器31和两侧的侧加热器32，中部加热器31和侧加热器32都布置呈条状，分别对应热板40的中间区域和边缘区域，对热板40区域化加热，例如，当基板1某一区域的湿度较高时，可以通过加热器30提高相应区域的加热温度。加热室10内还可设置有温度传感器，通过实时检测热板40相应区域的烘烤温度实现精确加热控制。在烘烤过程中，为加速风干，在加热室10侧壁开设有至少一对对流孔100，本实施例优选每侧的侧壁均开设有若干个对流孔100，并在其中一个对流孔100旁连接有抽气扇101，通过抽气扇101可以加速加热室10内的空气对流和热交换，避免影响烘烤效果。中间盖板50优选采用不锈钢材料，成本低且耐腐蚀，清洗方便。中间盖板50与加热室10的可拆卸连接方式优选可以采用如下方式进行：在加热室10的各侧壁开设有通孔，中间盖板50放置到位后贴合在通孔表面，通过单独设置的固定块51(如图1)插入该通孔后，固定块51与加热室10的各侧壁将中间盖板50夹持于其中，中间盖板50即完成固定。当需要拆卸中间盖板50时，只需拔出各个固定块51，中间盖板50即可取下，拆装迅速。另外，中间盖板50上还开设有通孔，并在盖板20或中间盖板50与盖板20之间的加热室10侧壁上开设有通风口，以加速中间盖板50散热和光阻凝结物固化。在一种实施方式中，在中间盖板50完全遮挡盖板20内表面的前提下，中间盖板50的边缘还设计成斜向下倾斜的构造，烘烤过程中产生的液态或半固态的光阻凝结物可顺着中间盖板50的边缘流下。另外，在加热室10侧壁内侧的四周、中间盖板50的下方设置有盛装流下的光阻凝结物的容器。热板40下方设置有高度可调地支撑热板40的支撑组件60。这里，支撑组件60为若干个阵列设置的弹性顶针。加热室10的至少两个相对的侧壁内设置有沿加热室10高度方向上延伸的滑轨，加热器30端部可滑动地设于滑轨内。基板烘烤装置在加热室10外设有液压装置，可通过液压装置驱动加热器30沿滑轨纵向运动，调节加热器30与热板40的间隔，以间接调节加热效果。综上所述，本专利技术通过在基板烘烤装置的盖板内表面设有中间盖板，基板加热后挥发产生的光阻凝结物不会凝结在盖板内表面，当光阻凝结物达到一定程度需要清洁时，只需要拆下中间盖板进行清洗或更换即可，快捷方便。以上所述仅是本申请的具体实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板烘烤装置，其特征在于，包括顶面开口的加热室(10)、盖设于所述加热室(10)顶部的盖板(20)、设于所述加热室(10)内的加热器(30)以及设于所述加热器(30)上方的热板(40)，所述盖板(20)内表面可拆卸地固定有与所述热板(40)间隔设置的中间盖板(50)。

【技术特征摘要】
1.一种基板烘烤装置，其特征在于，包括顶面开口的加热室(10)、盖设于所述加热室(10)顶部的盖板(20)、设于所述加热室(10)内的加热器(30)以及设于所述加热器(30)上方的热板(40)，所述盖板(20)内表面可拆卸地固定有与所述热板(40)间隔设置的中间盖板(50)。2.根据权利要求1所述的基板烘烤装置，其特征在于，所述中间盖板(50)为不锈钢。3.根据权利要求1所述的基板烘烤装置，其特征在于，所述加热器(30)包括中间的中部加热器(31)和两侧的侧加热器(32)。4.根据权利要求1所述的基板烘烤装置，其特征在于，所述加热室(10)侧壁开设有至少一对对流孔(100)。5.根据权利要求4所述的基板烘烤装置，其特征在于，至少一个所述对流孔(100)连接有抽气扇(101)。6...

【专利技术属性】
技术研发人员：王文杰，王丽，黄书同，王浩，徐陈林，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42