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本发明公开了一种基板烘烤装置，包括顶面开口的加热室、盖设于所述加热室顶部的盖板、设于所述加热室内的加热器以及设于所述加热器上方的热板，所述盖板内表面可拆卸地固定有与所述热板间隔设置的中间盖板。本发明通过在基板烘烤装置的盖板内表面设有中间盖板...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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