立式复合径流分子泵制造技术

一种立式复合径流分子泵，包括上端敞口的泵筒，泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，泵筒内设有径流抽气单元，径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，转子上固设有两平圆盘状的动轮，两动轮平行且间隔设置，静轮设于两动轮之间，静轮与两动轮平行设置，动密封位于下方的动轮的下方，静轮和动密封均固设于泵筒的侧壁上；位于上方的动轮的外侧设有一组涡轮叶列，涡轮叶列由上向下抽气；静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，静轮的中部未设置隔板。由于立式复合径流分子泵可以从泵筒的上方和侧壁同时抽气，且静轮的中部未设置隔板，因此，径流分子泵的抽速高出传统径流分子泵约80%，压缩能力提高约50%。

Vertical composite runoff molecular pump

A vertical runoff composite molecular pump, comprising a pump barrel is open, the side wall of the pump barrel is provided with an air inlet and an air outlet, the pump barrel is provided with a pumping unit runoff, runoff pumping unit comprises a rotor, the static and dynamic sealing wheel, the rotor is fixedly arranged on the two flat disc wheel, two wheel parallel and spaced between the static wheel is arranged on the two wheel, two wheel wheel static and dynamic sealing is arranged in parallel, located below the wheel, the static and dynamic sealing wheel are fixedly arranged on the side wall of the pump barrel; the lateral upper wheel is provided with a set of turbine blade, turbine blade row from top to bottom pump gas; static wheel is provided with a plurality of helical blades composed of a suction groove, the central wheel is not set static separator. Because the vertical composite molecular pump and pumping runoff from above and the side wall of the pump barrel, the central wheel is not set and the static separator, therefore, molecular pump pumping speed runoff is about 80% higher than that of the traditional flow of molecular pump, compression capacity is increased by about 50%.

【技术实现步骤摘要】
立式复合径流分子泵
本专利技术属于真空获得
，尤其涉及一种立式复合径流分子泵。
技术介绍
专利ZL201620118209.2提供了一种立式复合径流分子泵（简称径流泵），该径流泵具有结构简单、能耗低和兼有中、高真空泵双重性能力等优点，然而，也存在如下缺点：1．该径流泵的进气口均设在泵筒的侧面，导致进气口面积无增加的空间，限制了径流泵抽速的提高；2．该径流泵的静轮的中部设有隔板，影响气体的抽速；3．该径流泵的抽气槽长度较短，限制了径流泵压缩能力的提高。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种能提高抽速和压缩能力的立式复合径流分子泵。本专利技术是这样实现的，一种立式复合径流分子泵，包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上；位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，所述静轮的中部未设置隔板。进一步地，所述抽气槽由三部分组成，其中，靠近所述抽气槽的进气口的部分为第一部分，所述抽气槽的中间部分为第二部分，所述第二部分为环形通道，靠近所述抽气槽的出气口的部分为第三部分。本专利技术提供的立式复合径流分子泵具有如下优点：1．提高立式复合径流分子泵的抽速约80%；2．提高立式复合径流分子泵的压缩能力约50%。附图说明为了更清楚地说明本专利技术的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术实施例一提供的立式复合径流分子泵的泵筒的示意图。图2是沿图1中的A-A方向的剖视图。图3是本专利技术实施例一提供的立式复合径流分子泵的剖视图。图4是本专利技术实施例一提供的立式复合径流分子泵的静轮的结构示意图。图5是本专利技术实施例二提供的立式复合径流分子泵的静轮的结构示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。实施例一如图1至图4所示，本专利技术实施例提供的一种立式复合径流分子泵，包括上端敞口的泵筒11，泵筒11的侧壁开设有进气口12和排气口（未示出），泵筒11内设有径流抽气单元，该径流抽气单元包括转子13、静轮14和动密封15，转子13上固设有两平圆盘状的动轮16，两动轮16平行且间隔设置，静轮14设于两动轮16之间，静轮14与两动轮16平行设置，动密封15位于下方的动轮16的下方，静轮14和动密封15均固设于泵筒11的侧壁上；位于上方的动轮16的外侧设有一组涡轮叶列17，涡轮叶列17由上向下抽气；静轮14上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽141，静轮14的中部未设置隔板。由于静轮14的中部未设置隔板，从而提高了气体的抽速。本实施例一的径流分子泵的工作原理如下：（1）本实施例一的进气口12设在泵筒11的侧壁，泵筒11外侧的气体依次经进气口12和抽气槽141抽至径流抽气单元的下方。（2）同时，由于本实施例一的泵筒11上端为敞口，在泵筒11上方增添了抽气通道，泵筒11上方的气体依次经其上方的敞口、涡轮叶列17和抽气槽141抽至径流抽气单元的下方。综上所述，由于本实施例一的径流分子泵可以从泵筒11的上方和侧壁同时抽气，且静轮14的中部未设置隔板，因此，径流分子泵的抽速高出传统径流分子泵约80%。另外，本实施例一的径流分子泵还具有结构简单和制造成本低的优点。实施例二如图5所示，本实施例二的结构与实施例一的结构大致相同，其不同之处在于：本实施例二的静轮24的抽气槽241由三部分组成，其中，靠近抽气槽241的进气口的部分为第一部分2411，抽气槽241的中间部分为第二部分2412，第二部分2412为环形通道，靠近抽气槽241的出气口的部分为第三部分2413。与现有的静轮的抽气槽结构相比，本实施例二的静轮24的抽气槽241增加了环形通道的第二部分1412，从而增加了抽气槽241的有效长度，提高了径流分子泵的压缩能力约50%。以上所述是本专利技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种立式复合径流分子泵，其特征在于，包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上；位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，所述静轮的中部未设置隔板。

【技术特征摘要】
1.一种立式复合径流分子泵，其特征在于，包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上；...

【专利技术属性】
技术研发人员：储继国，
申请(专利权)人：苏州摩星真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32