一种在钽喷丝头表面镀DLC膜的方法技术

本发明专利技术公开了一种在钽喷丝头表面镀DLC膜的方法。该方法包括如下步骤：(1)将钽喷丝头表面抛光至0.02μm以上；(2)将表面抛光后的钽喷丝头清洗并烘干；(3)用显微镜检测清洗后的钽喷丝头，若无任何污染则放入炉内，用磁控溅射的方法在钽喷丝头表面镀上DLC膜；镀膜采用的靶材为乙炔，镀膜条件如下：真空度为5×10

Method for coating DLC film on tantalum spinneret surface

The invention discloses a method for coating an DLC film on the surface of a tantalum spinneret. The method comprises the following steps: (1) the surface polishing of tantalum spinneret to more than 0.02 mu m; (2) surface after polishing of tantalum spinneret cleaning and drying; (3) using tantalum spinneret microscope after cleaning, without any pollution is put into the furnace, with the method of magnetron sputtering in tantalum spinneret coated DLC film; target coating used for acetylene coating conditions are as follows: the vacuum of 5 x 10

【技术实现步骤摘要】
一种在钽喷丝头表面镀DLC膜的方法
本专利技术涉及一种在钽喷丝头表面镀DLC膜的方法。
技术介绍
喷丝头是化纤纺织企业的重要纺丝基础原件，其质量的好坏直接影响到化纤纺丝机的机械性能。制造喷丝头的材料主要有金-铂(Au-Pt)、钽等材料，要求喷丝头具有高硬度、高耐磨性、表面粗糙度高、有良好的可纺性。由于金铂喷丝头价格昂贵，国内企业用钽喷丝头表面渗氮或钽喷丝头预先表面渗氮在阳极氧化处理，但经过阳极氧化处理的喷丝头孔道粗糙度降低，使喷丝头的可纺性和使用不如金铂喷丝头。
技术实现思路
本专利技术旨在克服现有技术的不足，提供一种在钽喷丝头表面镀DLC膜的方法。为了达到上述目的，本专利技术提供的技术方案为：所述在钽喷丝头表面镀DLC膜的方法包括如下步骤：(1)将钽喷丝头表面抛光至0.02μm以上；(2)将表面抛光后的钽喷丝头清洗并烘干；(3)用显微镜检测清洗后的钽喷丝头，若无任何污染则放入炉内(每个钽喷丝头的距离要一致均匀)，用磁控溅射的方法在钽喷丝头表面镀上DLC膜；镀膜采用的靶材为乙炔，镀膜条件如下：真空度为5×10-3—8×10-3Pa，温度180—280℃，溅射时间为1—3h；镀膜后将钽喷丝本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在钽喷丝头表面镀DLC膜的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：(1)将钽喷丝头表面抛光至0.02μm以上；(2)将表面抛光后的钽喷丝头清洗并烘干；(3)用显微镜检测清洗后的钽喷丝头，若无任何污染则放入炉内，用磁控溅射的方法在钽喷丝头表面镀上DLC膜；镀膜采用的靶材为乙炔，镀膜条件如下：真空度为5×10

【技术特征摘要】
1.一种在钽喷丝头表面镀DLC膜的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：(1)将钽喷丝头表面抛光至0.02μm以上；(2)将表面抛光后的钽喷丝头清洗并烘干；(3)用显微镜检测清洗后的钽喷丝头，若无任何污染则放入炉内，用磁控溅射的方法在钽喷丝头表面镀上DLC膜；镀膜采用的靶材为乙炔，镀膜条件如下：真空度为5×10-3—8×10-3Pa，温度180—280℃，溅射时间为1—3h；镀膜后将钽喷丝头冷却至100℃以下，即得表面镀DL...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋坤林，许登峰，
申请(专利权)人：长沙南方钽铌有限责任公司，
类型：发明
国别省市：湖南,43