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一种在钽喷丝头表面镀DLC膜的方法技术
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文档序号:15520030
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本发明公开了一种在钽喷丝头表面镀DLC膜的方法。该方法包括如下步骤:(1)将钽喷丝头表面抛光至0.02μm以上;(2)将表面抛光后的钽喷丝头清洗并烘干;(3)用显微镜检测清洗后的钽喷丝头,若无任何污染则放入炉内,用磁控溅射的方法在钽喷丝头表...
该专利属于长沙南方钽铌有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长沙南方钽铌有限责任公司授权不得商用。
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