The invention discloses a method for preparing high temperature resistant coating, the method is as follows: firstly, the substrate pretreatment, and then using carbide, sintering additives, adhesives and solvent of suspension, the suspension is evenly sprayed or coated on the surface of the matrix, the matrix will be finally sprayed or brush good pre coating the temperature and sintering processing, can be a layer of uniform thickness, compact structure high temperature resistant coating on a substrate. The high-temperature resistant coating provided by the invention has a temperature resistance up to 3500 DEG C and can be used for the preparation of a high-temperature coating of a device or a component for material production. The invention has the advantages of low cost, simple operation and good repeatability, and forms a dense and no crack coating directly on the surface of the material.
【技术实现步骤摘要】
一种耐高温涂层的制备方法
本专利技术涉及晶体、半导体材料生产制备领域,具体涉及一种耐高温涂层的制备方法。
技术介绍
第三代半导体的晶体生长需要很高的温度(>2100℃),并且物理气相传输(PVT)生长晶体过程中,升华的源粉体(硅、铝)有较高的反应活性,侵蚀传统的基体材料制备的各部件,使基体表面腐蚀,腐蚀掉的颗粒进入晶体中造成晶体缺陷,进而对半导体的性能和品质产生重大的影响。直接使用耐高温碳化物(如碳化物)部件,成本增加数十倍甚至上百倍,若能采用耐高温涂层抑制腐蚀的发生和减少腐蚀产物的形成,提高材料的质量,将节省大笔成本。碳化物熔点高(最高达3880℃),在还原气氛下能耐受包括王水在内酸、碱、盐几乎所有物质的侵蚀(仅HF+HNO3复合酸除外),高温化学稳定性和耐腐蚀性远高,且与石墨等基体具有良好的化学相容性,因而,碳化物是性能优异的涂层材料。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题,本专利技术的目的在于提供一种耐高温涂层的制备方法,其工艺过程成本低、简单易操作,重复性好,直接在材料表面形成致密、无裂纹的涂层。为实现上述目的,本专利技术采用以下技术方案:一种耐高温涂层的制备方法,所述方法为:首先对基体进行预处理,然后采用碳化物、烧结助剂、粘接剂与溶剂配置悬浊液,将悬浊液均匀喷涂或刷涂于所述基体表面,最后将喷好或刷好涂层的基体进行预温与烧结处理,即可在基体上得到一层厚度均匀、结构致密的耐高温涂层。进一步,所述预处理为用高纯酒精或丙酮对所述基体表面进行清洗若干次;所述基体的材料为石英、石墨、Al2O3、SiC或MgO;所述碳化物的粒度为1-20μm。进一步,采用碳化物 ...
【技术保护点】
一种耐高温涂层的制备方法,其特征在于,所述方法为:首先对基体进行预处理,然后采用碳化物、烧结助剂、粘接剂与溶剂配置悬浊液,将悬浊液均匀喷涂或刷涂于所述基体表面,最后将喷好或刷好涂层的基体进行预温与烧结处理,即可在基体上得到一层厚度均匀、结构致密的耐高温涂层。
【技术特征摘要】
1.一种耐高温涂层的制备方法,其特征在于,所述方法为:首先对基体进行预处理,然后采用碳化物、烧结助剂、粘接剂与溶剂配置悬浊液,将悬浊液均匀喷涂或刷涂于所述基体表面,最后将喷好或刷好涂层的基体进行预温与烧结处理,即可在基体上得到一层厚度均匀、结构致密的耐高温涂层。2.根据权利要求1所述的耐高温涂层的制备方法,其特征在于,所述预处理为用高纯酒精或丙酮对所述基体表面进行清洗若干次;所述基体的材料为石英、石墨、Al2O3、SiC或MgO;所述碳化物的粒度为1-20μm。3.根据权利要求1所述的耐高温涂层的制备方法,其特征在于,采用碳化物、烧结助剂、粘接剂与溶剂配置悬浊液具体为:称量适量的碳化物粉、烧结助剂,其中烧结助剂占涂层用粉末的1~35wt.%;然后取适量的溶剂,采用球磨机在玛瑙球磨罐中球磨或用玛瑙研钵手动研磨2~24h;取出,加入粘接剂搅拌,其中粘接剂质量百分比为溶剂的1%~10%,并且粘接剂与试剂混合液与碳化物粉质量比为0.3~1.0;得到碳化物涂层的悬浊液,静置待用。4.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:袁振洲,刘欣宇,何丽娟,
申请(专利权)人:北京世纪金光半导体有限公司,
类型:发明
国别省市:北京,11
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