一种用于退火设备玻璃载台的玻璃挡块及退火设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于退火设备玻璃载台的玻璃挡块，包括挡块本体和温度缓冲部，温度缓冲部的材料为氮化铝陶瓷材料，挡块本体的一部分为温度缓冲部，或者挡块本体下设有定位销，挡块本体和/或定位销设有温度缓冲部，本实用新型专利技术还公开了一种使用上述玻璃挡块的退火设备。本实用新型专利技术在玻璃挡块上增加了温度缓冲部，采用高导热的温度缓冲部使得在玻璃基板冷却时，玻璃挡块的温度更快地下降，从而使玻璃挡块的温度和玻璃载台的温度更接近同步，改善玻璃基板翘曲现象。

Glass block for annealing equipment and glass supporting table and annealing equipment

The utility model discloses a device for annealing glass carrier glass block, including a block body and a temperature buffer, temperature buffer material for aluminum nitride ceramic materials, a part of the retaining block body temperature buffer, or a block body is provided with a locating pin, the block body and / or a positioning pin is provided with a temperature buffer, the utility model also discloses a retaining block using the glass annealing equipment. The utility model block increases the temperature buffer in the glass, the temperature of high thermal conductivity buffer makes glass substrate cooling, glass block temperature drop faster, so that the glass block temperature and glass carrier temperature closer to synchronization, improve the glass substrate warpage phenomenon.

【技术实现步骤摘要】
一种用于退火设备玻璃载台的玻璃挡块及退火设备
本技术涉及一种应用在退火设备上的玻璃挡块及该退火设备，尤其涉及一种可改善玻璃基板翘曲的玻璃挡块及退火设备。
技术介绍
在使用快速热退火设备时，为了防止玻璃基板滑动，在玻璃基板的四周设有挡块。现有的挡块为了满足耐高温和小形变等工艺要求，通常采用了氧化铝陶瓷材料。但氧化铝陶瓷材料其导热系数较低，仅31W/(m.k)左右，这样的挡块在冷板冷却时，其温度远远高于石英玻璃载台的温度，导致玻璃基板受热不均从而引发较严重的翘曲现象，降低了挡块对玻璃基板滑动的阻拦作用，同时使得玻璃基板形变风险升高。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种用于退火设备玻璃载台的玻璃挡块及退火设备，旨在玻璃退火时，使玻璃挡块的温度与玻璃载台的温度接近，以改善冷却过程中玻璃挡块过热，与玻璃载台的温度相差过大，导致玻璃基板翘曲的现象。为实现上述目的，本技术提供一种用于退火设备玻璃载台的玻璃挡块，包括挡块本体和温度缓冲部，所述温度缓冲部的材料为氮化铝陶瓷材料，所述玻璃挡块的结构为以下之一：所述挡块本体包括上挡块和下档块，所述温度缓冲部设置在上挡块或下档块中；所述挡块本体包括内挡块和外档块，所述温度缓冲部设置在内挡块或外档块中；所述玻璃挡块还包括设置在挡块本体下的定位销，所述温度缓冲部设置在挡块本体和/或定位销中。优选地，所述挡块本体的形状为L形。优选地，所述玻璃挡块的非温度缓冲部的部分为氧化铝陶瓷材料。本技术还提供一种退火设备，包括玻璃挡块和玻璃载台，所述玻璃载台上设有用于放置玻璃基板的载物区，所述玻璃挡块设置在载物区的四周，所述玻璃挡块包括温度缓冲部，所述温度缓冲部用于提高玻璃挡块的导热性能，所述温度缓冲部的材料为氮化铝陶瓷材料。优选地，所述玻璃挡块与玻璃载台接触部分为温度缓冲层，所述温度缓冲层设置有温度缓冲部。优选地，所述玻璃挡块包括设置在退火设备的玻璃载台上的挡块本体和用于插接在玻璃载台内的定位销，所述挡块本体的下方与定位销连接，所述温度缓冲部设置在挡块本体和/或定位销中。优选地，所述挡块本体的形状为L形。优选地，所述挡块本体上下分为两层以上，至少有一层为温度缓冲部。优选地，所述挡块本体竖直划分为两层以上，至少有一层为温度缓冲部。优选地，所述玻璃挡块整体为温度缓冲部。本技术在玻璃挡块上增加了温度缓冲部，采用高导热的温度缓冲部使得在玻璃基板冷却时，玻璃挡块的温度更快地下降，从而使玻璃挡块的温度和玻璃载台的温度更接近同步，改善玻璃基板翘曲现象。附图说明图1为本技术玻璃挡块实施例A1.1的结构示意图（俯视图）；图2为图1的主视图；图3为本技术玻璃挡块实施例一的结构示意图（俯视图）；图4为图3的主视图；图5为本技术玻璃挡块实施例二的结构示意图（俯视图）；图6为图5的主视图；图7为本技术玻璃挡块实施例三的结构示意图（俯视图）；图8为图7的主视图；图9为本技术玻璃挡块实施例四的结构示意图（俯视图）；图10为图9的主视图；图11为本技术玻璃挡块实施例五的结构示意图（俯视图）；图12为图11的主视图；图13为本技术玻璃挡块实施例六的结构示意图（俯视图）；图14为图13的主视图；图15为本技术玻璃挡块实施例七的结构示意图（俯视图）；图16为图15的主视图；图17为本技术玻璃挡块实施例八的结构示意图（俯视图）；图18为图17的主视图；图19为本技术玻璃挡块使用状态的一实施例示意图；图20为本技术玻璃挡块使用状态的另一实施例示意图；附图标记说明：1为玻璃挡块的氧化铝陶瓷部分，2为温度缓冲部，3为玻璃挡块，4为玻璃载台，5为玻璃基板。本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。具体实施方式应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。本技术提供一种用于退火设备玻璃载台的玻璃挡块，参照图1-18，在一实施例中，该玻璃挡块包括包括挡块本体和用于提高玻璃挡块的导热性能的温度缓冲部，温度缓冲部的材料为氮化铝陶瓷材料，玻璃挡块的结构为以下之一：a)参照图1和图2，挡块本体包括上挡块和下档块，温度缓冲部设置在上挡块或下档块中；b)参照图3和图4，挡块本体包括内挡块和外档块，温度缓冲部设置在内挡块或外档块中；c)参照图5-18，玻璃挡块还包括设置在挡块本体下的定位销，温度缓冲部设置在挡块本体和/或定位销中。当玻璃挡块设置在玻璃载台上玻璃基板的四角时，可以将挡块本体的形状设置为L形，若将玻璃挡块设置在玻璃基板的四边时，可以将挡块本体的形状设置为长方体；玻璃挡块的非温度缓冲部的部分可为氧化铝陶瓷材料。由于温度缓冲部的导热系数大于现有的玻璃挡块的系数值，因此在玻璃基板冷却时，可通过温度缓冲部更迅速地将玻璃挡块温度降下来，从而使玻璃挡块的温度和玻璃载台的温度较为同步，改善玻璃基板翘曲现象。经测试，当温度缓冲部的导热系数大于100W/(m.k)就可以起到较好的效果。参照图18和19，本技术还提供一种退火设备，包括玻璃挡块和玻璃载台，玻璃载台上设有用于放置玻璃基板的载物区，玻璃挡块设置在载物区的四周，玻璃挡块包括温度缓冲部，温度缓冲部用于提高玻璃挡块的导热性能，温度缓冲部的材料为氮化铝陶瓷材料。参照图19，玻璃挡块可为长方体，设置在载物区的四边，或者参照图20，玻璃挡块为L形，设置在载物区的四角上，或者其他能够阻挡玻璃基板滑动的形状。由于温度缓冲部的导热系数大于现有的玻璃挡块的系数值，因此在玻璃基板冷却时，可通过温度缓冲部更迅速地将玻璃挡块温度降下来，从而使玻璃挡块的温度和玻璃载台的温度较为同步，改善玻璃基板翘曲现象。经测试，当温度缓冲部的导热系数大于100W/(m.k)就可以起到较好的效果。基于上述的退火设备，温度缓冲部设置在玻璃挡块的不同部位具有不同的作用，主要分为以下两种情况：A：温度缓冲部作为玻璃挡块与退火设备的玻璃载台间的温度缓冲部分，快速平衡玻璃挡块和玻璃载台的温度来改善玻璃基板翘曲现象；B：温度缓冲部作为玻璃挡块的快速散热部件，提高玻璃挡块整体的导热系数，来使得玻璃挡块与玻璃载台的温度较为一致，改善玻璃基板翘曲现象。情况A具有以下实施方式：1、玻璃挡块通过设置在玻璃载台上的凹槽上来定位：1.1玻璃挡块整体为温度缓冲部；1.2玻璃挡块分为上下两层（或多层），挡块本体的下层为温度缓冲部，参照图1和2；1.3玻璃挡块竖直划分为两层以上，至少有一层为温度缓冲部，参照图3和4；1.4玻璃挡块与退火设备的玻璃载台接触的部分为温度缓冲层，温度缓冲层的一部分或者全部为温度缓冲部。2、玻璃挡块包括设置在退火设备的玻璃载台上的挡块本体和用于插接在玻璃载台内的定位销，挡块本体的下方与定位销连接：2.1玻璃挡块整体为温度缓冲部，参照图5和6。2.2定位销为温度缓冲部，参照图7和8。2.3挡块本体分为上下两层（或多层），挡块本体的下层为温度缓冲部，参照图9和10。2.4挡块本体分为上下两层（或多层），挡块本体的下层和定位销均为温度缓冲部，参照图11和12。2.5挡块本体竖直划分为两层以上，至少有一层为温度缓冲部，参照图15和16。2.6挡块本体竖直划分为两层以上，至少有一层为温度缓冲部且定位销也为温度缓本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于退火设备玻璃载台的玻璃挡块，其特征在于，包括挡块本体和温度缓冲部，所述温度缓冲部的材料为氮化铝陶瓷材料，所述玻璃挡块的结构为以下之一：所述挡块本体包括上挡块和下档块，所述温度缓冲部设置在上挡块或下档块中；所述挡块本体包括内挡块和外档块，所述温度缓冲部设置在内挡块或外档块中；所述玻璃挡块还包括设置在挡块本体下的定位销，所述温度缓冲部设置在挡块本体和/或定位销中。

【技术特征摘要】
1.一种用于退火设备玻璃载台的玻璃挡块，其特征在于，包括挡块本体和温度缓冲部，所述温度缓冲部的材料为氮化铝陶瓷材料，所述玻璃挡块的结构为以下之一：所述挡块本体包括上挡块和下档块，所述温度缓冲部设置在上挡块或下档块中；所述挡块本体包括内挡块和外档块，所述温度缓冲部设置在内挡块或外档块中；所述玻璃挡块还包括设置在挡块本体下的定位销，所述温度缓冲部设置在挡块本体和/或定位销中。2.如权利要求1所述的玻璃挡块，其特征在于，所述挡块本体的形状为L形。3.如权利要求1所述的玻璃挡块，其特征在于，所述玻璃挡块的非温度缓冲部的部分为氧化铝陶瓷材料。4.一种退火设备，其特征在于，包括玻璃挡块和玻璃载台，所述玻璃载台上设有用于放置玻璃基板的载物区，所述玻璃挡块设置在载物区的四周，所述玻璃挡块包括温度缓冲部，所述温度缓冲部用于提高玻璃...

【专利技术属性】
技术研发人员：张豪峰，陈建荣，任思雨，苏君海，李建华，
申请(专利权)人：信利惠州智能显示有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44