玻璃基板的制造方法和成型装置制造方法及图纸

在玻璃基板的制造中，使熔融玻璃从成型体溢流而成型为连续的平板玻璃，形成上述平板玻璃的流体。在冷却上述平板玻璃时，为了降低上述玻璃基板的翘曲和应变，进行下述退火处理，其中，使沿上述平板玻璃的宽度方向设置的热源所供给的热分布缓和，同时，使用上述热源沿上述平板玻璃的宽度方向对上述平板玻璃提供温度分布而进行冷却。该退火处理在上述平板玻璃的流动方向的区域内进行，所述区域位于与上述平板玻璃的退火点对应的上述平板玻璃的流动方向的退火点位置和与上述平板玻璃的应变点对应的上述平板玻璃的流动方向的应变点位置之间。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】玻璃基板的制造方法和成型装置
本专利技术涉及制造玻璃基板的玻璃基板的制造方法和成型装置。
技术介绍
对于用于液晶显示器或等离子体显示器等平板显示器(下文中称为“FPD”)的玻璃基板，一直使用厚度例如为0.5mm～0.7mm的薄玻璃板。该FPD用玻璃基板例如在第1代中为300mm×400mm的尺寸，但在第10代中变为2850mm×3050mm的尺寸。为了制造这种大尺寸的FPD用玻璃基板，经常使用溢流下拉法。溢流下拉法包括在成型炉中通过使熔融玻璃自成型体的上部溢出而在成型体的下方成型出平板玻璃(板状玻璃)的工序、和在退火炉中将平板玻璃退火的冷却工序。退火炉在通过将平板玻璃引入成对的辊间而拉伸为所期望的厚度之后，将平板玻璃退火。其后，将平板玻璃切割为规定的尺寸而形成玻璃板后层积在其它玻璃板上，进行保管。或者将玻璃板搬送至下一工序。作为使用了这种溢流下拉法的玻璃基板的制造方法，已知能够抑制玻璃基板在宽度方向产生应变(专利文献1)。该制造方法是通过利用下拉法将熔融玻璃成型为片状并将所得到的平板玻璃退火从而制造玻璃基板的方法，在退火时使用多个加热器进行应变降低处理，该应变降低处理降低上述平板玻璃的宽度方向的由端部(周边部)与中央部(表面部)的温度差所产生的平板玻璃的应变。应变降低处理中，对平板玻璃的温度进行控制，以使在玻璃的应变点附近平板玻璃的温度在宽度方向均等化。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第3586142号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题但是，在上述公知的玻璃基板的制造方法(专利文献1)中，无法制作具有满足利用玻璃基板并在该玻璃基板上形成薄膜的成膜领域人员等顾客的要求的翘曲量和应变量的玻璃基板。于是，本专利技术的目的在于提供一种玻璃板的制造方法和成型装置，其中，为了降低玻璃基板中的翘曲、应变，对冷却工序中的平板玻璃的宽度方向的温度分布进行控制，能够制作具有满足顾客要求的翘曲量和应变量的玻璃基板。用于解决课题的方案一般来说，对玻璃基板、例如FPD用玻璃基板而言，希望为厚度偏差小、且具有高平坦性的玻璃基板。即，为了使玻璃基板的厚度偏差、翘曲和应变变小，优选将作为玻璃基板的基础的平板玻璃冷却。在使用成型体(盒)由熔融玻璃成型为平板玻璃的公知的溢流下拉法中，为了降低玻璃基板的厚度偏差、翘曲和应变，优选如下进行冷却。1.用于降低厚度偏差的冷却首先，优选对从成型体(下文中也称为盒)溢流出成型不久后的平板玻璃的玻璃两端部进行骤冷。在盒的侧壁两面流下来的熔融玻璃离开盒下端部而成型为平板玻璃。该成型不久后的平板玻璃由于自身的表面张力欲缩小其表面积，但是通过尽可能快地升高平板玻璃的两端部的玻璃粘度，其作用被阻碍，可以保持较宽的宽度。另外，对于平板玻璃的宽度方向中央部，通过使温度分布均匀，可以制作厚度偏差小的玻璃基板。用于降低该厚度偏差的冷却优选在平板玻璃的宽度方向中央部为粘性流动区域(本说明书中大致为软化点以上)时进行。2.用于降低翘曲和应变的冷却为了在上述粘性流动区域中降低厚度偏差而进行冷却后，平板玻璃在塑性变形区域(本说明书中大致为从软化点与退火点之间至应变点的区间)中以不产生翘曲和应变的方式被冷却。为了以不产生翘曲的方式将平板玻璃冷却，优选以拉伸应力时常作用于为了降低厚度偏差而冷却的平坦的平板玻璃的宽度方向中央部的方式进行冷却，维持其平坦度。为了以不产生应变的方式进行冷却，如上所述，优选以在应变点附近温度均匀的方式进行冷却。因此，首先，对平板玻璃赋予平板玻璃的温度从平板玻璃的宽度方向中心部向宽度方向两端部降低的一座山形状的温度分布。该温度分布优选在冷却至不对平板玻璃的厚度偏差产生影响的温度区域(例如低于软化点的温度区域)后迅速地赋予。并且，按照随着进行冷却而逐渐减小该温度分布的梯度、在应变点附近一座山形状的温度分布大致平坦、即温度达到均匀的方式将平板玻璃冷却。即，按照平板玻璃的宽度方向中心部的冷却量(体积收缩量)最大、随着向两端部移动而减小的方式进行冷却，因而拉伸应力时常作用于平板玻璃的宽度方向中央部。另外，在应变点附近平板玻璃的温度为不均匀的温度分布的情况下，变为常温时会产生残余应力，因此为了在应变点附近温度均匀，可以通过冷却平板玻璃而降低应变。考虑到上述内容，本专利技术人对公知的玻璃基板的制造中无法制作具有满足顾客要求的翘曲量和应变量的玻璃基板的理由进行了研究，结果发现原因在于：由多个加热器形成的平板玻璃的宽度方向的温度分布是阶段性地形成的；或者，平板玻璃的宽度方向的温度分布局部地下降而无法形成光滑的分布。此外发现，在塑性变形区域的平板玻璃中的冷却中，希望按照下述方式调节平板玻璃的温度：即，平板玻璃的温度分布在维持光滑的一座山形状的同时该光滑的一座山形状慢慢地变小，在应变点附近一座山形状变得平坦。由此想到了下述方式的技术方案。本专利技术的一个方式为一种玻璃基板的制造方法。该制造方法包括以下工序：成型工序，使熔融玻璃从成型体溢流而成型为连续的平板玻璃，形成上述平板玻璃的流体；和冷却工序，该冷却工序包括退火处理，该退火处理为：为了降低上述玻璃基板的翘曲和应变，使沿上述平板玻璃的宽度方向设置的热源所供给的热分布缓和，同时，使用上述热源沿上述平板玻璃的宽度方向对上述平板玻璃提供温度分布而进行冷却；上述退火处理在上述平板玻璃的流动方向的区域内进行，上述区域位于与上述平板玻璃的退火点对应的上述平板玻璃的流动方向的退火点位置和与上述平板玻璃的应变点对应的上述平板玻璃的流动方向的应变点位置之间。此时，优选的是，上述热源的热分布的缓和使用设置于上述平板玻璃与上述热源之间的一个均热板进行，上述均热板使上述热源的热分布缓和，对上述平板玻璃供给热。优选上述均热板为通过氧化处理在表面形成了氧化覆膜的不锈钢金属板。另外，优选的是，上述冷却工序使用在上述平板玻璃的两侧的面设置的至少一对温度调节装置进行，至少一对上述温度调节装置各自使用上述热源和上述均热板对上述平板玻璃供给热。优选上述热分布为上述热源的发热量(加热量)的分布。优选上述温度分布为在上述宽度方向的中心达到最大的一座山形状的分布或者均匀的分布。优选上述热分布为在上述宽度方向的中心达到最大的一座山形状的分布或者均匀的分布。优选的是，上述热源包含在上述宽度方向上设置的2个以上的热源单元，上述热源的上述热分布包含在与上述热源单元各自的上述宽度方向的端部对应的位置所供给的热降低的分布。另外，本专利技术的另一方式为一种玻璃基板的制造方法，该玻璃基板的制造方法包括以下工序：成型工序，使熔融玻璃从成型体溢流而成型为平板玻璃；和冷却工序，该冷却工序包括退火处理，该退火处理为沿上述平板玻璃的宽度方向设置的一对热源沿上述平板玻璃的宽度方向对上述平板玻璃的两面提供温度分布，从而将上述平板玻璃冷却。在上述退火处理中，在上述一对热源与上述平板玻璃之间配置的一对板材之间通过上述平板玻璃，进行退火。优选的是，上述板材为使沿平板玻璃的宽度方向设置的热源所供给的热分布缓和的均热板，上述冷却炉在上述平板玻璃的流动方向的区域内使用上述均热板进行上述退火处理，上述区域位于与上述平板玻璃的退火点对应的上述平板玻璃的流动方向的退火点位置和与上述平板玻璃的应变点对应的上述平板玻璃的流动方向的应变点位置之间。此时，优选的是，上述热本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基板的制造方法，其特征在于，该玻璃基板的制造方法包括以下工序：成型工序，使熔融玻璃从成型体溢流而成型为连续的平板玻璃，形成所述平板玻璃的流体；和冷却工序，该冷却工序包括退火处理，该退火处理为：为了降低所述玻璃基板的翘曲和应变，使沿所述平板玻璃的宽度方向设置的热源所供给的热分布缓和，同时，使用所述热源沿所述平板玻璃的宽度方向对所述平板玻璃提供温度分布而进行冷却；所述退火处理在所述平板玻璃的流动方向的区域内进行，所述区域位于与所述平板玻璃的退火点对应的所述平板玻璃的流动方向的退火点位置和与所述平板玻璃的应变点对应的所述平板玻璃的流动方向的应变点位置之间。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.01.13 JP 2012-0056421.一种玻璃基板的制造方法，其特征在于，该玻璃基板的制造方法包括以下工序：成型工序，使熔融玻璃从成型体溢流而成型为连续的平板玻璃，形成所述平板玻璃的流体；和冷却工序，该冷却工序包括退火处理，该退火处理为：为了降低所述玻璃基板的翘曲和应变，使沿所述平板玻璃的宽度方向设置的热源所供给的热分布缓和，同时，使用所述热源沿所述平板玻璃的宽度方向对所述平板玻璃提供温度分布而进行冷却；所述退火处理在所述平板玻璃的流动方向的区域内进行，所述区域为所述平板玻璃的宽度方向的两端部与冷却辊接触从而将所述两端部冷却后的所述平板玻璃的流动方向的区域，且位于与所述平板玻璃的退火点对应的所述平板玻璃的流动方向的退火点位置和与所述平板玻璃的应变点对应的所述平板玻璃的流动方向的应变点位置之间。2.如权利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其中，所述热源的热分布的缓和使用设置于所述平板玻璃与所述热源之间的一个均热板进行，所述均热板使所述热源的热分布缓和，对所述平板玻璃供给热。3.如权利要求2所述的玻璃基板的制造方法，其中，所述均热板是通过氧化处理在表面形成了氧化覆膜的不锈钢金属板。4.如权利要求2或3所述的玻璃基板的制造方法，其中，所述冷却工序使用在所述平板玻璃的两侧的面设置的至少一对温度调节装置进行，至少一对所述温度调节装置各自使用所述热源和所述均热板对所述平板玻璃供给热。5.如权利要求1～3中任一项所述的玻璃基板的制造方法，其中，所述热分布为所述热源的发热量的分布。6.如权利要求1～3中任一项所述的玻璃基板的制造方法，其中，所述温度分布为在所述宽度方向的中心达到最大的一座山形状的分布或者均匀的分布。7.如权利要求1～3中任一项所述的玻璃基板的制造方法，其中，所述热源包含在所述宽度方向上设置的2个以上的热源单元，所述热源的所述热分布包含在与所述热源单元各自的所述宽度方向的端部对应的位置所供给的热降低的分布。8.一种玻璃基板的制造方法，其特征在于，该玻璃基板的制造方法包括以下工序：成型工序，使熔融玻璃从成型体溢流而成型为平板玻璃；和冷却工序，该冷却工序包括退火处理，该退火处理为沿所述平板玻璃的宽度方向设置的一对热源沿所述平板玻璃的宽度方向对所述平板玻璃的两面提供温度分布，从而将所述平板玻璃冷却；所述退火处理在所述平板玻璃的宽度方向的两端部与冷却辊接触从而将所述两端部冷却后的所述平板玻璃的流动方向的区域内进行，所述区域位于与所述平板玻璃的退火点对应的所述平板玻璃的流动方向的退火点位置和与所述平板玻璃的应变点对应的所述平板玻璃的流动方向的应变点位置之间，在所述退火处理中，在所述一对热源与所述平板玻璃之间配置的一对板材之间通过所述平板玻璃，进行退火，所述板材为使所述热源所供给的热分布缓和的均热板。9.如权利要求8所述的玻璃基板的制造方法，...

【专利技术属性】
技术研发人员：前田伸广，
申请(专利权)人：安瀚视特控股株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP