硅微全解耦双质量双线振动式陀螺仪制造技术

本发明专利技术公开一种硅微全解耦双质量双线振动式陀螺仪包括基座、第一子结构、第二子结构和子结构连接装置，第一子结构和第二子结构之间通过子结构连接装置连接，所述的第一子结构和第二子结构均为角速度测量子结构，所述的角速度测量子结构包括质量块、固定在基座上的第一固定基座、固定在基座上的第二固定基座、固定在基座上的第三固定基座、固定在基座上的第四固定基座、第一驱动机构、第二驱动机构、第一检测机构、第二检测机构、第一驱动平行梁、第二驱动平行梁、第一检测平行梁、第二检测平行梁和若干U型折叠梁。

Silicon micro fully decoupled double mass vibrating gyroscope

The invention discloses a silicon micro decoupling double quality double linear vibratory gyroscope comprises a connecting device, a first sub base structure, second sub structure and the sub structure, sub structure between the first and second sub structure connected by a connection device of sub structure, the first sub structure and second sub structure are the angular velocity measuring substructures. Angular velocity measurement structure comprises a mass block and is fixed on the base of the first fixed base and a fixed base, second fixed on the base of the third fixed fixed base, on the base of fourth fixed fixed base, on the base of the first driving mechanism, second driving mechanism, first detection mechanism, a detection mechanism, second the first drive and the second drive parallel beam parallel beam, the first detection of parallel beam and second parallel beam detection and some U type folded beam.

【技术实现步骤摘要】
硅微全解耦双质量双线振动式陀螺仪
本专利技术属于微电子机械系统和微惯性测量技术，特别是一种硅微全解耦双质量双线振动式陀螺仪。
技术介绍
硅微机械陀螺仪是一种测量转动角速度的惯性传感器，利用振动质量块在被基座带动旋转时产生的哥氏效应来测量基座旋转的角速度，与传统的机电类陀螺和光电类陀螺相比，具有体积小、成本低、重量轻、可靠性高等优点，在军民两用领域有着重要的使用价值和广阔的应用前景。自上世纪末起，国内外多家研究机构就开始了硅微陀螺仪的研究，大部分机构研发的硅微陀螺仪采用单质量的结构形式以及不解耦或半解耦的设计方案。对于单质量硅微陀螺仪而言，在轴向加速度干扰存在的情况下，作为共模干扰很容易导致电子线路饱和失效，最终使硅微陀螺仪的工作受到严重影响。近年来，少数机构对双质量硅微陀螺仪进行了初步的理论和试验探讨，也大多采用不解耦或半解耦的设计，由于各种加工误差的存在，硅微机械陀螺仪在无哥氏效应的情况下，其驱动模态的振动能量也会耦合到检测模态，产生正交耦合误差信号以及偏移耦合误差信号，而不解耦设计方案对这两种信号产生的影响根本无法减小，半解耦的设计方案也仅能部分减小这两种信号对硅微机械陀螺仪性能本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅微全解耦双质量双线振动式陀螺仪，其特征在于，包括基座、第一子结构(1a)、第二子结构(1b)和子结构连接装置，第一子结构(1a)和第二子结构(1b)之间通过子结构连接装置连接，所述的第一子结构(1a)和第二子结构(1b)均为角速度测量子结构，所述的角速度测量子结构包括质量块(3a)、固定在基座上的第一固定基座(10a1)、固定在基座上的第二固定基座(10a2)、固定在基座上的第三固定基座(10a3)、固定在基座上的第四固定基座(10a4)、第一驱动机构(11a1)、第二驱动机构(11a2)、第一检测机构(15a1)、第二检测机构(15a2)、第一驱动平行梁(8a1)、第二驱动平行梁(8a...

【技术特征摘要】
1.一种硅微全解耦双质量双线振动式陀螺仪，其特征在于，包括基座、第一子结构(1a)、第二子结构(1b)和子结构连接装置，第一子结构(1a)和第二子结构(1b)之间通过子结构连接装置连接，所述的第一子结构(1a)和第二子结构(1b)均为角速度测量子结构，所述的角速度测量子结构包括质量块(3a)、固定在基座上的第一固定基座(10a1)、固定在基座上的第二固定基座(10a2)、固定在基座上的第三固定基座(10a3)、固定在基座上的第四固定基座(10a4)、第一驱动机构(11a1)、第二驱动机构(11a2)、第一检测机构(15a1)、第二检测机构(15a2)、第一驱动平行梁(8a1)、第二驱动平行梁(8a2)、第一检测平行梁(9a1)、第二检测平行梁(9a2)、第一固接U型折叠梁(6a1)、第二固接U型折叠梁(6a2)、第三固接U型折叠梁(7a2)、第四固接U型折叠梁(7a4)、第五固接U型折叠梁(6a4)、第六固接U型折叠梁(6a3)、第七固接U型折叠梁(7a3)、第八固接U型折叠梁(7a1)；第一驱动机构(11a1)通过第一固接U型折叠梁(6a1)连接至第一固定基座(10a1)、第一驱动机构(11a1)通过第二固接U型折叠梁(6a2)连接至第二固定基座(10a2)；第二检测机构(15a2)通过第三固接U型折叠梁(7a2)连接至第二固定基座(10a2)、第二检测机构(15a2)通过第四固接U型折叠梁(7a4)连接至第三固定基座(10a3)；第二驱动机构(11a2)通过第五固接U型折叠梁(6a4)连接至第三固定基座(10a3)、第二驱动机构通过第六固接U型折叠梁(6a3)连接至第四固定基座(10a4)；第一检测机构(15a1)通过第七固接U型折叠梁(7a3)连接至第四固定基座(10a4)、第一检测机构(15a1)通过第八固接U型折叠梁(7a1)连接至第一固定基座(10a1)；第一驱动机构(11a1)设置在质量块(3a)的一侧，第二驱动机构(11a2)设置在质量块(3a)相对的另一侧，第一驱动机构(11a1)与质量块(3a)之间通过第一驱动平行梁(8a1)连接，第二驱动机构(11a2)与质量块(3a)之间通过第二驱动平行梁(8a2)连接，以从一个驱动方向上驱动该质量块(3a)振动；第一检测机构(15a1)设置在质量块(3a)的一侧，第二检测机构(15a2)设置在质量块(3a)相对的另一侧，第一检测机构(15a1)与质量块(3a)之间通过第一检测平行梁(9a1)连接，第二检测机构(15a2)与质量块(3a)之间通过第二检测平行梁(9a2)连接，以检测质量块(3a)在垂直于驱动方向上的质量块(3a)的振动。2.根据权利要求1所述的硅微全解耦双质量双线振动式陀螺仪，其特征在于，所述的子结构连接装置连接包括第一U型折叠梁(2a)和第二U型折叠梁(2b)，第一子结构(1a)和第二子结构(1b)相互抵靠，在两者紧邻的驱动机构的上端和下端分别设置有第一U型折叠梁(2a)和第二U型折叠梁(2b)以连接第一子结...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨波，戴波，殷勇，邓允朋，王行军，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32