一种智能温控加热保温材料及其温控系统技术方案

本发明专利技术属于半导体领域所应用的加热保温材料技术领域，具体涉及一种智能温控加热保温材料及其温控系统，所述智能温控加热保温材料包括形状记忆合金层、隔热复合材料层以及绝缘外套，所述记忆合金层和隔热复合材料层中间设置温度传感器，在温控系统的控制下，传感器将检测到的温度传递给控制器，控制器将检测温度与设定温度进行比对，从而通过调整驱动电路电流的方向和大小来使热电制冷器对智能温控加热保温材料进行加热或者制冷，达到对工艺管路的温度控制，本发明专利技术将加热带和保温套制成一体结构，既能提高人力物力的利用率，同时还能使反应工艺正常进行，保证薄膜产品的质量，结构简单、合理、易于在半导体薄膜沉积应用及制备技术领域推广。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体领域所应用的加热保温材料
，具体涉及一种智能温控加热保温材料及其温控系统。
技术介绍
在半导体薄膜的制备过程中，工艺管路、gasbox中的个别路需要加热保温，因为实现这一要求，需要在工艺管路缠绕加热带进行加热，再在加热带外面包裹一层保温套实现保温的效果，在这一过程中我们需要根据工艺管路的长度，计算所需加热带的长度以及功率，还要根据管路的外形形状特征，定制相应形状的保温套，一旦计算和设计好加热带和保温套，如果后续还有工艺开发，需要的反应温度和管路长度或是管径有所变化，这种设计就不能满足新工艺的要求，需要重新再设计，这样既浪费人力，又浪费物力，因此根据上述问题，需要专利技术一种智能保温材料，达到方便安装以及智能保温的技术效果。
技术实现思路
本专利技术针对现有工艺管路保温材料不方便安装以及控制温度的问题，提供了一种智能温控加热保温材料及其温控系统，通过在材料中设置温度传感器，可将温度传递给控制器，从而调控材料的温度，达到对工艺管路保温的效果。本专利技术是这样实现的，根据本专利技术的一个方面，提供了一种智能温控加热保温材料，包括形状记忆合金层、隔热复合材料层以及绝缘外套，记忆合金层和隔热复合材料层中间设置温度传感器。进一步地，形状记忆合金层材料为铝合金。进一步地，隔热复合材料为陶瓷纤维基隔热复合材料。根据本专利技术的另外一个方面，提供了所述智能温控加热保温材料的温控系统，包括：温度传感器，设置在智能温控加热保温材料的记忆合金层和隔热复合材料层中间；控制器，一端与温度传感器连接，接受温度传感器检测的材料温度，在控制器中设置智能温控加热保温材料需要达到的目标温度值；驱动电路，与控制器的另一端连接，驱动电路由直流电源提供电能，并且驱动电路可以改变直流电流的方向和大小；热电制冷器，由驱动电路控制热电制冷器对智能温控加热保温材料进行加热或制冷；散热器，安装在热电制冷器的外侧，用于将热电致电器两端产生的热量通过散热器及时散失到周围环境中。进一步地，将智能温控加热保温材料安装到工艺管路上，温度传感器检测到工艺管路的即时温度，将即时温度传给控制器，控制器将工艺管路即时温度与事先设定好的该工艺管路的目标温度值进行比对，如果即时温度高于目标温度，则控制器控制驱动电路中的电流大小和方向，通过热电制冷器对智能温控加热保温材料进行制冷；如果即时温度低于目标温度，则控制器控制改变驱动电路中的电流大小和方向，通过热电制冷器对所述智能温控加热保温材料进行加热，最终达到设定的目标温度值。与现有技术相比，本专利技术的优点在于，加热带和保温套是一体的结构，只需要知道工艺管路的长度即可，不需要每种工艺都要计算加热带的功率，也不用限制管路的外形特征；既能提高人力物力的利用率，同时还能使反应工艺正常进行，保证薄膜产品的质量，结构简单、合理、易于在半导体薄膜沉积应用及制备
推广。附图说明下面结合附图及实施方式对本专利技术作进一步详细的说明：图1为本专利技术智能温控加热保温材料与其温控系统结构示意图。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。参考图1，本专利技术提供了一种智能温控加热保温材料，包括形状记忆合金层、隔热复合材料层和绝缘外套，所述形状记忆合金层位于材料内面，隔热复合材料层位于材料外面，绝缘外套将二者包裹起来，在形状记忆合金层与隔热复合材料层之间安装温度传感器，用来检测材料所包裹的工艺管路的温度，为了适应不同管路的形状，所述形状记忆合金层的材料优选铝合金，具有可塑性，隔热复合材料优选石英基复合材料，达到智能温控加热保温材料外层安全的效果，保护人免受烫伤。所述智能温控加热保温材料是由其温控系统来控制温度，从而为工艺管路加热或制冷，参考图1，控制系统包括设置在保温材料中的温度传感器、控制器、驱动电路、热电制冷器和散热器，所述驱动电路由直流电源提供电能。控制器一端连接温度传感器，另一端连接驱动电路，驱动电路与热电制冷器相连，当温度传感器将检测到的工艺管路的即时温度传给控制器后，控制器将工艺管路即时温度与事先设定好的该工艺管路的目标温度值进行比对，如果即时温度高于目标温度，则控制器控制驱动电路中的电流大小和方向，通过热电制冷器对智能温控加热保温材料进行制冷；如果即时温度低于目标温度，则控制器控制改变驱动电路中的电流大小和方向，通过热电制冷器对所述智能温控加热保温材料进行加热，最终达到设定的目标温度值。为了加强热电致电器两端产生的热量散失到周围环境中的速度，作为技术方案的改进，在热电制冷器的外侧安装散热器；在所述热电制冷器安装散热器的另一侧也可安装一个感应器，用来检测热电制冷器为材料加热的温度，传递给控制器与设定温度作比较，避免热电制冷器为材料加热的温度达不到或者高出预定温度。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种智能温控加热保温材料，其特征在于，所述智能温控加热保温材料包括形状记忆合金层、隔热复合材料层以及绝缘外套，所述记忆合金层和隔热复合材料层中间设置温度传感器。

【技术特征摘要】
1.一种智能温控加热保温材料，其特征在于，所述智能温控加热保温材料包括形状记忆合金层、隔热复合材料层以及绝缘外套，所述记忆合金层和隔热复合材料层中间设置温度传感器。2.根据权利要求1所述的一种智能温控加热保温材料，其特征在于，所述形状记忆合金层材料为铝合金。3.根据权利要求1所述的一种智能温控加热保温材料，其特征在于，所述隔热复合材料为石英基隔热复合材料。4.根据权利要求1所述的一种智能温控加热保温材料的温控系统，其特征在于，包括：温度传感器，设置在所述智能温控加热保温材料的记忆合金层和隔热复合材料层中间；控制器，一端与所述温度传感器连接，接受温度传感器检测的材料温度，在所述控制器中设置所述智能温控加热保温材料需要达到的目标温度值；驱动电路，与所述控制器的另一端连接，所述驱动电路由直流电源提供电能，并且所述驱动电路可以改变...

【专利技术属性】
技术研发人员：霍阳阳，郑旭东，关帅，陈英男，
申请(专利权)人：沈阳拓荆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21